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公开(公告)号：KR1020170041378A
公开(公告)日：2017-04-17
申请号：KR1020150140747
申请日：2015-10-07
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
CPC classification number: H01L22/20 , G01B11/002 , G01B11/0616 , G01B2210/56 , H01L21/52 , H01L21/78 , H01L22/12
Abstract: 기판측정방법및 이를이용한반도체제조방법이제공된다. 기판측정방법은기판의칩 영역내에측정빔을조사하고, 상기측정빔의센터위치를검출하고, 상기측정빔이조사된칩 영역을통해사이트박스이미지를추출하고, 상기검출된센터위치를중심으로, 상기사이트박스내에서의상기센터위치의쉬프트(shift) 정도를산출하고, 상기산출된쉬프트정도를보상하여, 상기측정빔의센터위치를보정하는것을포함한다.
Abstract translation: 提供了一种基板测量方法和使用该基板测量方法的半导体制造方法。 基板的测定方法提取与在衬底的芯片面积的测量光束照射的位点框图像，并检测测量光束的中心位置，从测量光束照射的芯片面积，和所述检测到的中心位置的中心 计算位置框中的中心位置的偏移程度，并且补偿计算出的偏移程度以校正测量光束的中心位置。
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公开(公告)号：KR1020140131736A
公开(公告)日：2014-11-14
申请号：KR1020130050700
申请日：2013-05-06
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/677 , H01L21/67
CPC classification number: H01L21/67772 , H01L21/67028 , H01L21/67253 , H01L21/67775 , H01L21/67288 , H01L21/67393
Abstract: 로드 포트 모듈 및 이를 구비하는 공정설비에 있어서, 로드 포트 모듈은 기판 적재장치의 도어를 개방하는 오프너를 구비하는 수직 프레임, 수직 프레임의 측면으로부터 외측으로 연장되는 지지용 평판 및 지지용 평판 상에 이동가능하게 배치되고 상면에 기판 적재장치가 탑재되는 이동용 평판(moving plate)을 구비하는 스테이지, 스테이지의 하부에 배치되어 기판 적재 장치가 배치된 이동용 평판 및 오프너를 이동시키는 이송유닛을 구비하는 구동부, 스테이지의 상부에 배치되어 이송유닛의 이송환경을 감시하는 안전 센서(safety sensor) 및 상기 이송유닛과 연결되어 상기 이동용 평판의 이동시 자동으로 상기 안전 센서로부터 이물질을 제거하여 상기 안전 센서의 오작동을 방지하는 안전 센서 정화기(safety unit cleaner)를 포함한다. 스테이지 상에 분포된 이물질이나 파티클을 구동부의 구동과 동시에 자동으로 제거할 수 있다.
Abstract translation: 提供了一种负载端口模块和具有该负载端口模块的处理设备，其中负载端口模块包括具有开启基板装载设备的门的开启器的垂直框架; 包括从垂直框架的侧面向外延伸的支撑板的平台和可移动地布置在支撑板上并将基板装载装置安装在顶部上的移动板; 驱动部，其布置在所述台的下部，并且包括使所述开启器和所述移动板移动的供给单元，所述移动板安装在所述基板装载装置上; 布置在所述台的顶部并且监测所述进给单元的进给环境的安全传感器; 以及连接到进给单元的安全传感器清洁器，并且当移动板移动时自动从安全传感器去除异常材料，以防止安全传感器的错误操作。 一旦驱动部件被操作，本发明可以自动地去除分布在台架上的异常材料或颗粒。
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公开(公告)号：KR102164671B1
公开(公告)日：2020-10-12
申请号：KR1020140108586
申请日：2014-08-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H05F3/04 , H01L21/677
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公开(公告)号：KR100408415B1
公开(公告)日：2003-12-06
申请号：KR1020010035111
申请日：2001-06-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N1/00
CPC classification number: H01J37/20 , G01N2203/0075
Abstract: A sample holder and auxiliary apparatus are provided to position and hold a sample in the sample holder. A method of positioning and holding a sample in the sample holder is also provided. The sample holder preferably includes a holder body having a sample holding portion arranged therein. An opening in the sample holding portion is configured to receive a sample therein. An elastic member is configured to supply a holding force to hold the sample in the opening. The auxiliary apparatus preferably includes one or more holder supports configured to support a sample holder. The auxiliary apparatus is configured to receive the sample holder and force a sample holding member of the sample holder into a rearward position to permit the sample holder to receive a sample into an opening thereof.
