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公开(公告)号：KR102234659B1
公开(公告)日：2021-04-05
申请号：KR1020130129556A
申请日：2013-10-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N23/225 , G01Q30/02
Abstract: SEM(scanning electron microscope) 장치는 샘플 내에 형성되고 서로 적층된 하부 구조와 상부 구조를 포함하는 인-셀 영역으로 1차 전자 빔을 주사하는 전자 총과, 상기 샘플을 지지하는 스테이지와, 상기 인-셀 영역으로부터 방출된 후방-산란 전자들을 검출하는 적어도 하나의 제1검출기와, 상기 후방-산란 전자들을 이용하여 상기 인-셀 영역에 대한 이미지를 생성하고, 생성된 이미지를 이용하여 상기 인-셀 영역에 포함된 오버랩된 패턴들에 대한 오버레이 오프셋을 측정하는 이미지 처리 및 오버레이 오프셋 측정 장치와, 상기 인-셀 영역에 대한 랜딩 에너지가 10kV이상이 되도록, 상기 전자 총으로 공급되는 가속 전압과 상기 샘플로 공급되는 전압을 제어하는 전압 제어기를 포함한다.
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公开(公告)号：KR1020160116534A
公开(公告)日：2016-10-10
申请号：KR1020150044393
申请日：2015-03-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
CPC classification number: H01J37/222 , H01J37/20 , H01J37/28 , H01J2237/20214 , H01J2237/226 , H01J2237/2817
Abstract: 본발명의기술적사상에따른웨이퍼의검사방법은, 복수의전자빔컬럼들이상기웨이퍼의서로다른다이들상에서각 다이의서로다른부분영역들과각각대면하도록위치를조정하는단계; 상기복수의전자빔컬럼들이상기부분영역들을각각스캔하는단계; 및상기부분영역들을각각스캔하여획득된복수의부분이미지들을조합하여하나의다이이미지를획득하는단계;를포함할수 있다. 또한, 본발명의기술적사상에따른웨이퍼의검사방법은, 검사대상영역으로지정된다이들이복수의전자빔컬럼들에의해각각스캔되도록웨이퍼또는복수의전자빔컬럼들의정렬방향을적어도한 번회전시키는단계; 및상기스테이지의스캔방향이상기다이의어느하나의가장자리와수직하고, 상기복수의전자빔컬럼들의스캔방향이상기스테이지의스캔방향과서로수직하도록상기스테이지의스캔방향및 상기복수의전자빔컬럼들의스캔방향중 적어도하나를회전시키는단계;를포함할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020130095555A
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：KR1020120017092
申请日：2012-02-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N21/01
CPC classification number: F21V13/04 , F21V7/0025 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G01N2021/8845
Abstract: PURPOSE: A lighting optical system is provided to improve lighting efficiency using wavelength of broadband. CONSTITUTION: A lighting optical system comprises a first light source, a first ellipsoidal mirror (111a), a first mirror (113a), a second light source, a second ellipsoidal mirror (111b), and a second mirror (113b). The first light source emits the light at first wavelength band. The first ellipsoidal mirror reflects the light emitted from the first light source. The first mirror reflects the light from the first ellipsoidal mirror to condensing lens (116). The second light source emits the light at second wavelength band. The second ellipsoidal mirror emits the light emitted from the second light source. The second mirror is installed between the first mirror and the condensing lens, and reflects the light from the second ellipsoidal mirror to the condensing lens. [Reference numerals] (130) Image formation optical system; (140) CCD camera; (150) Image processing unit; (160) Display unit
Abstract translation: 目的：提供照明光学系统，以提高使用宽带波长的照明效率。 构成：照明光学系统包括第一光源，第一椭圆面镜（111a），第一反射镜（113a），第二光源，第二椭圆面镜（111b）和第二反射镜（113b）。 第一光源以第一波长带发射光。 第一椭圆面镜反射从第一光源发出的光。 第一反射镜将来自第一椭球镜的光反射到聚光透镜（116）。 第二光源以第二波长带发射光。 第二椭圆面镜发射从第二光源发射的光。 第二反射镜安装在第一反射镜和聚光透镜之间，并将来自第二椭圆面镜的光反射到聚光透镜。 （附图标记）（130）图像形成光学系统; （140）CCD摄像头; （150）图像处理单元; （160）显示单元
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公开(公告)号：KR1020130092051A
公开(公告)日：2013-08-20
申请号：KR1020120013512
申请日：2012-02-10
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: F21V13/04 , G01N21/8806 , G01N21/9501 , G03B2215/0582 , G03B2215/0592
Abstract: PURPOSE: A reflector structure of a high efficiency lighting optical system is provided to secure a sufficient amount of light emitted from a light source of a lighting optical system by minimizing light loss on a light path. CONSTITUTION: A corresponding light optical system includes a light source (116), an ellipsoid reflector (118) focusing light on a second focus, a lens (122) for placing an incident surface on the second focus, a reflective surface (202) reflecting light not emitted to the lens by using the ellipsoid reflector, and a reflector (128) including a light guide hole (200).
