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公开(公告)号：KR102238742B1
公开(公告)日：2021-04-12
申请号：KR1020140120345A
申请日：2014-09-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66 , H01L21/027
Abstract: 마스크 패턴의 측정 관심 영역 그룹화 방법 및 이를 이용한 마스크 패턴의 선폭 계측 방법이 제공된다. 상기 마스크 패턴의 선폭 계측 방법은 적어도 하나의 블록을 포함하는 광학근접보정(optical proximity correction, OPC)된 마스크 디자인에 따른 마스크 패턴을 생성하고, 상기 마스크 패턴에서, 동일한 선폭(critical dimension, CD)을 갖는 서로 인접한 블록을 포함하는 대상 측정 관심 영역(target-region of interest, target-ROI)의 제1 선폭을 측정하고, 상기 대상 측정 관심 영역 및 상기 대상 측정 관심 영역과 인접한 적어도 하나의 이웃 블록을 포함하는 그룹 측정 관심 영역을 지정하고, 상기 그룹 측정 관심 영역의 이웃 블록들의 제2 선폭들을 측정하고, 상기 제2 선폭들의 측정치를 이용하여 상기 제1 선폭의 측정치를 보정하는 것을 포함한다.
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2.发明专利
公开(公告)号：KR20210028327A
公开(公告)日：2021-03-12
申请号：KR1020190109125A
申请日：2019-09-03
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G01J3/12 , G01J3/0202 , G01N21/39
Abstract: 공정 챔버 내에 배치되는 가이드 레일; 및 상기 가이드 레일에 가동적으로 결합되는 광 조사부; 를 포함하되, 상기 광 조사부는 공정 챔버에 결합된 관측부를 향해 표준광을 조사하는 표준광 광원을 포함하는 OES 시스템이 제공된다.
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公开(公告)号：WO2023085607A1
公开(公告)日：2023-05-19
申请号：PCT/KR2022/014790
申请日：2022-09-30
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 다양한 실시 예들에 따르면, 전자 장치는, 베이스 플레이트(24), 상기 베이스 플레이트에 배치되는 제 1 부품(27), 상기 베이스 플레이트에 배치되고, 상기 제 1 부품으로부터 이격된 위치에 마련되는 제 2 부품(28), 상기 베이스 플레이트에 연결되고, 상기 제 1 부품 및 제 2 부품을 둘러싸는 인터포저(23), 상기 인터포저에 연결되고 상기 제 1 부품 및 제 2 부품을 커버하는 커버 플레이트 바디(221)와, 상기 커버 플레이트 바디에 관통 형성되는 커버 홀(222)을 포함하는 커버 플레이트(22), 및 상기 커버 플레이트 바디에 배치되고 상기 제 1 부품 및 제 2 부품을 마주하는 방열 플레이트 바디(211)와, 상기 방열 플레이트 바디에 관통 형성되고 상기 커버 홀에 연통되는 방열 홀(21a)과, 상기 방열 플레이트 바디에 형성되고 열 전도성 계면 물질의 유동을 가이드하는 유동 가이드(212)를 포함하는 방열 플레이트(21)를 포함할 수 있다. 그 외에도 다양한 실시 예들이 가능하다.
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公开(公告)号：WO2023085593A1
公开(公告)日：2023-05-19
申请号：PCT/KR2022/014314
申请日：2022-09-26
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 다양한 실시 예들에 따른 전자 장치는 안테나 모듈, 상기 안테나 모듈을 통해 기지국과 신호를 송수신하는 제1 통신 모듈, 및 상기 제1 통신 모듈과 전기적으로 연결되는 프로세서를 포함할 수 있다. 상기 프로세서는 상기 기지국으로부터 수신된 웨이크 업 신호 설정 정보를 기초로 웨이크 업 신호의 수신 타이밍을 확인하고, 상기 기지국의 송신 빔들 중 하나와 상기 전자 장치의 수신 빔들 중 하나를 빔 페어로 선택하며, 상기 수신 타이밍이 도래하기 전의 SSB 버스트 주기에서 상기 선택된 빔 페어의 수신 빔을 이용하여 상기 선택된 빔 페어의 송신 빔의 수신 세기를 측정하고, 상기 선택된 빔 페어의 송신 빔의 SSB를 통해 적어도 하나의 RF 소자를 포함하는 동기화 루프를 안정화시키고, 상기 수신 타이밍에서 상기 기지국으로부터 전송된 웨이크 업 신호를 검출하고, 상기 측정된 수신 세기 및 상기 웨이크 업 신호의 수신 세기를 기초로 빔 서치 동작을 수행할지 여부를 결정할 수 있다.
