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公开(公告)号：KR101374932B1
公开(公告)日：2014-03-17
申请号：KR1020070097812
申请日：2007-09-28
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단 , 삼성전자주식회사
IPC: G02B5/20
CPC classification number: B29D11/00634 , G02B5/20
Abstract: 본 발명은 확산 제한 식각과정(Diffusion-limited Etch, DLE)을 이용하여 제작된 수평 변환 다공성 실리콘(porous silicon, PSi) 광학 필터의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의할 경우 식각 용액(etchant)내의 반응성 이온의 확산을 이용하되, PSi 층의 테이퍼 축 방향으로 공진 주파수가 변하는 것은 관여된 식각 마스크 패턴에 의해 조절될 수다. 이에 의할 경우 테이퍼 된(즉, 점점 가늘어지는,tapered) 식각창(etch window opening)을 이용하여 선형적으로 변하는 광학 대역 통과 필터(band-pass filter)를 제작할 수 있다. 상기한 광학 필터의 파장 가변 범위는 10~100nm 이고 투과 대역폭은 1~10nm에서, 그리고 중심파장은 400~2000nm 사이에서 조절 가능하다.
다공성 실리콘, 확산-제한 식각, tapered etch mask, 광학 대역통과필터-
公开(公告)号：KR101453104B1
公开(公告)日：2014-10-23
申请号：KR1020080090705
申请日：2008-09-16
Applicant: 삼성전자주식회사 , 재단법인서울대학교산학협력재단
Abstract: 본 발명의 구현예들은 마이크로 자이로 장치에 관한 것으로, 마이크로 스피어 레이저나 마이크로 디스크 레이저 등과 같은 소형화가 용이한 마이크로 레이저를 이용하여 고성능의 새로운 형태의 컴팩트한 마이크로 자이로 장치에 관한 것이다. 상기 자이로 장치는 광펌핑을 위해 펌핑광을 주입하는 펌핑부; 상기 펌핑부로부터 전달된 광으로 광펌핑을 하여 레이저를 발진시키는 하나 이상의 마이크로 스피어 또는 마이크로 디스크; 상기 마이크로 스피어 또는 마이크로 디스크로부터 발진된 광을 수신하여 포토디텍터로 전달하는 출력 커플러; 및 상기 출력 커플러로부터 출력된 광들의 간섭으로 인한 비트 진동수를 산출하여 회전을 측정하는 포토디텍터를 포함하며, 상기 펌핑부 및 출력 커플러는 테이퍼된 광섬유(tapered optical fiber)로 구성된다.
자이로, 마이크로 스피어-
公开(公告)号：KR101168283B1
公开(公告)日：2012-07-30
申请号：KR1020050072965
申请日：2005-08-09
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01S5/183
CPC classification number: B82Y20/00 , H01S5/041 , H01S5/14 , H01S5/18383 , H01S5/2009 , H01S5/3406 , H01S5/34313 , H01S5/34346 , H01S5/34353
Abstract: 양자우물층에서의 이득효율이 증대되어 레이징 효율이 향상된 수직외부공진형 표면발광 레이저(VECSEL) 소자가 개시된다. 본 발명에 따른 VECSEL 소자는, 기판 위에 형성된 하부 DBR미러, 상기 하부 DBR미러 위에 형성된 RPG층, 상기 RPG층 위에 형성된 캡핑층, 상기 캡핑층의 표면에 펌핑광을 조사하는 광학펌프 및 상기 하부 DBR미러에 대향하여 외부에 설치되는 외부 공진미러를 구비하고, 상기 RPG층은, 정상파의 마디(node) 위치에 주기적으로 마련되는 것으로 상기 펌핑광의 밴드갭 보다 더 큰 에너지 밴드갭 폭을 가지는 물질로 형성된 제1 배리어층과 상기 제1 배리어층간에 개재되는 것으로 InGaAs 물질로 형성되는 복수의 양자우물층과 상기 각각의 양자우물층의 상하부에 마련되는 제2 배리어층을 포함하는 이득층을 구비한다.