Abstract translation: 目的：提供高效率照明光学系统的反射器结构，以通过最小化光路上的光损失来确保从照明光学系统的光源发射的足够量的光。 构成：对应的光学系统包括光源（116），将光聚焦在第二焦点上的椭球反射器（118），用于将入射表面放置在第二焦点上的透镜（122），反射表面 通过使用椭圆体反射器不发射到透镜的光，以及包括导光孔（200）的反射器（128）。
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公开(公告)号：KR1020130076982A
公开(公告)日：2013-07-09
申请号：KR1020110145437
申请日：2011-12-29
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H01J65/04
Abstract: PURPOSE: A light source device and a light generating method are provided to emit the lights of broadband having high lighting efficiency and uniform illuminance. CONSTITUTION: A broadband light source device (100) includes a chamber (102), a laser emitter, an oval mirror (112), and an energy source. The chamber is filled with only high-pressure gases. The laser emitter is arranged outside the chamber for generating a plasma domain (18) on the central portion of the chamber. The oval mirror surrounds the chamber while being spaced from the chamber so that the lights emitted from the plasma domain are incident to and reflected by the surface of the oval mirror uniformly and collected. A rod lens collects the lights emitted from the plasma domain of the central portion of the chamber and reflected by the oval mirror, thereby generating a surface-light source. The energy source evaporates the initial mercury inside the chamber and ionizes the high-pressure gases.
Abstract translation: 目的：提供一种光源装置和发光方法来发射具有高照明效率和均匀照度的宽带光。 构成：宽带光源装置（100）包括室（102），激光发射器，椭圆镜（112）和能量源。 该室只装满高压气体。 激光发射器布置在腔室的外部，用于在腔室的中心部分上产生等离子体区域（18）。 椭圆形镜子围绕腔室同时与腔室间隔开，使得从等离子体区域发射的光均匀地入射到椭圆镜的表面并被其反射并被收集。 棒状透镜收集从室的中心部分的等离子体区域发射并由椭圆形反射镜反射的光，从而产生表面光源。 能量源蒸发室内的初始汞，并使高压气体离子化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110048080A
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：KR1020090101730
申请日：2009-10-26
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: PURPOSE: A method for inspecting a minute defect on a substrate is provided to prevent the damage of a probe by scanning the substrate while maintaining a separated state. CONSTITUTION: A probe of an SPM(Scanning Probe Microscopy) is located by being separated from a substrate. The probe scans the substrate by varying the position of the probe with the substrate(S300). An inducing current value which is applied to the probe is measured. The inducing current value is created by the differences of a shape or a material according to the position of the substrate. A defect is determined by comparing more than two different inducing current values which are measured at two different places(S400).
