公开(公告)号：KR1020080052732A

公开(公告)日：2008-06-12

申请号：KR1020060124264

申请日：2006-12-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조정환 ,  조재현 ,  박경득

IPC: G09G3/36 ,  G02F1/133 ,  G09G3/20

Abstract: A display apparatus is provided to improve flicker characteristics deteriorated due to impulsive operation by converting a driving frequency to have a frequency more than 75Hz. A display apparatus includes a memory(400), a timing controller(300), a display panel(100), and panel drivers(210,220). The memory temporarily stores original image data. The timing controller writes and reads the original image data to/from the memory, varies driving frequencies, and outputs normal data and impulsive data based on the read original image data. The display panel displays images by plural pixels. The panel drivers drive the display panel to display images based on the normal data during a first interval and the impulsive data during a second interval.

Abstract translation: 提供一种显示装置，用于通过将驱动频率转换成具有大于75Hz的频率来改善由于脉冲操作而劣化的闪烁特性。 显示装置包括存储器（400），定时控制器（300），显示面板（100）和面板驱动器（210,220）。 内存暂时存储原始图像数据。 定时控制器将原始图像数据写入存储器，读取原始图像数据，改变驱动频率，并根据读取的原始图像数据输出正常数据和脉冲数据。 显示面板通过多个像素显示图像。 面板驱动器驱动显示面板，以在第一个间隔期间基于正常数据显示图像，并在第二个间隔期间显示脉冲数据。

公开(公告)号：KR1020030046606A

公开(公告)日：2003-06-18

申请号：KR1020010076799

申请日：2001-12-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 고영민 ,  박경득

IPC: G01K7/14

Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for correcting a thermocouple temperature are provided to maintain a temperature of a reference contact of the thermocouple to a reference temperature by forcibly applying power to the thermocouple. CONSTITUTION: A thermocouple(200) has a contact section(202), to which two different kinds of metals are connected. First and second compensating conductive wires(208a,208b) are connected to two metals. First and second compensating conductive wires(208a,208b) and first and second contacts, to which the first and second compensating conductive wires(208a,208b) and two metals are connected, are accommodated in an insulation pipe(210). The insulation pipe(210) is accommodated in a protective pipe(212). A connector(222) is provided in a body(220) of a thermocouple temperature compensating device. An auxiliary connector(224) is provided at a lower portion of the connector(222). A reference contact probe(226) is provided at a lower portion of the body(220). A reference thermometer is provided to measure a temperature of third and fourth reference contact sections.

Abstract translation: 目的：提供一种用于校正热电偶温度的装置和方法，以通过强制向热电偶施加电力来将热电偶的参考触点的温度维持在参考温度。 构成：热电偶（200）具有接触部分（202），两个不同种类的金属被连接到该接触部分。 第一和第二补偿导线（208a，208b）连接到两个金属。 第一和第二补偿导线（208a，208b）以及第一和第二补偿导线（208a，208b）和两个金属连接到的第一和第二触点容纳在绝缘管（210）中。 绝缘管（210）容纳在保护管（212）中。 连接器（222）设置在热电偶温度补偿装置的主体（220）中。 辅助连接器（224）设置在连接器（222）的下部。 参考接触探针（226）设置在主体（220）的下部。 提供参考温度计来测量第三和第四参考接触部分的温度。

公开(公告)号：KR100246966B1

公开(公告)日：2000-03-15

申请号：KR1019960062406

申请日：1996-12-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박경득 ,  전상영

IPC: H01L21/66

Abstract: 반도체소자 제조공정에 사용되는 압력측정기를 용이하게 교정할 수 있는 반도체설비의 압력측정기 교정장치 및 이를 이용한 압력측정기 교정방법에 관한 것이다.
본 발명은, 반도체설비의 공기 공급라인으로부터 일정한 공기량을 공급받을 수 있는 공기공급수단을 구비하여 기준 압력게이지와 대비하여 압력측정기를 교정하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 압력측정기 정상동작 여부를 판단하여 교정하는데 소요되는 경비 및 교정시간을 절감할 수 있는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1020060057211A

公开(公告)日：2006-05-26

申请号：KR1020040096299

申请日：2004-11-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박경득 ,  박진우

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/02 ,  F05D2270/306 ,  G05D7/06