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公开(公告)号：KR1020060089103A
公开(公告)日：2006-08-08
申请号：KR1020050010185
申请日：2005-02-03
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N21/62
Abstract: 본 발명은 구형 공진기를 이용하여 DNA 또는 단백질과 같은 생체시료를 분석하기 위한 바이오칩 플랫폼(biochip flatform) 및 이를 구비한 생체시료 검출 소자를 개시한다. 본 발명의 한 유형에 따른 바이오칩 플랫폼은, 기판; 상기 기판 위에 형성되며, 광을 전달하기 위한 광도파로; 및 상기 광도파로의 상면에 부착된 것으로, 상기 광도파로로부터 광을 전달받아 공진을 일으키는 적어도 하나의 마이크로 구(micro sphere);를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1020060083112A
公开(公告)日：2006-07-20
申请号：KR1020050103789
申请日：2005-11-01
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N33/543
Abstract: 본 발명은 시료를 생화학적으로 분석하기 위한 바이오칩 플랫폼에 관한 것으로, 보다 상세하게는, DNA 또는 단백질과 같은 시료를 생화학적으로 분석하기 위한 유전성 입자층을 구비한 칩 플랫폼 및 이를 구비한 광 분석 장치에 관한 것이다.
본 발명에 따른 바이오칩 플랫폼은 기판 상에 구형의 유전성 입자를 사용하여 규칙적인 입자층을 형성함으로써, 그 규칙성에 의해 신호의 파장 분리 능력이 우수하고, 그 표면적이 넓어져 목적하는 시료에 대한 형광 신호의 증폭이 대폭 향상됨을 알 수 있다. 본 발명에 따른 바이오 플랫폼은 그 제조공정이 용이하여 경제성이 높고, 그 효율이 뛰어나 생화학적 시료를 분석하는 광 분석 장치에 특히 유용하다.-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020000057779A
公开(公告)日：2000-09-25
申请号：KR1020000002604
申请日：2000-01-20
Inventor： 전헌수
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a micro lens is to provide a high-quality micro lens by a simple method using a diffusion-limited etching. CONSTITUTION: A method for manufacturing a micro lens comprises the steps of: forming an etching mask for opening a portion in which the micro lens will be formed on a substrate; preparing a chemical etching solution causing a diffusion-limited etching regarding the substrate; and soaking the substrate having the etching mask in the chemical etching solution so that the exposed part in the opening becomes a dented shape by etching.
Abstract translation: 目的：制造微透镜的方法是通过使用扩散限制蚀刻的简单方法来提供高质量的微透镜。 构成：一种制造微透镜的方法包括以下步骤：形成蚀刻掩模，用于打开其上将形成微透镜的部分在基板上; 制备对基板进行扩散限制蚀刻的化学蚀刻溶液; 并将具有蚀刻掩模的基板浸渍在化学蚀刻溶液中，使得开口中的暴露部分通过蚀刻成为凹陷形状。
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公开(公告)号：KR1020090036507A
公开(公告)日：2009-04-14
申请号：KR1020080090705
申请日：2008-09-16
Applicant: 삼성전자주식회사 , 재단법인서울대학교산학협력재단
Abstract: A micro gyro apparatus is provided that the high sensitivity is guaranteed and the composite sensor is operated. A micro gyro apparatus comprises a pumping unit which injects the pumping light for the light pumping; one or more microspheres or micro discs pumping the light and launches laser; an output coupler delivering the light oscillated from microsphere or the micro disc to photo detector; and a photo detector measuring rotation with the bit frequency outputted from the output coupler due to the interference of the lights. The pumping area and output coupler are made of the tapered optical fiber.
