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公开(公告)号：KR102233577B1
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：KR1020140021687A
申请日：2014-02-25
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/027
CPC classification number: H01L21/0273 , G03F7/26 , G03F7/38 , H01L21/0337 , H01L21/31058 , H01L21/02164 , H01L21/02277
Abstract: 반도체 소자의 패턴 형성 방법으로, 기판 상에 하드 마스크막을 형성한다. 상기 하드 마스크막 상에 포토레지스트막을 코팅한다. 상기 포토레지스트막에 대해 노광 및 현상하여 제1 포토레지스트 패턴을 형성한다. 상기 제1 포토레지스트 패턴의 표면에 유기 용매를 접촉시키는 스무징 공정을 수행하여 제2 포토레지스트 패턴을 형성한다. 상기 제2 포토레지스트 패턴의 표면 프로파일을 따라 원자층 증착막을 형성한다. 상기 원자층 증착막이 형성된 제2 포토레지스트 패턴을 식각 마스크로 이용하여, 상기 원자층 증착막 및 하드 마스크막을 식각하여 하드 마스크 패턴을 형성한다. 상기 공정에 의하면, 거칠기 특성이 우수한 패턴을 형성할 수 있다.
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公开(公告)号：KR102235610B1
公开(公告)日：2021-04-05
申请号：KR1020140042023A
申请日：2014-04-08
Applicant: 삼성전자주식회사 , 에이제트 일렉트로닉 머티어리얼스 (룩셈부르크) 에스.에이.알.엘.
Abstract: 익스트림 UV 광을 이용하는 패턴 형성 방법에 있어서, 러프니스와 패턴 형상의 측면에 있어서 우수한 패턴을 생성할 수 있는 상부 코팅층 형성용 조성물이 제공되고, 또한 이를 채용한 패턴 형성 방법이 제공된다. 친수성기를 갖는 그래핀 유도체와 용매를 포함하는 상부 코팅층 형성용 조성물; 및 레지스트 표면 위에 상기 조성물을 도포한 후, 이를 노광 및 현상 함으로써 패턴을 형성하는 방법이 제공된다. 상기 조성물은 폴리머를 더 포함할 수 있다.
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公开(公告)号：WO2022019582A1
公开(公告)日：2022-01-27
申请号：PCT/KR2021/009221
申请日：2021-07-19
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 로봇 및 그 제어 방법이 개시된다. 본 로봇은 로봇 팔, 로봇 팔에 연결되며, 제1 및 제2 로봇 핑거를 포함하는 로봇 핸드 및 프로세서를 포함하고, 프로세서는 객체의 파지를 위해 로봇이 움직이는 동안 제1 로봇 핑거에 포함된 제1 센서 및 제2 로봇 핑거에 포함된 제2 센서 중 활성화된 제1 센서를 통해 객체가 감지되면, 제2 센서를 활성화시키고, 활성화 된 제1 및 제2 센서가 로봇의 움직임에 따라 복수의 지점에서 감지한 객체와의 거리에 대한 정보를 활성화 된 제1 및 제2 센서로부터 수신하며, 수신된 정보에 기초하여 객체를 파지하도록 제1 및 제2 로봇 핑거를 제어할 수 있다.
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公开(公告)号：WO2022019518A1
公开(公告)日：2022-01-27
申请号：PCT/KR2021/008350
申请日：2021-07-01
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 그립 장치가 개시된다. 본 개시의 일 실시예에 따른 그립 장치는 제1 핑거, 제1 핑거와 마주보는 제2 핑거, 제1 가이드 슬롯이 형성되고, 상기 제1 핑거를 지지하는 제1 링크부, 제2 가이드 슬롯이 형성되고, 제1 링크부와 교차하여 배치되며 제2 핑거를 지지하는 제2 링크부, 제1 가이드 슬롯 및 제2 가이드 슬롯 내에서 이동 가능하며, 제1 링크부 및 제2 링크부의 교차지점에서 제1 및 제2 링크부를 연결하는 힌지, 제1 및 제2 링크부 중 적어도 하나를 이동시켜서 제1 핑거 및 제2 핑거 사이의 간격을 조정하는 제1 액츄에이터 및 힌지를 제1 가이드 슬롯 및 제2 가이드 슬롯 내에서 이동시키는 제2 액츄에이터를 포함한다.
