公开(公告)号：KR1019990026069A

公开(公告)日：1999-04-15

申请号：KR1019970048040

申请日：1997-09-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박효정 ,  조영미

IPC: C02F3/12

Abstract: 본 발명에 의한 유기폐수 처리 장치 및 이를 이용한 유기폐수 처리 방법은, 메인 유입관을 통해 유입된 유기폐수를 n개의 폭기조 내에서 순차적으로 폐수 처리한 뒤, 메인 유출관을 통해 n단 처리수를 배출하는 제 1 단계 및, 상기 메인 유출관을 통해 배출된 n단 처리수를 침전조 내로 유입한 뒤, 상기 n단 처리수 내의 폐 슬러지 성분은 침전시켜 상기 메인 유입관으로 반송하고, 그 윗부분의 상등수는 외부로 유출하는 제 2 단계로 이루어진 유기폐수 처리 방법에 있어서, 상기 제 1 단계에서 상기 폭기조 내의 유기물질의 농도가 BOD 30ppm 이하로 떨어지기전 시점에, 메인 유입관과 연결된 바이-패스관을 통해 이 시점에 놓여진 임의번째 폭기조 내로 원 유기폐수의 소정 %를 중간 공급해 주는 단계를 더 포함하도록 이루어져, 활성 슬러지 공법을 이용한 폐수 처리시, 폭기조 내에 일정 수준 이상의 유기물질이 존재하도록 하는 것이 가능하게 되어, 암모니아의 질산화로 인해 야기되는 아질산의 생성을 억제할 수 있게 되므로, 상등수의 총 질소는 규제치 이하로 유지하면서도 BOD 수치와 COD 수치를 모두 낮게 가져갈 수 있게 된다.

公开(公告)号：KR100251276B1

公开(公告)日：2000-05-01

申请号：KR1019970048040

申请日：1997-09-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박효정 ,  조영미

IPC: C02F3/12

CPC classification number: Y02W10/15

Abstract: PURPOSE: A treatment equipment of organic waste is provided, which can suppress generation of nitrous acid caused by nitrification of ammonia by keeping organic matter of concentration of a fixed level in aeration tank using the activated sludge process, the keeping of organic matter at constant level in the aeration tank being made by by-passing the raw wastewater to the aeration tank at the time the concentration of organic matter drops below 300 ppm BOD. CONSTITUTION: The system comprises the followings: (i) a main inlet (102a) through organic wastewater is fed to the system; (ii) No.1-No.n aeration tank (108a-108e), in which air supplying devices (104) are provided for supplying air to control growth environment for aerobic microorganism and continuous treatment of wastewater is carried out by stepwise passing through the series of aeration tanks; and (iii) a settling tank (114) for settling sludge containing aerobic microorganism.

Abstract translation: 目的：提供有机废物处理设备，通过使用活性污泥法，将有机物质保持在恒定水平，通过将曝气池中的有机物质浓度保持在一定水平上，可以抑制由硝化硝酸引起的亚硝酸的产生 在曝气池中，当有机物质浓度低于300ppm BOD时，将原废水旁路至曝气池。 规定：该系统包括：（i）通过有机废水将主入口（102a）输送到系统; （ii）第1号曝气池（108a-108e），其中提供用于供应空气的空气供应装置（104）以控制需氧微生物的生长环境并连续处理废水，是通过逐步通过 一系列曝气池; 和（iii）用于沉淀含有需氧微生物的污泥的沉淀池（114）。

公开(公告)号：KR1020090054597A

公开(公告)日：2009-06-01

申请号：KR1020070121343

申请日：2007-11-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이영우 ,  유수건 ,  박영태 ,  조영미 ,  류지헌 ,  나영필 ,  김한복 ,  임무성

IPC: H01L21/02 ,  H01L23/34 ,  H01L23/36

Abstract: A chiller apparatus for semiconductor process equipment is provided to increase a temperature of a brine by applying a plurality of hot gas bypass regulators without applying a heat for the brine. A brine path(290) circulates semiconductor process equipment(200), a brine inlet(210), the brine path of an evaporator, a brine pump(220), and a brine outlet. A coolant path(190) circulates a compressor(100), an electronic expansion valve(120), the brine path of the evaporator, a coolant path of the evaporator. A plurality of hot gas bypass regulators(140,150) are connected to the compressor in the front and the input terminal of the evaporator in the rear and are operated by the pressure difference between the front and the rear to supply the hot gas coolant from the compressor to the evaporator. The plurality of hot gas bypass regulators are connected in parallel and have a temperature range for different use.

Abstract translation: 提供了一种用于半导体工艺设备的冷却器装置，通过施加多个热气旁路调节器而不对卤水施加热量来增加盐水的温度。 盐水路径（290）循环半导体工艺设备（200），盐水入口（210），蒸发器的盐水路径，盐水泵（220）和盐水出口。 冷却剂路径（190）使压缩机（100），电子膨胀阀（120），蒸发器的盐水路径，蒸发器的冷却剂路径循环。 多个热气旁路调节器（140,150）连接到后部的蒸发器的前部和输入端子中的压缩机，并且由前后的压力差操作，以从压缩机供给热气体冷却剂 到蒸发器。 多个热气旁路调节器并联连接，具有不同用途的温度范围。