Abstract:
The present invention relates to a display device, an input device, and a control method thereof. The display device includes a display unit which displays an image; a communication unit which communicates with the input device having a touch sensing unit for receiving a touch input of a user; and a control unit which sets an input area of the touch sensing unit to correspond to a second area as a portion of a first area of a screen displayed on the display unit. The second area varies within the first area. Therefore, the space of the touch sensing unit corresponding to each button of a virtual input unit is widened in a touch input device without a display screen, which reduces touch input errors and solves the inconvenience of the user.
Abstract:
본 발명은 현상액에 포함된 불순물을 용이하게 추출하여 분석할 수 있는 반도체 현상액 분석방법에 관한 것이다. 본 발명은, GF-AAS를 이용하여 현상액을 분석하는 반도체 현상액 분석방법에 있어서, 건조단계의 온도조절방법이 고온탄소로의 온도를 급격하게 상승시키는 제 1 가열단계, 상승된 고온탄소로의 온도를 유지하는 온도유지단계 및 상기 온도유지단계 이후에 상기 고온탄소로의 온도를 서서히 상승시키는 제 2 가열단계를 포함하여 이루어진다. 따라서, 고온탄소로의 건조단계의 온도제어 프로그램을 변경함으로써 시료중의 어떠한 극미량의 금속물도 충분히 원자화시킴으로써 분석결과의 신뢰도를 향상시키는 효과가 있다.
Abstract:
A display device and a control method thereof are provided to enable a power supply unit to supply power to each component if the power supply unit receives a high pulse signal from a control unit and block the power if the power supply unit receives a low pulse signal, thereby minimizing power consumption in a soft power off state that the display device is powered off. An image processing unit(30) processes image signals received from a broadcasting signal source. A display unit(40) displays images processed by the image processing unit. A power supply unit(20) receives high/low pulses, converts the lower of inputted power, and supplies or blocks power to the image processing unit and the display unit. A control unit(50) receives power supply/block commands, generates the high/low pulses corresponding to the power supply/block commands, and controls the power supply unit. A user input unit(10) is installed in a casing unit to receive a command from a user. A function control unit(60) controls the image processing unit and the display unit in correspondence to a function button if the function button is inputted through the user input unit.
Abstract:
본 발명은 반도체장치의 웨이퍼상에 형성된 폴리실리콘막내에 있는 금속성분의 량을 측정하여 금속오염의 정도를 측정하는 방법에 관한 것으로서, 시약을 사용하여 상기 폴리실리콘막을 용해하는 단계와; 상기 시약을 전처리하여 매트릭스를 제거하는 단계와; 상기 매트릭스가 제거된 시약을 정량분석하여 극미량의 금속성분을 측정하는 단계를 포함한다. 상술한 측정방법에 의하면, 웨이퍼상에 형성된 폴리실리콘막에 대해서 웨이퍼레벨의 금속오염정도를 극히 정밀하게 분석할 수 있다.
Abstract:
옥사이드층과 폴리실리콘층에 대한 금속오염 정도를 분석할 수 있는 방법과, 이들을 분해할 수 있는 에천트 및 분해장치와 전처리장치가 개시되어 있다. 본 발명의 분석방법은, 반도체기판상에 차례로 형성된 옥사이드층과 폴리실리콘층을 습식 분해할 수 있는 에천트를 준비하는 단계, 상기 에천트를 사용하여 상기 기판상의 폴리실리콘층과 옥사이드층을 습식 분해하는 단계, 상기 분해된 폴리실리콘층과 옥사이드층으로부터 분석용 샘플을 채취하는 단계, 상기 샘플로부터 매트릭스를 제거하기 위해 전처리하는 단계 및 상기 전처리된 샘플에 대하여 금속오염 정도를 분석하는 단계를 구비하여 이루어진다. 따라서, 옥사이드층과 폴리층에 대한 금속오염 분석이 가능하며, 데이터의 신뢰성이 매우 향상되는 효과가 있다.