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公开(公告)号：KR1020070034810A
公开(公告)日：2007-03-29
申请号：KR1020050089379
申请日：2005-09-26
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 신현영
IPC: H01L21/324
CPC classification number: H01L21/67115 , H01L21/68757
Abstract: 본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 램프 히터가 장착된 기판의 열처리장치에 관한 것이다.
본 발명의 기판처리장치는, 웨이퍼를 지지하는 기판 지지부재, 웨이퍼를 공정온도로 가열하도록 기판 지지부재에 놓여진 웨이퍼로부터 소정 간격 이격되어 설치되는 가열 수단 및 가열수단에 공급되는 전원을 제어하는 제어부를 포함한다.
이러한 구성에 의하면, 웨이퍼의 열처리를 램프의 복사 광선에 의해 신속하게 수행함으로써, 웨이퍼의 온도를 상승 및 하강시킬 경우 소비되는 불필요한 열 부하를 현저히 줄일 수 있는 기판처리장치를 제공할 수 있다.
또한 본 발명에 의하면, 다수의 램프를 웨이퍼로부터 간격이 서로 상이하도록 배치함으로써, 공정온도로 가열된 웨이퍼의 표면 온도 분포가 균일해질 수 있는 기판처리장치를 제공할 수 있다.
기판처리장치, 웨이퍼, 기판 지지부재, 램프, 열처리-
2.发明公开
公开(公告)号：KR1020150146274A
公开(公告)日：2015-12-31
申请号：KR1020140076635
申请日：2014-06-23
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: 유전적으로조작되지않은세포에비하여 6-포스포글루코네이트를리불로스 5-포스페이트로전환하는폴리펩티드, 자일룰로스 5-포스페이트를세도헵툴로스 7-포스페이트로전환하는폴리펩티드, 세도헵툴로스 7-포스페이트를에리트로스 4-포스페이트로전환하는폴리펩티드, 또는그의조합의활성이감소된, 락테이트생산능을갖는효모세포및 그를이용한락테이트를생산하는방법을제공한다.
Abstract translation: 提供了具有产生乳酸盐的能力的酵母细胞，其将6-磷酸葡萄糖酸盐转化成核酮糖5-磷酸的多肽的活性降低，将木酮糖5-磷酸转化成神经丝氨酸7-磷酸的多肽，多糖将七氢叶酸7-磷酸转化成赤藓糖 4-磷酸酯，或其组合。
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公开(公告)号：KR1020140087800A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：KR1020120158470
申请日：2012-12-31
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: Y02P20/544 , C12P7/42 , C08F20/06 , C08F212/12 , C08F220/06 , C08F220/18
Abstract: The present invention relates to a method for manufacturing a lignin degradation product by using a chemical and biological conversion, and manufacturing a cinnamic acid and cinnamic acid derivatives from the same by a biological process, wherein the biological process has a high specificity compared with a chemical process, is economical as it has the lignin as a base material, and is environmentally friendly as it effectively obtains the lignin degradation product and has the lignin degradation product as a substrate.
Abstract translation: 本发明涉及一种通过化学和生物转化制备木质素降解产物的方法，并且通过生物过程从其生产肉桂酸和肉桂酸衍生物，其中生物过程与化学物质相比具有高特异性 工艺经济，因为它具有木质素作为基础材料，并且是环境友好的，因为它有效地获得木质素降解产物并具有木质素降解产物作为底物。
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公开(公告)号：KR1020140087797A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：KR1020120158467
申请日：2012-12-31
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: C12P7/22 , C07C41/58 , C07C43/215
CPC classification number: Y02P20/544 , C12P7/00 , C08F12/08 , C12P7/22
Abstract: The present invention relates to a method for preparing 4-hydroxystyrene or a derivative thereof; and a method for preparing a polymer using the same. The 4-hydroxystyrene or the derivative thereof can be obtained in a biological manner which has higher specificity than a chemical process. Further, the 4-hydroxystyrene or the derivative thereof can be obtained in an environment friendly and economical manner in which a lignin degradation product is economically and efficiently obtained by using lignin as a raw material and then used as a substrate.
