公开(公告)号：KR1020170130674A

公开(公告)日：2017-11-29

申请号：KR1020160061014

申请日：2016-05-18

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 손길수 ,  박동식 ,  정수호 ,  임경춘 ,  김정욱 ,  손민규 ,  이민우 ,  이승호

IPC: G06F11/34 ,  G06Q50/04

CPC classification number: H01L21/67253

Abstract: 본발명은공정평가방법및 그를포함하는기판제조장치의제어방법을개시한다. 그의평가방법은, 기판제조장치의센서들의계측값들과미리저장된레퍼런스값들을획득하는단계와, 상기레퍼런스값들과상기계측값들의계측차이값들을계산하는단계와, 상기레퍼런스값들보다큰 최대레퍼런스값들과, 상기레퍼런스값들보다작은최소레퍼런스값들사이의레퍼런스평균차값들을계산하는단계와, 상기계측차이값들을상기레퍼런스평균차값들로나누어상기센서들마다스코어링값들을개별적으로계산하는단계를포함한다.

Abstract translation: 本发明公开了包括过程评估方法的基板制造设备的过程评估方法和控制方法。 评估方法包括以下步骤：获取基板制造设备的传感器的测量值和预先存储的参考值;计算参考值和测量值的测量差值; 计算参考值和小于参考值的最小参考值之间的参考平均差值;将测量的差值除以参考平均差值并分别计算每个传感器的评分值 它包括。