公开(公告)号：KR1020160015840A

公开(公告)日：2016-02-15

申请号：KR1020140098636

申请日：2014-07-31

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김현우 ,  고우석 ,  김영환 ,  김정회 ,  성백만 ,  손형수 ,  신채호 ,  양유신 ,  위재연 ,  이상길 ,  전충삼

IPC: G01R19/00 ,  G01R27/00

CPC classification number: G01Q60/40 ,  G01Q70/06

Abstract: 본발명의기술적사상에의한전도성원자힘현미경장치및 전도성원자힘현미경장치의동작방법은탐침과상기탐침에연결되어있는캔틸레버를각각구비하는복수의프로브구조체; 기준시료및 측정시료각각에바이어스전압을인가하는전원부; 상기기준시료와상기프로브구조체사이에흐르는전류및 상기측정시료와상기프로브구조체사이에흐르는전류를각각검출하고, 상기기준시료및 상기측정시료각각의대표전류값을계산하는전류검출부; 및상기프로브구조체각각으로측정한기준시료의대표전류값의비율을계산하여, 상기프로브구조체각각으로측정한측정시료의대표전류값을스케일링하는스케일링팩터(Scaling Factor)를산출하는알고리즘을수행하는제어부를포함하는전도성원자힘현미경장치및그 동작방법을제공한다.

Abstract translation: 根据本发明的技术提供导电原子力显微镜装置和操作导电原子力显微镜装置的方法。 导电原子力显微镜装置包括：多个探针结构，分别包括探针和连接于探针的悬臂; 用于向参考样本和测量样本中的每一个施加偏置电压的电源部分; 电流检测部分，分别检测在参考样本和探针结构之间流动的电流和分别在测量样本和探针结构之间流动的电流，并计算每个参考样本和测量样本的代表性电流值; 以及控制部，其通过计算由每个探针结构测量的参考样本的代表性电流值的比率，执行用于计算由每个探针结构测量的测量样本的代表性电流值的缩放因子的算法。