나노구조 반도체 발광소자 및 제조방법
    3.
    发明公开
    나노구조 반도체 발광소자 및 제조방법 有权
    纳米扫描半导体发光器件

    公开(公告)号:KR1020150050284A

    公开(公告)日:2015-05-08

    申请号:KR1020130164521

    申请日:2013-12-26

    CPC classification number: H01L33/08 H01L33/0079 H01L33/24 H01L33/145

    Abstract: 본발명의일 실시형태는, 제1 도전형반도체로이루어진베이스층과, 상기베이스층상에형성되며, 상기베이스층의일부영역이노출된복수의개구를갖는절연막과, 상기베이스층의노출된영역각각에형성되며, 제1 도전형반도체로이루어지고, 그측면의결정면과다른결정면을갖는상단부를갖는나노코어와, 상기나노코어의표면에순차적으로형성된활성층과제2 도전형반도체층과, 상기활성층과상기나노코어사이에위치하도록상기나노코어의상단부에형성된전류차단중간층을포함하는나노구조반도체발광소자를제공한다.

    Abstract translation: 根据本发明的实施例,纳米结构半导体发光器件包括由第一导电型半导体制成的基极层,形成在基底层上的绝缘层,并且具有暴露于基底层的一部分的开口,纳米孔 其形成在基底层的露出区域中,由第一导电型半导体制成,具有与侧面不同的结晶面的上端部,有源层和第二导电型半导体层, 在纳米孔的表面上依次形成电流阻挡中间层,其形成在纳米孔的上端部分中,位于活性层和纳米孔之间。

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