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公开(公告)号：WO2017175964A1
公开(公告)日：2017-10-12
申请号：PCT/KR2017/001422
申请日：2017-02-09
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 본 발명의 다양한 실시예는 전자 장치에서 안테나 연결 및 동작을 제어하기 위한 장치 및 방법에 관한 것이다. 이때, 전자 장치는, 상기 전자 장치의 제 1 영역에 배치되는 다수 개의 안테나부들과 상기 전자 장치의 제 2 영역에 배치되는 적어도 하나의 안테나부와 상기 제 1 영역에 배치되는 다수 개의 안테나부들 및 상기 제 2 영역에 배치되는 적어도 하나의 안테나부과 연결되는 통신 회로와 상기 다수 개의 안테나부들과 상기 통신 회로를 연결하는 전기적 경로 중에 배치되는 제 1 스위치와 상기 적어도 하나의 안테나부와 상기 통신 회로를 연결하는 전기적 경로 중에 배치되는 제 2 스위치를 포함하며, 상기 제 1 스위치와 상기 제 2 스위치는, 상기 제 1 스위치와 상기 제 2 스위치를 연결하는 제 1 전기적 경로 및 제 2 전기적 경로를 이용하여 상기 다수 개의 안테나부들과 상기 통신 회로 및 상기 적어도 하나의 안테나부와 상기 통신 회로를 연결하도록 설정될 수 있다. 다른 실시예들도 가능할 수 있다.
Abstract translation: 本发明的各种实施例针对用于控制电子设备中的天线连接和操作的装置和方法。 电子设备包括设置在电子设备的第一区域中的多个天线单元，设置在电子设备的第二区域中的至少一个天线单元，设置在第一区域中的多个天线单元， 设置在将多个天线部分连接到通信电路的电路径中的第一开关以及设置在电路中的第二开关，所述电路径将所述至少一个天线部分和通信电路 其中，第一开关和第二开关使用连接第一开关和第二开关的第一电气路径和第二电气路径彼此电连接， 通信电路和至少一个天线单元以及通信电路 有。 其他实施例可能是可能的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170141016A
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：KR1020160073907
申请日：2016-06-14
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04B7/04 , H04B7/06 , H04B17/309 , H04B1/401
CPC classification number: H04B7/061 , H04B7/0417 , H04B7/0608 , H04B7/0691 , H04B17/15 , H04B17/29 , H04B17/318 , H04B17/336
Abstract: 본발명의다양한실시예는전자장치에서다수개의안테나들을제어하기위한장치및 방법에관한것이다. 이때, 전자장치는, 다수개의안테나부들과상기다수개의안테나부들과연결되는통신회로와적어도하나의프로세서를포함하며, 상기프로세서는, 상기다수개의안테나부들중 어느하나의안테나부를통해외부장치로신호를전송하고, 이벤트발생에대한응답으로, 상기안테나부과적어도하나의나머지안테나부각각의수신성능차를검출하고, 상기적어도하나의나머지안테나부각각의안테나특성에대응하는기준값과상기수신성능차에기반하여상기다수개의안테나부들중 어느하나를상기전자장치의송신안테나로설정하도록설정될수 있다. 다른실시예들도가능할수 있다.
Abstract translation: 本发明的各种实施例针对用于控制电子设备中的多个天线的设备和方法。 此时，电子设备，包括至少一个处理器和通信电路的多个天线单元和连接到所述多个天线单元，所述处理器，通过所述天线中的所述一个的信号输出到外部设备所述部分的多个天线 传输，以及响应于所述事件的发生，所述的天线带电并检测该其它天线部件分别的接收性能差中的至少一个，基于所述基准值和对应于剩余的天线单元中的至少一个相应的天线特性的接收性能差 并且将多个天线单元中的一个设置为电子设备的发送天线。 其他实施例是可能的。
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公开(公告)号：KR101714546B1
公开(公告)日：2017-03-10
申请号：KR1020110002606
申请日：2011-01-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H04M1/60 , H04B1/401 , H04B1/3827
CPC classification number: H04M1/6041 , H04M1/6025
Abstract: 휴대단말기장치가, 본체의일측에인접하여장착되는마이크및 스피커와, 본체의타측에장착되는트랜시버와, 마이크에연결되는코더와, 스피커에연결되는디코더와, 일단이코더및 스피커에각각연결되고타단이트랜시버에연결되는스위치로구성되는코덱과, 스피커폰통화모드시코더와트랜시버가연결되도록스위치를제어하고스피커를활성화시키며, 일반통화모드시디코더와트랜시버가연결되도록스위치를제어하고마이크를활성화시키는통화제어부로구성된다.
