公开(公告)号：KR1019990041985A

公开(公告)日：1999-06-15

申请号：KR1019970062681

申请日：1997-11-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 나종찬 ,  백사원 ,  송호기 ,  박철민

IPC: H01L21/265

Abstract: 이온 주입장비에서 주입되는 이온 양의 측정하기 위해 슬릿 어셈블리 후단에 결합되는 셋-업 컵에 있어서, 이온 빔이 충돌하며 셋-업 컵의 내부공간에 고정되는 삽입 흑연을 교체하거나 사용이 끝난 삽입 흑연의 제거가 용이하게 하도록 하고, 삽입 흑연을 제거하는 과정에서 셋-업 컵의 내부 공간이 손상을 받는 것을 방지할 수 있는 구조를 갖는 셋-업 컵에 관한 것으로서, 삽입 흑연이 고정되는 내부 공간을 형성하는 내벽을 갖는 하우징을 상부 하우징과 하부 하우징으로 분리할 수 있도록 하거나, 펀치에 의해 삽입 흑연을 제거할 때 펀치가 삽입되는 제거 구멍의 크기를 삽입 흑연 보다 조금 작게 하여 흑연이 쉽게 제거되도록 하거나, 또는 내부 공간의 크기를 삽입 흑연 보다 조금 크게 하고 사용 중에는 흑연을 하우징을 관통하는 고정 나사에 의해 � ��정하도록 하고 흑연을 제거할 때에는 위 고정 나사를 풀어서 흑연을 제거할 수 있도록 한다.

公开(公告)号：KR1019970052153A

公开(公告)日：1997-07-29

申请号：KR1019950059350

申请日：1995-12-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 나종찬 ,  안형준

IPC: H01L21/265

Abstract: 본 발명은 웨이퍼에 불순물이온을 주입하는 이온주입시스템에 있어서 진공처리장치의 프로세스챔버와 진고펌프 사이에 접속된 포어라인밸브 및 라핑라인 밸브의 제어장치에 관한 것으로서, 프로세스챔버에 접속된 라핑라인에 설치된 라핑라인 밸브(20)를 제어하여 대기압상태에서 저진공상태로 유지하기 위해 사용되는 메커니컬 펌프와, 상기 프로세스챔버에 접속된 포어라인에 설치된 포어라인 밸브(10)를 제어하여 프로세스챔버의 저진공상태를 고진공상태로 유지하기 위해 사용되는 디퓨젼 펌프를 구비하고, 그리고 상기 라핑라인 밸브(20)로 제공되는 제어신호라인에 설치된 공기압 절환밸브(30)를 구비하고, 그리고 상기 공기압 절환밸브(30)로 제공되는 라핑라인 밸브(20)의 에어제어신호(CS2)가 상기 포어라인 밸브(10)로 제공되는 고진공에어제어신 호(CS1)를 받는 상기 공기압 절환밸브(30)에 의해서 배기되게 하는 구조를 갖는다. 상술한 지공처리장치에 의하면, 프로세스챔버와 진공펌프사이에 접속되어 있는 포어라인 밸브와 라핑라인 밸브가 동시에 오픈되지 않도록 하여 진공펌프가 트립되지 않고 그리고 진공펌프의 오일이 프로세스챔버내로 역류되지 않도록 할 수 있다.