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公开(公告)号：WO2023085577A1
公开(公告)日：2023-05-19
申请号：PCT/KR2022/013571
申请日：2022-09-08
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G06F3/02 , G06F3/01 , H01H13/705
Abstract: 실시 예들에 따른 전자 장치는, 하우징, 상기 하우징 내 위치되고 스트로크 시 스트로크 방향을 따라 이동하도록 구성된 키 캡을 각각 포함하는 복수 개의 키들, 상기 복수 개의 키들 중 적어도 하나의 키의 스트로크 시 진동을 발생시키도록 구성된 제 1 햅틱 엑추에이터, 및 상기 제 1 햅틱 엑추에이터에 의해 진동하도록 구성되고, 상기 복수 개의 키들 중 스트로크 된 적어도 하나의 키의 키 캡을 진동시키도록 구성된 햅틱 플레이트를 포함할 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2022177128A1
公开(公告)日：2022-08-25
申请号：PCT/KR2021/019947
申请日：2021-12-27
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 그립 장치가 개시된다. 본 그립 장치는, 일면에 복수의 경사면으로 형성되는 홈을 포함하는 제1 핑거, 제1 핑거과 마주보는 제2 핑거, 일면에 홈에 삽입되는 돌출 영역을 포함하고, 제1 핑거의 일면을 커버하는 중간 부재, 복수의 경사면에 각각 배치되고, 그립되는 객체에 의해 중간 부재에 가해지는 힘을 감지하는 복수의 단축 힘 센서, 제1 및 제2 핑거의 그립력을 조정하는 구동 장치 및 복수의 단축 힘 센서로부터 수신된 센싱 값들에 기초하여, 중간 부재에 가해지는 힘 벡터를 산출하는 프로세서를 포함하고, 프로세서는, 제1 및 제2 핑거가 제1 그립력으로 객체를 그립할 때, 힘 벡터의 중간 부재의 타면과 나란한 방향의 힘 성분이 기설정된 값보다 작으면, 제1 및 제2 핑거가 제1 그립력보다 큰 제2 그립력으로 객체를 그립하도록 구동 장치를 제어한다.
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公开(公告)号：KR101811829B1
公开(公告)日：2018-01-25
申请号：KR1020150169921
申请日：2015-12-01
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G01R33/3664
Abstract: 입력채널및 선택된모드에따라결정되는출력채널그룹의연결관계를스위칭하는스위칭장치, 이를포함하는자기공명영상장치, 및자기공명영상장치의제어방법을제공한다. 일실시예에따른스위칭장치는, 자기장이인가된대상체로부터 RF 신호를수신하는복수의코일각각과접속가능한복수의입력채널; 상기수신된 RF 신호를기초로자기공명영상을생성하는영상처리부와접속가능한복수의출력채널; 및상기복수의입력채널및 상기복수의출력채널간의연결관계를스위칭하는스위칭부; 를포함하고, 상기스위칭부는, 제 1 모드가선택되면상기복수의출력채널전체로구성되는제 1 출력채널그룹이상기 RF 신호를출력하도록상기연결관계를스위칭하고, 제 2 모드가선택되면상기복수의출력채널중 미리정해진일부로구성되는제 2 출력채널그룹이상기 RF 신호를출력하도록상기연결관계를스위칭할수 있다.
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公开(公告)号：KR1020170091317A
公开(公告)日：2017-08-09
申请号：KR1020160012178
申请日：2016-02-01
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/033 , G03F7/20 , H01L21/56 , H01L51/00 , H01L21/027 , H01L21/322 , C09D7/12
Abstract: 반도체장치의제조방법이제공된다. 반도체장치의제조방법은, 기판상에마스크층을형성하고, 상기마스크층상에친수성표면을가지고, 서로제1 간격으로이격된복수개의패턴을포함하는포토레지스트패턴을형성하고, 상기포토레지스트패턴을친수성도포액으로덮고, 상기포토레지스트패턴과상기도포액사이에서화학결합반응을일으켜, 상기포토레지스트패턴을컨포말하게덮는친수성부착막을형성하고, 상기포토레지스트패턴과상기부착막을통해, 상기마스크층을식각하여마스크패턴을형성하는것을포함한다.
Abstract translation: 提供了一种制造半导体器件的方法。 一种用于制造半导体器件的方法包括：在衬底上形成的掩模层，具有亲水性表面，以所述掩模层;以及形成光致抗蚀剂图案包括多个彼此并通过第一距离间隔图案，并且光致抗蚀剂图案 覆盖亲水性涂料液，通过使光致抗蚀剂图案和涂覆液之间的化学键合反应中，形成图像，以覆盖抗蚀剂图案，以共形的亲水性粘合膜，并且与光致抗蚀剂图案膜的密合性，掩模层 形成掩模图案。
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公开(公告)号：KR1020170069696A
公开(公告)日：2017-06-21
申请号：KR1020150177220
申请日：2015-12-11
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G06F3/048 , H04M1/725 , G06F3/0488
CPC classification number: G06F3/048 , G06F3/0488 , H04M1/725
Abstract: 본발명의다양한실시예에따른전자장치는, 디스플레이, 사용자입력을수신하는입력모듈및 지정된조건에따라복수의이미지를포함하는이미지그룹을생성하고, 디스플레이에이미지그룹을나타내는제1 오브젝트를표시하고, 제1 오브젝트에대한사용자입력이수신되면, 사용자입력이수신된위치에대응하는위치에이미지그룹에포함된복수의이미지를탐색하기위한제2 오브젝트를표시하도록설정된프로세서를포함할수 있다. 또한, 다른실시예도가능하다.
Abstract translation: 在根据本发明的各种实施例的电子设备是产生一组图像包括多个根据显示，输入模块图像，并且所述给定的条件下，用于接收用户输入，显示表示在显示器上的图像组的第一个目的，并 以及处理器，被配置为当接收到用户对第一对象的输入时，显示用于搜索包括在图像组中的多个图像的第二对象。 其他实施例也是可能的。
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