Abstract translation: 本发明涉及一种制备4-羟基苯乙烯或其衍生物的方法; 以及使用其制备聚合物的方法。 4-羟基苯乙烯或其衍生物可以以比化学方法更高的特异性的生物学方式获得。 此外，4-羟基苯乙烯或其衍生物可以以环境友好和经济的方式获得，其中通过使用木质素作为原料经济地和有效地获得木素分解产物，然后用作基材。
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公开(公告)号：KR1020060030691A
公开(公告)日：2006-04-11
申请号：KR1020040079550
申请日：2004-10-06
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
CPC classification number: H01L21/67742 , H01L21/67098 , H01L21/67248
Abstract: 본 발명은 반도체 제조 설비에 관한 것으로, 웨이퍼에 대해 소정의 고온 프로세스가 진행되는 장소를 제공하는 프로세스 챔버와, 상기 프로세스 챔버와 인접하게 배치되며 웨이퍼 이송에 사용되는 로봇 패들을 구비하는 상온의 트랜스퍼 챔버를 구비하며, 상기 로봇 패들은 히팅 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다. 이에 의하면, 로봇 패들에 히팅 장치를 내장함으로써 로봇 패들의 온도를 올려서 웨이퍼와 로봇 패들간의 온도 차이에 의한 열적 스트레스를 완화 내지 없앨 수 있게 된다. 이에 따라, 열적 스트레스에 의한 웨이퍼 파손을 없앨 수 있어 설비의 가동율을 향상시키는 효과 및 생산성을 향상시키는 효과가 있다.
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Patent Agency Ranking6.发明公开
公开(公告)号：KR1020150146275A
公开(公告)日：2015-12-31
申请号：KR1020140076636
申请日：2014-06-23
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: C07K14/705 , C07K14/395 , C12P7/56 , C12Y101/01027
Abstract: 유전적으로조작되지않은세포에비하여 Fps1의활성이감소된, 내산성을갖는효모세포및 그를이용하여락테이트를생산하는방법을제공한다.
Abstract translation: 提供与遗传上未修饰的细胞相比具有降低的Fps1的活性的耐酸酵母细胞，以及使用该酵母细胞的乳酸盐的制造方法。
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公开(公告)号：KR1020140087798A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：KR1020120158468
申请日：2012-12-31
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: C12P7/22 , C07C41/58 , C07C43/243
CPC classification number: Y02P20/544 , C12P5/005 , C08F12/08 , C12P7/00 , C12P7/22
Abstract: The present invention relates to a method for preparing styrene or a derivative thereof; and a method for preparing a polymer using the same. The styrene or the derivative thereof can be obtained in a biological manner which has higher specificity than a chemical process. Further, the styrene or the derivative thereof can be obtained in an environment friendly and economical manner in which a lignin degradation product is economically and efficiently obtained by using lignin as a raw material and then used as a substrate.
Abstract translation: 本发明涉及一种制备苯乙烯或其衍生物的方法; 以及使用其制备聚合物的方法。 苯乙烯或其衍生物可以以比化学方法更高的特异性的生物学方式获得。 此外，苯乙烯或其衍生物可以以环境友好和经济的方式获得，其中通过使用木质素作为原料经济地和有效地获得木素分解产物，然后用作基材。
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公开(公告)号：KR1020070045792A
公开(公告)日：2007-05-02
申请号：KR1020050102473
申请日：2005-10-28
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 신현영
IPC: H01L21/02
Abstract: 본 발명은 반도체 제조 설비의 진공 누출을 검출하는 진공 누출 감지 시스템 및 그의 설비 인터락 제어 방법에 관한 것이다. 본 발명의 진공 누출 감지 시스템은 진공 챔버의 포어라인(fore-line)에 가스 누출을 실시간으로 감지하는 검출기 및 검출기로부터 진공 챔버 내부에서 진공 누출을 감지한 감지 정보를 받아서 진공 챔버의 진공 상태를 실시간으로 모니터링하는 제어부를 포함한다. 본 발명에 의하면, 진공 챔버의 포어라인에 검출기를 구비함으로써, 진공 챔버의 진공 상태를 실시간으로 모니터링할 수 있으며, 또한 진공 누출이 감지되면, 설비 인터락을 발생시켜서 공정 사고를 미연에 방지할 수 있다.
반도체 제조 설비, 진공 챔버, 진공 누출, 검출기, 센서, 포어라인-
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公开(公告)号：KR1020140087799A
公开(公告)日：2014-07-09
申请号：KR1020120158469
申请日：2012-12-31
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: C12P7/22 , C07C41/58 , C07C43/243
CPC classification number: Y02P20/544 , C12P5/005 , C08F12/08 , C12P7/00 , C12P7/22
Abstract: The present invention relates to a method for preparing styrene or a derivative thereof from aromatic carboxylic acid in a biological manner; and a method for preparing a polymer using the same. The styrene or the derivative thereof can be obtained in a biological manner which has higher specificity than a chemical process. Further, the styrene or the derivative thereof can be obtained in an environment friendly and economical manner in which a lignin degradation product is economically and efficiently obtained by using lignin as a raw material and then used as a substrate.
Abstract translation: 本发明涉及一种以生物学方式由芳族羧酸制备苯乙烯或其衍生物的方法; 以及使用其制备聚合物的方法。 苯乙烯或其衍生物可以以比化学方法更高的特异性的生物学方式获得。 此外，苯乙烯或其衍生物可以以环境友好和经济的方式获得，其中通过使用木质素作为原料经济地和有效地获得木素分解产物，然后用作基材。
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