반송 로봇 및 그 제어 방법
    2.
    发明公开
    반송 로봇 및 그 제어 방법 审中-实审
    传送机器人及其控制方法

    公开(公告)号:KR1020170073798A

    公开(公告)日:2017-06-29

    申请号:KR1020150181879

    申请日:2015-12-18

    Abstract: 본발명은로봇본체; 및상기로봇본체를반송대를향해이동시키는주행부; 상기로봇본체는: 상기로봇본체와상기반송대간의거리정보를획득하는거리센서부; 상기반송대의제1 표식을촬영하여제1 영상정보를획득하는제1 영상획득부; 상기반송대에배치된반송물을픽업하는메니퓰레이터부; 및상기거리정보와상기제1 영상정보를이용하여, 상기로봇본체가상기반송대에대응되게배치되도록상기주행부를제어하는제어부를포함하는반송로봇및 그제어방법에관한것이다.

    Abstract translation: 机器人本体本发明涉及一种机器人本体, 用于使机器人主体朝向运送平台移动的行进部分; 机器人主体包括:距离传感器单元,用于获得机器人主体和运输平台之间的距离信息; 第一图像获取单元,用于通过拍摄运输平台的标记来获取第一图像信息; 用于拾取放置在运输平台上的运输物体的机械手单元; 以及控制单元,用于使用距离信息和第一图像信息来控制要布置成与基于机器人身体虚拟的发送条对应的行进单元,以及其控制方法。

    기판 정렬 장치 및 방법
    3.
    发明公开
    기판 정렬 장치 및 방법 无效
    用于对准基板的装置和方法

    公开(公告)号:KR1020110096341A

    公开(公告)日:2011-08-30

    申请号:KR1020100015731

    申请日:2010-02-22

    Inventor: 육남수

    Abstract: PURPOSE: An apparatus for aligning a substrate using central push stick and three distance sensors is provided to enable quick and accurate centering of the substrate without substrate rotation. CONSTITUTION: An apparatus for aligning a substrate comprises: the substrate for placing a rotation plate; a driving unit for rotating the rotation plate; a central push stick(12) which is mounted at the center of the rotation plate and supports the substrate; three distance sensors(20) which are placed in a same interval around the rotation plate and senses the distance to the rotation plate; and a control unit(30) which calculates eccentricity correction value.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于使用中央推杆和三个距离传感器对准基板的设备,以使得能够快速且准确地定心基板而不需要基板旋转。 构成:用于对准衬底的装置包括:用于放置旋转板的衬底; 用于旋转旋转板的驱动单元; 中心推杆(12),其安装在旋转板的中心并支撑基板; 三个距离传感器(20),其围绕旋转板放置在相同的间隔中并感测到旋转板的距离; 以及计算偏心校正值的控制单元(30)。

    캐스터 장치 및 이를 포함하는 이송 장치
    4.
    发明公开
    캐스터 장치 및 이를 포함하는 이송 장치 审中-实审
    脚轮装置和包括其的输送装置

    公开(公告)号:KR1020170105743A

    公开(公告)日:2017-09-20

    申请号:KR1020160028720

    申请日:2016-03-10

    Abstract: 캐스터장치가제공된다. 캐스터장치는, 캐스터휠, 상기캐스터휠의제1 측에배치되고, 제1 모터에의해구동되는제1 드라이빙휠, 상기캐스터휠의상기제1 측과대향하는제2 측에배치되고, 상기제1 모터와다른제2 모터에의해구동되는제2 드라이빙휠, 지면의굴곡에따라상기지면과수직방향으로상기제1 드라이빙휠을이동시키는제1 완충기, 및상기지면의굴곡에따라상기지면과수직방향으로상기제2 드라이빙휠을이동시키는제2 완충기를포함하되, 상기제1 및제2 드라이빙휠은상기캐스터휠을조향한다.

    Abstract translation: 提供脚轮装置。 脚轮装置,脚轮,被布置在所述脚轮的第一侧,被布置在第一驱动轮,第一侧上的面向由第一电机驱动所述脚轮的第二侧,所述第一 第二驱动轮,第一减震器,和接地并对应于根据哪个移动第一驱动轮到地面和垂直方向上的表面的曲率的表面的曲率的垂直方向是由一个马达和其他的第二马达驱动的 在于包括:用于移动所述第二驱动轮的第二缓冲器,所述第一mitje两个驱动轮都转向至脚轮。

    기판 반송 장치 및 그 동작 방법
    5.
    发明公开
    기판 반송 장치 및 그 동작 방법 审中-实审
    基板运输装置及其运行方法

    公开(公告)号:KR1020150146095A

    公开(公告)日:2015-12-31

    申请号:KR1020140076022

    申请日:2014-06-20

    CPC classification number: H01L21/681 H01L21/67242 H01L21/67259

    Abstract: 기판반송장치및 그동작방법이제공된다. 상기기판반송장치는, 제1 방향으로제1 센싱광을방출하는제1 발광센서, 상기제1 센싱광을수용하는제1 수광센서, 상기제1 방향과다른제2 방향으로제2 센싱광을방출하는제2 발광센서, 상기제2 센싱광을수용하는제2 수광센서, 상기제1 센싱광 또는상기제2 센싱광이지나가는라인에위치하는기판반송로더, 상기기판반송로더의상태정보를저장하는상태정보저장부, 및상기상태정보를기초로하여상기기판반송로더의동작정보를연산하는동작정보연산부를포함한다.

    Abstract translation: 提供了一种基板输送装置及其操作方法。 衬底传送装置包括:第一发光传感器,其沿第一方向发射第一感测光; 接收第一感测光的第一光接收传感器; 第二发光传感器,沿与第一方向不同的第二方向发射第二感测光; 接收第二感测光的第二光接收传感器; 通过第一感测光或第二感测光的行进线的衬底输送装载器; 状态信息存储单元,其存储所述基板输送装载器的状态信息; 以及操作信息计算单元,基于所述状态信息来计算所述基板输送装载器的运算信息。

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