Abstract translation: 提供样本架和辅助装置以将样本定位并保持在样本架中。 还提供了将样品定位和保持在样品架中的方法。 样本保持器优选地包括具有布置在其中的样本保持部分的保持器主体。 样品保持部分中的开口被构造成在其中接收样品。 弹性构件构造成提供保持力以将样本保持在开口中。 辅助设备优选地包括一个或多个支架支架，支架支架被构造成支撑样品支架。 辅助装置被构造成接收样本保持器并且迫使样本保持器的样本保持构件进入后方位置以允许样本保持器将样本接收到其开口中。
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公开(公告)号：KR1020160039957A
公开(公告)日：2016-04-12
申请号：KR1020140133322
申请日：2014-10-02
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/677 , H01J37/317 , H01L21/68 , H01L21/02
CPC classification number: H01L22/12 , H01J37/18 , H01J2237/0047 , H01J2237/28 , H01L21/67115 , H01L21/68 , H01L21/67739
Abstract: 기판이송시스템은기판수납부및 공정챔버사이에배치되며상기기판수납부및 상기공정챔버사이에서기판을이송하기위한공간을제공하는기판이송챔버, 및상기기판이송챔버내에위치하며상기기판상부에서상기기판을향하여기 설정된방사각도로제전이온들을발생시키기위한전자기파를조사하는광원부를갖는이온발생기를포함한다.
Abstract translation: 衬底传送系统包括：衬底传送室，布置在衬底存储单元和处理室之间，以提供在衬底存储单元和处理室之间传送衬底的空间; 以及离子发生器，其具有位于所述基板传送室内部的光源单元，用于照射电磁波，以从所述基板的上部单元朝向所述基板以预定的辐射角产生抗静电离子。 提供能够提高抗静电效率的离子发生器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110075506A
公开(公告)日：2011-07-06
申请号：KR1020090131974
申请日：2009-12-28
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
CPC classification number: G01N21/9501 , G01N21/9503 , H01L22/12
Abstract: PURPOSE: An unpatterned wafer inspector is provided to perform more reliable defect inspection, by applying different reference values to the measurement value of each region on a wafer. CONSTITUTION: A detection part(20) detects a light reflected from a wafer(100). The light is irradiated from a light source(10). The detection part includes a judgment part(30). The judgment part converts the detected light into a quantified measurement value. The judgment part judges the defect of the wafer. The wafer includes a first region and a second region. The detection part detects the light reflected from the first and the second region of the wafer. The judgment part compares a second measurement value with a first reference value. The judgment part judges the defect of the second region of the wafer.
Abstract translation: 目的：通过对晶片上每个区域的测量值应用不同的参考值，提供未图案化的晶片检查器，以执行更可靠的缺陷检查。 构成：检测部（20）检测从晶片（100）反射的光。 光从光源（10）照射。 检测部包括判定部（30）。 判断部分将检测到的光转换成量化的测量值。 判断部判断晶片的缺陷。 晶片包括第一区域和第二区域。 检测部分检测从晶片的第一和第二区域反射的光。 判断部分将第二测量值与第一参考值进行比较。 判断部判断晶片的第二区域的缺陷。
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公开(公告)号：KR1020020096551A
公开(公告)日：2002-12-31
申请号：KR1020010035111
申请日：2001-06-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N1/00
CPC classification number: H01J37/20 , G01N2203/0075
Abstract: PURPOSE: A sample holder, auxiliary apparatus for sample holder and sample holding method using the same is provided to prevent breakage of the sample by fixing the sample through the use of an elastic member, while reducing work procedures. CONSTITUTION: A sample holder(300) comprises a holder body which is elongated in a lengthwise direction and constituted by a first holder body(302) and a second holder body(304), wherein the holder body has a front end with a sample fixing portion; a space(312) having an open upper side, which is extended in a lengthwise direction of the holder body in such a manner that the space allows the sample fixing portion of the holder body to insert the sample into the space; and an elastic support member(320) for compressing and fixing the sample within the space, while contacting the sample mounted in the space. The holder body is formed into a cylindrical rod, and the sample fixing portion formed at the front end of the holder body has a flat horizontal plane which is formed by partially removing the cylindrical rod.
