公开(公告)号：KR1020160025863A

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：KR1020140113289

申请日：2014-08-28

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조정현 ,  민병준 ,  박중견

IPC: G01R31/26

CPC classification number: G01R31/2867 ,  G01R31/2875 ,  G01R31/2877

Abstract: 접속구조물및 이를구비하는테스트핸들러가개시된다. 접속구조물은구동기와연결되는기저부(base body), 기저부에배치되고피검소자를가압(push) 및냉각하는제1 푸셔어셈블리, 및제1 푸셔어셈블리와개별적으로기저부에배치되고피검소자를가압및 가열하는제2 푸셔어셈블리를포함한다. 단일한테스트챔버에서고온테스트와저온테스트를순차적으로수행하는경우온도전환시간을최소화할 수있다.

Abstract translation: 公开了一种接触结构和具有该结构的测试处理器。 所述接触结构包括：连接到驱动单元的基体; 第一推动器组件，放置在基体上，用于推动和冷却测试目标物体; 以及第二推动器组件，用于推压和加热与第一推动器组件分开设置在基体上的测试对象物体。 当在单个测试室中连续处理高温试验和低温试验时，可以使温度转变时间最小化。