Abstract: 본 발명은 반도체 제조에 많이 사용되는 질량 유량 제어기(mass flow controller)에 관한 것으로, 본 발명의 질량 유량 제어기는 유입구과 유출구를 갖는 그리고 메인공정 처리시에 가스가 흐르는 메인유로와, 상기 메인유로의 양단에 연결되어 퍼지공정 처리시에만 가스가 흐르는 퍼지유로를 갖는 몸체; 상기 메인유로상에 설치되어 상기 메인유로상의 가스 유량을 감지하여 제공하는 센서; 상기 메인유로로 흐르는 가스 유량을 제어하는 컨트롤 밸브; 상기 퍼지유로에 설치되는 개폐 밸브; 및 상기 센서에서 제공되는 가스 유량 및 제공되는 유압 데이터에 대응되도록 상기 컨트롤 밸브를 조절하고, 퍼지공정 처리시에는 상기 개폐밸브를 개방하는 조절 신호를 제공하는 제어부를 포함한다.

公开(公告)号：KR100208706B1

公开(公告)日：1999-07-15

申请号：KR1019960033600

申请日：1996-08-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박경득

IPC: H01L21/00

Abstract: 다양한 양식 및 크기의 필증을 자동으로 발행하고 필증 발행의 오류를 예방하도록 개선시킨 반도체 제조설비를 위한 필증 발행 시스템 및 방법에 관한 것이다.
반도체 제조설비의 검사 및 교정에 따른 필증을 발행하는 반도체 제조설비를 위한 필증 발행 시스템에 있어서, 상기 반도체 제조설비를 검사 및 교정하는 검사교정기기, 상기 검사교정기기에서의 검사 및 교정 결과가 입력되어 미리 정해진 양식으로 저장되는 데이터베이스부 및 필증 발행 명령을 입력하는 입력부와 상기 필증 발행 명령이 입력되면 상기 데이터베이스부에 저장된 상기 검사 및 교정 결과를 검색하여 출력 양식을 정하는 컴퓨터 및 상기 컴퓨터에서 정해진 출력양식으로 필증을 출력하는 출력부를 구비하는 필증발행수단으로 이루어진다.
본 발명에 의하면 필증 발행 작업이 자동화되고, 작업시간이 절감되며, 작업성이 향상되고, 필증의 효용성이 극대화되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019980014571A

公开(公告)日：1998-05-25

申请号：KR1019960033600

申请日：1996-08-13

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박경득

IPC: H01L21/00

Abstract: 다양한 양식 및 크기의 필증을 자동으로 발행하고 필증 발행의 오류를 예방하도록 개선시킨 반도체 제조설비를 위한 필증 발행 시스템 및 방법에 관한 것이다.
반도체 제조설비의 검사 및 교정에 따른 필증을 발행하는 반도체 제조설비를 위한 필증 발행 시스템에 있어서, 상기 반도체 제조설비를 검사 및 교정하는 검사교정기기, 상기 검사교정기기에서의 검사 및 교정 결과가 입력되어 미리 정해진 양식으로 저장되는 데이터베이스부 및 필증 발행 명령을 입력하는 입력부와 상기 필증 발행 명령이 입력되면 상기 데이터베이스부에 저장된 상기 검사 및 교정 결과를 검색하여 출력 양식을 정하는 컴퓨터 및 상기 컴퓨터에서 정해진 출력양식으로 필증을 출력하는 출력부를 구비하는 필증발행수단으로 이루어진다.
본 발명에 의하면 필증 발행 작업이 자동화되고, 작업시간이 절감되며, 작업성이 향상되고, 필증의 효용성이 극대화되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR100684874B1

公开(公告)日：2007-02-20

申请号：KR1020040096299

申请日：2004-11-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박경득 ,  박진우

IPC: H01L21/02

Abstract: 본 발명은 반도체 제조에 많이 사용되는 질량 유량 제어기(mass flow controller)에 관한 것으로, 본 발명의 질량 유량 제어기는 유입구과 유출구를 갖는 그리고 메인공정 처리시에 가스가 흐르는 메인유로와, 상기 메인유로의 양단에 연결되어 퍼지공정 처리시에만 가스가 흐르는 퍼지유로를 갖는 몸체; 상기 메인유로상에 설치되어 상기 메인유로상의 가스 유량을 감지하여 제공하는 센서; 상기 메인유로로 흐르는 가스 유량을 제어하는 컨트롤 밸브; 상기 퍼지유로에 설치되는 개폐 밸브; 및 상기 센서에서 제공되는 가스 유량 및 제공되는 유압 데이터에 대응되도록 상기 컨트롤 밸브를 조절하고, 퍼지공정 처리시에는 상기 개폐밸브를 개방하는 조절 신호를 제공하는 제어부를 포함한다.

