公开(公告)号：KR1020170029076A

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：KR1020150125718

申请日：2015-09-04

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 석철균 ,  강태균 ,  엄정환 ,  최창원

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/67 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01J37/32642 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/3244 ,  H01J37/32477 ,  H01J37/32697 ,  H01J37/32715

Abstract: 본발명은링 부재및 그를포함하는기판처리장치를개시한다. 그의장치는월 라이너, 정전척, 및링 부재를포함한다. 링부재는포커스링과사이드링을포함한다. 사이드링은상기사이드링은상기링 부재의바닥에서부터상기링 부재의상부로연장하고, 상기링 부재의상부로부터상기링 부재의외부측벽으로연장한다.

Abstract translation: 衬底处理系统包括壁衬，壁衬中的用于保持衬底的静电吸盘，以及包括聚焦环和侧环的环构件。 聚焦环位于静电卡盘的边缘区域上，侧环包围聚焦环的外侧表面和静电卡盘的侧表面。 侧环包括从环形构件的底表面朝向环形构件的顶部延伸并从环形构件的顶部朝向环形构件的外侧表面延伸的气孔。

公开(公告)号：KR1020160139984A

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：KR1020150075989

申请日：2015-05-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 석철균 ,  강태균 ,  최창원

IPC: H01L21/56 ,  H01L21/02 ,  H01L21/471 ,  H01L21/324 ,  H01L21/683

CPC classification number: H01J37/32495 ,  B01J2/003 ,  C23C4/10 ,  C23C4/134 ,  H01J2237/332

Abstract: 코팅층형성방법에있어서, 중공부를감싸는쉘을포함하는중공무기입자들을준비한다. 속이찬 무기코팅입자들을준비한다. 중공무기입자들및 무기코팅입자들의혼합물을제조한다. 혼합물을플라즈마용사공정을통해모재표면에분사한다.

Abstract translation: 一种形成涂层的方法，包括制备中空无机颗粒，每个中空无机颗粒包括围绕中空芯的壳; 制备固体结构的无机涂层颗粒; 形成中空无机颗粒和无机涂层颗粒的混合物; 并通过等离子体喷涂方法将混合物喷涂在基材的表面上。