Abstract translation: 一种设备和方法处理语音通信服务。 本公开的移动终端装置包括布置在设备的主体的一端的麦克风; 靠近麦克风布置的扬声器; 布置在身体另一端的收发器; 编解码器，包括连接到麦克风的编码器，连接到扬声器的解码器，以及一个节点选择性地连接到编码器和解码器之一的开关，另一个节点连接到收发器; 以及通信控制器，其控制开关以在编码器和收发器之间建立路径，并使扬声器处于扬声器模式。
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公开(公告)号：KR1020170014384A
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：KR1020150107688
申请日：2015-07-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/3065 , H01L21/3213
CPC classification number: H01J37/32642 , H01J37/32009 , H01J2237/334 , H01L21/6831 , H01L21/68735
Abstract: 건식식각장치및 건식식각방법이개시된다. 식각장치는공정챔버의하부에배치되는베이스(base), 베이스의상면에배치되고식각공정에의해패턴구조물이형성되는기판을고정하는기판고정부, 기판고정부를둘러싸도록배치되어공정챔버의내부에형성되는식각용플라즈마를기판의상부영역에균일하게집중시키는포커스링, 포커스링을베이스의상면에수직한방향으로이동시키는구동부및 패턴구조물에대한검사결과에따라선택적으로구동부를구동하여포커스링의위치를자동으로제어하는위치제어기를포함한다. 패턴구조물의검사특성이허용범위를벗어나는경우자동으로포커스링을상승시켜기판상에형성되는플라즈마쉐스의밀도를균일하게유지할수 있다.
Abstract translation: 公开了一种干式蚀刻装置和使用其进行蚀刻的基板的方法。 该设备包括在处理室的下部处的基座，其中执行干法蚀刻工艺;衬底保持器，其布置在基底上并保持通过蚀刻工艺在其上形成多个图案结构的衬底;聚焦环封闭 衬底保持器并且均匀地将蚀刻等离子体聚焦到衬底上的护套区域上，驱动聚焦环的垂直方向与基座垂直的驱动器以及控制聚焦环的垂直位置的位置控制器通过根据 具有图案结构的检查结果。 因此，自动控制基板与聚焦环之间的间隙距离，从而增加蚀刻等离子体在基板上的均匀性。
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公开(公告)号：KR101662306B1
公开(公告)日：2016-10-10
申请号：KR1020100108140
申请日：2010-11-02
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G06T7/60 , G06T7/001 , G06T7/11 , G06T2207/10061 , G06T2207/30148
Abstract: 패턴의선폭측정방법에있어서, 대상패턴으로부터패턴이미지를획득한다. 상기패턴의설계패턴및 상기패턴이미지를매칭하여상기패턴이미지상에서검출영역을설정한다. 상기검출영역에서상기패턴윤곽에대한최적변경점을결정하고상기최적변경점으로부터기 설정된범위내에서측정영역(ROI)을설정한다. 상기측정영역에서상기패턴의선폭을산출한다.
Abstract translation: 在测量图案的临界尺寸的方法中，从对象图案获得图案图像。 匹配对象图案和图案图像的设计图案以确定图案图像上的检测区域。 在检测区域中确定图案轮廓的最佳转折点，并且将ROI（感兴趣区域）设置在从最佳转折点起的预定范围内。 ROI的关键尺寸是测量的。
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公开(公告)号：KR100444238B1
公开(公告)日：2004-12-09
申请号：KR1019970059553
申请日：1997-11-12
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 이형주
IPC: H04N5/45
Abstract: PURPOSE: A PIP(Picture In Picture) display method and a television receiver according to the same are provided to offer a PIP function and minimize a hardware device for the PIP function in a digital television receiver. CONSTITUTION: A television broadcasting signal processing unit including a tuner(202), an IF(Intermediate Frequency) module(204) and a channel decoder(206) recovers a transport stream including audio streams and video streams of a plurality of programs from a television broadcasting signal. A transport stream decoder(208) outputs an audio stream and a video stream of the first program and a video stream of the second program from the transport stream. An audio processing unit including an audio decoder(210) and an audio process and output unit(212) decodes and processes the audio stream of the first program, and outputs the processed audio stream to a speaker(214). A main video decoder(216) decodes the video stream of the first program as video data. A sub-video decoder(218) decodes the video stream of the second program as video data. A format converter(220) performs format conversion to output the video data of the first program to a main screen and output the video data of the second program to a sub-screen. A video output unit including an OSG(On Screen Graphic) mixer(222) and a video process and output unit(224) processes the output of the format converter, and outputs the processed output to a picture tube(226). A microprocessor(228) controls the format conversion according to a PIP output command of a user.
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