公开(公告)号：KR1020160054153A

公开(公告)日：2016-05-16

申请号：KR1020140153079

申请日：2014-11-05

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 신중한 ,  구봉진 ,  마노롯쿨,와닛 ,  최한메

IPC: H01L21/324 ,  H01L21/268 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01L21/67115 ,  H01L21/268 ,  H01L21/68742

Abstract: 본발명은레이저어닐링장비를제공한다. 이레이저어닐링장비는레이저빔이통과되는챔버윈도우를포함하는공정챔버및 상기공정챔버내에배치되고, 기판이로딩되는상부면을갖는척(chuck)을포함한다. 여기서, 상기척의폭은상기로딩된기판의폭 보다작다. 이로써, 레이저어닐링공정동안에, 척이손상되는것을방지할수 있다.

Abstract translation: 本发明提供一种激光退火装置。 激光退火装置包括：处理室，其包括激光束通过的室窗; 以及卡盘，其设置在所述处理室内部并且具有其上装载有所述基板的上表面，其中所述卡盘的宽度比所装载的基板的宽度窄。 因此，可以防止在激光退火过程中卡盘被损坏。