Abstract translation: 目的：提供用于检查基板上的微小缺陷的方法，以通过在保持分离状态的同时扫描基板来防止探针的损坏。 构成：通过与底物分离来定位SPM（扫描探针显微镜）的探针。 探针通过改变探针与衬底的位置来扫描衬底（S300）。 测量施加到探针的感应电流值。 感应电流值根据基板的位置由形状或材料的差异产生。 通过比较在两个不同地方测量的两个以上不同的感应电流值来确定缺陷（S400）。
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公开(公告)号：KR102234659B1
公开(公告)日：2021-04-05
申请号：KR1020130129556
申请日：2013-10-29
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N23/225 , G01Q30/02
Abstract: SEM(scanning electron microscope) 장치는샘플내에형성되고서로적층된하부구조와상부구조를포함하는인-셀영역으로 1차전자빔을주사하는전자총과, 상기샘플을지지하는스테이지와, 상기인-셀영역으로부터방출된후방-산란전자들을검출하는적어도하나의제1검출기와, 상기후방-산란전자들을이용하여상기인-셀영역에대한이미지를생성하고, 생성된이미지를이용하여상기인-셀영역에포함된오버랩된패턴들에대한오버레이오프셋을측정하는이미지처리및 오버레이오프셋측정장치와, 상기인-셀영역에대한랜딩에너지가 10kV이상이되도록, 상기전자총으로공급되는가속전압과상기샘플로공급되는전압을제어하는전압제어기를포함한다.
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公开(公告)号：KR101877468B1
公开(公告)日：2018-07-12
申请号：KR1020110145437
申请日：2011-12-29
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H01J65/04
Abstract: 광대역광원장치는고압가스만으로채워져있고구 형상을갖는챔버가구비된다. 상기챔버외부에는레이저방출기가구비된다. 상기챔버와이격되면서상기챔버를둘러싸도록타원경이배치된다. 상기챔버중심부의플라즈마영역으로부터방출되어상기타원경에서반사된광을수집하는로드렌즈가구비된다. 상기챔버내부에고압가스들을이온화시키기위하여제공되는에너지공급부를포함한다. 상기광대역광원장치는챔버내에전극이구비되지않으므로, 생성된광은균일한조도를가지며, 입사각별로광량이균일하다.
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公开(公告)号：KR1020160081423A
公开(公告)日：2016-07-08
申请号：KR1020140195236
申请日：2014-12-31
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N23/225 , H01L21/66 , G06T1/00 , H01J37/26
CPC classification number: G06T7/0006 , G02B21/0028 , G02B21/0056 , G02B21/008 , G06T7/001 , G06T2207/30148 , G01N23/225 , G06T1/00 , H01J37/26 , Y10S977/843
Abstract: 결함검출방법에있어서, 패턴이형성된시료상에전자빔을조사하여상기패턴에대한실제이미지를획득한다. 상기실제이미지의픽셀별그레이레벨을기준으로콘트라스트변환을수행하여정상패턴만을나타내는변환이미지를획득한다. 상기변환이미지와상기패턴의설계이미지를매칭하여상기실제이미지에서결함패턴을검출한다.
Abstract translation: 缺陷检测方法技术领域本发明涉及通过用电子束照射图案形成的样本来获取图案的实际图像的缺陷检测方法。 通过基于实际图像的灰度级执行对比度转换来获取显示正常图案的转换图像。 转换图像与图案的设计图像相匹配，以从实际图像中检测缺陷图案。 因此，本发明提高了检测的速度和准确性。
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公开(公告)号：KR1020160039917A
公开(公告)日：2016-04-12
申请号：KR1020140133225
申请日：2014-10-02
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: H01S3/0071 , G01N21/8806 , G01N21/956
Abstract: 광대역광원및 이를구비하는광학검사장치에있어서, 광대역광원을생성하는소스램프와소스램프를반사시켜집광부로수렴시키는타원형반사경및/또는구형반사경과외부에서소스램프로레이저를조사하여플라즈마를형성하는레이저조사기를포함한다. 구형반사경을통하여소스램프의전방으로소실되는광을집광부로집광시키고, 소스램프를밴드대역별로다수개배치하여밴드대역이상이한다수의광대역광을생성한다. 광대역광원의세기를높이고밴드대역을확장할수 있다.
Abstract translation: 在宽带光源和具有该宽带光源的光学检测器中，宽带光源包括产生宽带光的源灯，椭圆形反射器和/或球形反射器，其反射源灯的光并将其收集在光集合 部分，以及激光照射器，其从外部向源灯照射激光并形成等离子体。 源灯前部的损耗光可由球面反射器收集。 源灯根据频带范围进行布置。 因此，产生不同频带范围的宽带光。 宽带光源的强度增加。 可以扩展频带范围。
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