Abstract translation: 目的：提供样品架，用于样品架的辅助装置和使用其的样品保持方法，以通过使用弹性构件固定样品，同时减少工作程序来防止样品破裂。 构成：样品架（300）包括沿长度方向细长并由第一保持器主体（302）和第二保持器主体（304）构成的保持器主体，其中保持器主体具有前端，其具有样品固定 一部分; 具有敞开的上侧的空间（312），其沿着所述保持器主体的长度方向延伸，使得所述空间允许所述保持器主体的样本固定部将所述样本插入所述空间; 以及用于在将所述样品安装在所述空间中的同时在所述空间内压缩和固定所述样品的弹性支撑构件（320）。 保持体形成为圆柱形杆，并且形成在保持器主体的前端的样品固定部分具有通过部分地去除圆柱形杆而形成的平坦的水平面。
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公开(公告)号：KR1020170029741A
公开(公告)日：2017-03-16
申请号：KR1020150126695
申请日：2015-09-08
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/66
Abstract: 시편플레이트는베이스및 구획부재를포함할수 있다. 상기베이스는시편을수용하는수용홈을가질수 있다. 상기구획부재는상기수용홈내에형성되어, 상기수용홈을적어도 2개로구획할수 있다. 따라서, 적어도 2개의시편들에대해서검사공정이수행될수가있게되어, 검사시간이대폭단축될수 있다.
Abstract translation: 标本板可以包括基部和分隔构件。 基座可以具有用于接收样品的接收槽。 分隔构件可以形成在容纳槽中以将容纳槽分成至少两个。 因此，可以对至少两个样本进行检查过程，并且可以大大缩短检查时间。
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公开(公告)号：KR1020160022699A
公开(公告)日：2016-03-02
申请号：KR1020140108586
申请日：2014-08-20
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H05F3/04 , H01L21/677
Abstract: 이온발생기는제1 방향으로연장하는본체, 상기본체의하부에설치되고분사홀및 상기분사홀내에배치되며코로나방전을발생시키기위한전극바늘을갖는시스가스노즐, 상기본체에구비되며상기분사홀에연통되어상기분사홀에가스를공급하여상기전극바늘에의해발생된이온들을외부로전달하기위한가스공급부및 상기시스가스노즐의양측에각각배치되며상기본체의마주보는제1 측면및 제2 측면으로부터하부를향해각각연장하여상기분사홀로부터분사된상기이온들을가이딩하는한 쌍의제1 및제2 가이딩플레이트들을포함한다.
Abstract translation: 离子发生器包括：沿第一方向延伸的主体; 安装在主体下部的护套气体喷嘴，具有用于产生电晕放电的喷射孔和电极针; 设置在主体内部的气体供给单元，通过向喷孔供给气体，将由电极针产生的离子传递到外部; 以及一对第一和第二引导板，其布置在护套气体喷嘴的两侧，并且通过将一对第一和第二引导板从第一和第二侧表面延伸到下部来引导从喷射孔喷射的离子。
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公开(公告)号：KR1020050049261A
公开(公告)日：2005-05-25
申请号：KR1020030083179
申请日：2003-11-21
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: G01N21/93
CPC classification number: G01N21/93 , G01N15/0211 , G01N15/1012 , G01N21/4785 , G01N21/9501
Abstract: 시편검사장치의 기준값 설정장치는 캘리브레이션시료와; 캘리브레이션시료로 소정의 조사광을 출사하는 캘리브레이션광원과; 캘리브레이션시료를 통해 반사되는 라이트 스캐터링 시그널을 받음과 아울러 검사시편으로부터 반사되는 라이트 스캐터링 시그널을 받는 적어도 하나의 디텍터와; 디텍터에 대한 기준값 및 캘리브레이션시료를 통해 측정된 값을 비교 판단하고 그에 대한 보정값을 산출하여 디텍터를 보정하는 디텍터보정장치를 포함한다. 캘리브레이션시료는 세라믹재질로 제작되며 그 상면에 다수의 요철부가 마련되고 실제 검사시편이 안착되는 스테이지의 일측에 설치된다.
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