公开(公告)号：KR1019990025480A

公开(公告)日：1999-04-06

申请号：KR1019970047141

申请日：1997-09-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조신현 ,  옥경하 ,  차갑현 ,  안형준

IPC: H01L21/265

Abstract: 본 발명은 이온 주입 장치용 냉각 장치에 관한 것으로, 본 발명은 냉각 장치의 탈이온 펌프의 과부하를 억제하고, 냉각제의 절연저항을 향상시키기 위하여 냉각제를 보낼 이온 주입 장치의 각 부분을 복수개의 그룹으로 나누고, 각 그룹 단위로 냉각제를 순환시킬 수 있는 복수개의 탈이온 펌프가 설치된 이온 주입 장치용 냉각 장치를 제공한다. 특히, 본 발명의 냉각 장치는 복수개의 탈이온 펌프와 각기 연결된 탈이온 필터를 갖고 있으며, 이온 주입 장치의 각 그룹으로 냉각제를 보내기 위한 냉각제 수송관이 설치되는데, 입수관은 이온 주입 장치의 각 그룹과 탈이온 펌프를 각기 연결하며, 배수관은 이온 주입 장치의 각 그룹을 지나온 입수관과 연결된 복수개의 개별적인 배수관을 모아 하나의 배수관으로 이온 주입 장치 밖으로 배출하게 되며, 배수관으로 배출된 냉각제는 열 교환부를 지나 다시 각각의 탈이온 펌프로 보내지는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1020000031118A

公开(公告)日：2000-06-05

申请号：KR1019980046987

申请日：1998-11-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 차갑현 ,  라종찬

IPC: H01L21/265

Abstract: PURPOSE: An oil trap for preventing the inverse current of a semiconductor injector is provided to recognize a washing time and to previously prevent the fail of an operation by identifying the degree of pollution in a trap packing material. CONSTITUTION: An oil trap(20) for preventing an inverse current of a semiconductor injector is established between each connection pipe(1,2) of a roughing pump and a diffusion pump. The oil trap contains a trap packing material(21) of a net structure in the case of the oil trap to prevent the inverse current of a pump oil. Moreover, a filter(22) is established at both sides of the pump, and the material of the case is transparent PVC. Washing is performed by deciding the degree of pollution of the trap packing material in case of being needed, because the inside is frequently examined through the transparent case of the oil trap.

Abstract translation: 目的：提供用于防止半导体喷射器的反向电流的油阱，以识别洗涤时间，并且通过识别捕集器包装材料中的污染程度，预先防止操作失败。 构成：在粗抽泵的每个连接管（1,2）和扩散泵之间建立用于防止半导体喷射器的反向电流的油阱（20）。 在油阱的情况下，油阱包含网结构的捕集器包装材料（21），以防止泵油的反向电流。 此外，在泵的两侧建立过滤器（22），并且壳体的材料是透明PVC。 通过在需要的情况下决定捕集器包装材料的污染程度来进行洗涤，因为通过油阱的透明壳体经常检查内部。

公开(公告)号：KR1019990032094A

公开(公告)日：1999-05-06

申请号：KR1019970053027

申请日：1997-10-16

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 차갑현

IPC: H01L21/304

Abstract: 본 발명은 크라이오 펌프용 유체 방출 장치에 관한 것으로, 재생 공정에서 압력 방출 밸브의 배수관을 통한 가스의 방출 여부를 확인하기 위하여, 크라이오 펌프의 펌프 몸체와 연결된 압력 방출 밸브의 배수관과 배출관 사이에 투명한 배출관을 설치하며, 투명한 배출관 내부에 방출 가스의 흐름을 알 수 있는 회전 원판이 설치된 유체 방출 장치를 제공한다. 특히, 본 발명의 유체 방출 장치는 압력 방출 밸브가 개방될 경우에는 투명 배출관 내부의 회전 원판이 회전하며, 압력 방출 밸브가 닫힌 경우에는 투명 배출관 내부의 회전 원판이 정지된 상태를 투명 방출관을 통하여 육안으로 확인할 수 있는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR1019980010094A

公开(公告)日：1998-04-30

申请号：KR1019960027505

申请日：1996-07-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 양영수 ,  차갑현

IPC: F17C13/02