公开(公告)号：KR20210028327A

公开(公告)日：2021-03-12

申请号：KR1020190109125A

申请日：2019-09-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김경훈 ,  박태균 ,  이용석 ,  문정일 ,  선종우 ,  이형주

IPC: G01J3/12 ,  G01J3/02 ,  G01N21/39

CPC classification number: G01J3/12 ,  G01J3/0202 ,  G01N21/39

Abstract: 공정 챔버 내에 배치되는 가이드 레일; 및 상기 가이드 레일에 가동적으로 결합되는 광 조사부; 를 포함하되, 상기 광 조사부는 공정 챔버에 결합된 관측부를 향해 표준광을 조사하는 표준광 광원을 포함하는 OES 시스템이 제공된다.

公开(公告)号：KR102030428B1

公开(公告)日：2019-11-18

申请号：KR1020180035700

申请日：2018-03-28

Applicant: 삼성전자주식회사 ,  세메스 주식회사

Inventor： 문정일 ,  이형주 ,  선종우 ,  구자명 ,  황재웅 ,  안종환

IPC: G01J3/28 ,  G01J3/02