Abstract translation: 提供了一种保证高灵敏度并且复合传感器被操作的微型陀螺设备。 微陀螺仪装置包括：泵送单元，其将泵浦光注入用于光泵送; 一个或多个微球或微圆盘泵送光并发射激光; 输出耦合器将从微球或微盘振荡的光传递到光电检测器; 以及由于光的干扰而从输出耦合器输出的比特频率来测量旋转的光电检测器。 泵浦区域和输出耦合器由锥形光纤制成。
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公开(公告)号：KR100363165B1
公开(公告)日：2002-11-30
申请号：KR1020000005485
申请日：2000-02-03
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01S5/20
Abstract: 마이크로 렌즈 일체형 표면광 레이저가 개시되어 있다. 이 개시된 마이크로 렌즈 일체형 표면광 레이저는, 기판과, 이 기판 상에 순차로 적층 형성된 하부반사기층, 활성층 및 상부반사기층과, 상부반사기층 상에 레이저광을 투과시키는 물질로 적층되고 레이저광이 출사되는 윈도우 영역에 확산제어식각에 의해 형성된 마이크로 렌즈 곡면을 구비하는 렌즈층과, 렌즈층 상의 윈도우 영역을 제외한 적어도 일부 영역에 형성된 상부전극과, 기판 하면에 형성된 하부전극;을 포함하여, 윈도우 영역을 통하여 레이저광을 집속시켜 출사시키도록 된 구성을 가진다.
이러한 마이크로 렌즈 일체형 표면광 레이저는 채용하면 종래에서와 같은 표면광 레이저에서 출사된 레이저광과 집속렌즈 사이의 광축 정렬 과정을 생략시킬 수 있으므로, 광축 정렬 구조가 간단하다.-
公开(公告)号：KR1020070018340A
公开(公告)日：2007-02-14
申请号：KR1020050072965
申请日：2005-08-09
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01S5/183
CPC classification number: B82Y20/00 , H01S5/041 , H01S5/14 , H01S5/18383 , H01S5/2009 , H01S5/3406 , H01S5/34313 , H01S5/34346 , H01S5/34353
Abstract: 양자우물층에서의 이득효율이 증대되어 레이징 효율이 향상된 수직외부공진형 표면발광 레이저(VECSEL) 소자가 개시된다. 본 발명에 따른 VECSEL 소자는, 기판 위에 형성된 하부 DBR미러, 상기 하부 DBR미러 위에 형성된 RPG층, 상기 RPG층 위에 형성된 캡핑층, 상기 캡핑층의 표면에 펌핑광을 조사하는 광학펌프 및 상기 하부 DBR미러에 대향하여 외부에 설치되는 외부 공진미러를 구비하고, 상기 RPG층은, 정상파의 마디(node) 위치에 주기적으로 마련되는 것으로 상기 펌핑광의 밴드갭 보다 더 큰 에너지 밴드갭 폭을 가지는 물질로 형성된 제1 배리어층과 상기 제1 배리어층간에 개재되는 것으로 InGaAs 물질로 형성되는 복수의 양자우물층과 상기 각각의 양자우물층의 상하부에 마련되는 제2 배리어층을 포함하는 이득층을 구비한다.
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公开(公告)号：KR1020100041138A
公开(公告)日：2010-04-22
申请号：KR1020080100173
申请日：2008-10-13
Applicant: 재단법인서울대학교산학협력재단 , 삼성전자주식회사
Abstract: PURPOSE: A light emitting diode(LED) and a method for manufacturing the same are provided to obtain a blue LED structure with high light extracting efficiency by simultaneously inserting a micrometer size inclined sidewall deflector and nanometer size photonic crystals to a GaN-based LED device. CONSTITUTION: A photonic crystal is integrated on the upper side of a support substrate using a laser holography method and a dry-etching method. A GaN-based epi layer is formed on the upper side of the support substrate. An inclined reflector is formed on the sidewall of the GaN-based epi layer by an inductively coupled plasma-reactive ion etching method. The angle of the inclined reflector is in a range of 20 to 40°. A protective layer is formed on the upper side of the GaN-based epi layer by passing through a reflow.
Abstract translation: 目的：提供一种发光二极管（LED）及其制造方法，以通过将微米尺寸的倾斜侧壁偏转器和纳米尺寸光子晶体同时插入到GaN基LED器件中来获得具有高光提取效率的蓝色LED结构 。 构成：使用激光全息法和干蚀刻法将光子晶体集成在支撑基板的上侧。 在支撑基板的上侧形成GaN系外延层。 通过电感耦合等离子体反应离子蚀刻方法在GaN基外延层的侧壁上形成倾斜反射体。 倾斜反射镜的角度在20°〜40°的范围内。 通过回流在GaN基外延层的上侧形成保护层。
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