公开(公告)号：KR1020070012953A

公开(公告)日：2007-01-30

申请号：KR1020050067222

申请日：2005-07-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 윤종왕 ,  박경득 ,  이영미

IPC: H01L21/20 ,  H01L21/205 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67248 ,  H01L21/67017

Abstract: An automatic temperature and humidity compensating device is provided to prevent a reaction fluid from being conglomerated in a reaction fluid supply line by maintaining the reaction fluid at a predetermined temperature and humidity. An automatic temperature and humidity compensating device includes an anti-heat/anti-humidity unit(110), first sensing modules(120), a second sensing module(140), and a compensating unit(150). The anti-heat/anti-humidity unit adjusts a temperature and humidity of a reference fluid, which circulates in a tube. The first sensing modules measure the temperature and humidity of the reference fluid. The second sensing module measures the temperature and humidity of the reference fluid at higher accuracy than the first sensing modules. The compensating unit compares reference data from the second sensing module with the measured data from the first sensing modules to calculate compensation data. The compensating unit compensates for the first sensing modules according to the compensation data.

Abstract translation: 提供了一种自动温度和湿度补偿装置，用于通过将反应流体维持在预定的温度和湿度来防止反应流体在反应流体供应管线中聚集。 自动温湿度补偿装置包括防热/抗湿单元（110），第一感测模块（120），第二感测模块（140）和补偿单元（150）。 防热/防湿单元调节在管中循环的参考流体的温度和湿度。 第一个感测模块测量参考流体的温度和湿度。 第二感测模块以比第一感测模块更高的精度测量参考流体的温度和湿度。 补偿单元将来自第二感测模块的参考数据与来自第一感测模块的测量数据进行比较，以计算补偿数据。 补偿单元根据补偿数据补偿第一感测模块。

公开(公告)号：KR1020040063048A

公开(公告)日：2004-07-12

申请号：KR1020030000453

申请日：2003-01-04

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김남용 ,  박경득

IPC: H01L21/00

Abstract: PURPOSE: An apparatus for correcting a vacuum gauge is provided to efficiently perform a correction process required for a long interval of time and reduce a time loss necessary for the correction process by simultaneously connecting a plurality of vacuum gauges to a vacuum chamber and by simultaneously performing a correction process on the plurality of vacuum gauges. CONSTITUTION: Vacuum is supplied to a vacuum chamber(100). A plurality of vacuum supplying pipes(112) are connected to the vacuum chamber. A plurality of vacuum connection pipes(118,120) connects the vacuum supplying pipes with the vacuum gauges to correct the plurality of vacuum gauges, connected to the plurality of vacuum supplying pipes, respectively. A data obtaining unit generates an electrical vacuum signal according to variation of the vacuum supplied to the vacuum chamber and obtains correction data for correcting the vacuum gauge according to the electrical vacuum signal, connected to the vacuum gauge connected to the vacuum connection pipe.

Abstract translation: 目的：提供一种用于校正真空计的装置，以有效执行长时间间隔所需的校正过程，并通过同时将多个真空计同时连接到真空室并同时执行以减少校正过程所需的时间损耗 对多个真空计的校正处理。 构成：将真空供应到真空室（100）。 多个真空供给管（112）连接到真空室。 多个真空连接管（118,120）将真空供给管与真空计连接，以分别连接多个真空供给管的多个真空计。 数据获取单元根据提供给真空室的真空度的变化产生电真空信号，并根据与真空连接管连接的真空计连接的电真空信号获得用于校正真空计的校正数据。

公开(公告)号：KR1020000013957A

公开(公告)日：2000-03-06

申请号：KR1019980033124

申请日：1998-08-14

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박경득

IPC: H01L21/02

Abstract: PURPOSE: Gas flow controller for manufacturing the semiconductor is provided to check the leak of gas easily. CONSTITUTION: An O-ring(34) is installed in one side of the control valve(30) to prevent the leak of gas. The leak director is installed near the O-ring(34). Outside air inhaler(100) is placed outside(32) of the control valve(30). This inhaler(100) has the shape of a taper of which the diameter lessens inside. The leak detector checks gas by detecting if there is gas from the inhaler(100) through the O-ring(54).

Abstract translation: 目的：提供用于制造半导体的气体流量控制器，以便容易检查气体泄漏。 构成：O型圈（34）安装在控制阀（30）的一侧，以防止气体泄漏。 泄漏导向器安装在O形圈附近（34）。 外部空气吸入器（100）被放置在控制阀（30）的外部（32）。 这种吸入器（100）具有直径在内部减小的锥形的形状。 通过检测来自吸入器（100）的气体是否通过O形环（54）检测气体。