公开(公告)号：KR1020150028415A

公开(公告)日：2015-03-16

申请号：KR1020130106919

申请日：2013-09-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 임민호 ,  양유신 ,  이상길 ,  정용덕 ,  조형석

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/956

CPC classification number: G01N21/956 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/8835

Abstract: 기판의 결함 검출 방법에 따르면, 제 1 강도를 갖는 제 1 광을 제 1 어퍼처를 통해서 기판의 제 1 영역으로 조사한다. 상기 제 1 영역으로부터 반사된 제 1 반사광으로부터 상기 제 1 영역 내의 결함을 검출한다. 제 2 강도를 갖는 제 2 광을 제 2 어퍼처를 통해서 상기 기판의 제 2 영역으로 조사한다. 상기 제 2 영역으로부터 반사된 제 2 반사광으로부터 상기 제 2 영역 내의 결함을 검출한다. 따라서, 기판의 각 영역별로 최적의 검출 조건으로 단시간 내에 결함을 정확하게 검출할 수 있다.

Abstract translation: 本发明涉及检测基板的缺陷的方法及其执行装置。 根据检测衬底的缺陷的方法，通过第一孔将具有第一强度的第一光照射到衬底的第一区域。 通过使用来自第一区域的第一反射光来检测第一区域中的缺陷。 具有第二强度的第二光通过第二孔照射到衬底的第二区域。 通过使用来自第二区域的第二反射光来检测第二区域中的缺陷。 因此，在短时间内在最佳检测条件下，由衬底的区域精确地检测缺陷。

公开(公告)号：KR102136671B1

公开(公告)日：2020-07-22

申请号：KR1020130106919

申请日：2013-09-06

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 임민호 ,  양유신 ,  이상길 ,  정용덕 ,  조형석

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/956