公开(公告)号：KR100735014B1

公开(公告)日：2007-07-03

申请号：KR1020010020802

申请日：2001-04-18

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조신현

IPC: H01L21/265

Abstract: 본 발명은 이온주입장치의 매니플레이터에 관한 것으로, 본 발명에 따른 이온주입장치의 매니플레이터는 이온빔이 관통하되 소정전압이 인가되어 2차 전자를 억제하는 억제부; 이 억제부를 통과한 이온빔중 선택된 이온만을 추출하여 통과시키고 나머지 전자들을 추출하도록 그라운드 되어있는 추출전극; 그리고 억제부와 추출전극 사이를 절연하도록 억제부와 추출전극 사이에 개재된 절연부재; 절연부재의 억제부와 인접하는 부분에 형성되어 절연부재의 가장자리 단부가 억제부에 닿는 것을 방지하도록 하는 접촉방지부를 구비한 것으로, 이러한 본 발명에 따른 이온주입장치의 매니플레이터는 억제부와 절연부재의 단부 가장자리가 서로 접촉하는 것을 최소화함과 동시에 이 부분으로 전자가 유입되어 전자오염이 발생하는 것을 줄일 수 있도록 함으로써 이온주입장치의 사용수명을 보다 향상시키고, 동시에 매니플레이터의 사용효율을 향상시킬 수 있도록 하는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR100178616B1

公开(公告)日：1999-04-15

申请号：KR1019950052280

申请日：1995-12-19

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 송호기 ,  옥경하 ,  조신현 ,  허장무

IPC: H01L21/265

Abstract: 본 발명은 이온 주입기의 빔 라인 챔버를 벤트시키는 방법 및 그 제어장치에 관한 것으로, 벤트방법은 상기 빔 라인 챔버의 진공상태를 유지시키는 터보 펌프내에 설치된 블레이드의 회전속도를 검출하는 단계 및 상기 블레이드의 회전속도가 0일 때 빔 라인 챔버내에 퍼지가스를 주입시켜 벤트시키는 단계로 이루어지고, 또한 이온 주입기의 빔 라인 챔버를 벤트시키기 위한 제어장치는, 터보 펌프 내에 설치된 블레이드의 회전속도를 검출하는 펌프 회전속도 검출부와, 밸브의 개폐에 따라 빔 라인 챔버내로 퍼지가스공급원에 저장된 퍼지가스를 주입시키는 퍼지가스 공급부 및 상기 펌프 회전속도 검출부에서 검출된 회전속도신호를 인가받아 회전속도가 0일 때 상기 퍼지가스 공급부의 밸브에 밸브개방신호를 인가하여 상기 퍼지가스 공급부를 제어� ��는 제어부로 구성된 것이다.
따라서 벤트성능이 향상되는 것이고, 또한 블레이드 및 이를 축지지하는 베어링의 손상이 방지되는 것이며, 이로써 블레이드 및 베어링의 수명이 연장되고 빔 라인 챔버가 오염되는 것이 방지되는 효과가 있다.

公开(公告)号：KR1019990025480A

公开(公告)日：1999-04-06

申请号：KR1019970047141

申请日：1997-09-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조신현 ,  옥경하 ,  차갑현 ,  안형준

IPC: H01L21/265

Abstract: 본 발명은 이온 주입 장치용 냉각 장치에 관한 것으로, 본 발명은 냉각 장치의 탈이온 펌프의 과부하를 억제하고, 냉각제의 절연저항을 향상시키기 위하여 냉각제를 보낼 이온 주입 장치의 각 부분을 복수개의 그룹으로 나누고, 각 그룹 단위로 냉각제를 순환시킬 수 있는 복수개의 탈이온 펌프가 설치된 이온 주입 장치용 냉각 장치를 제공한다. 특히, 본 발명의 냉각 장치는 복수개의 탈이온 펌프와 각기 연결된 탈이온 필터를 갖고 있으며, 이온 주입 장치의 각 그룹으로 냉각제를 보내기 위한 냉각제 수송관이 설치되는데, 입수관은 이온 주입 장치의 각 그룹과 탈이온 펌프를 각기 연결하며, 배수관은 이온 주입 장치의 각 그룹을 지나온 입수관과 연결된 복수개의 개별적인 배수관을 모아 하나의 배수관으로 이온 주입 장치 밖으로 배출하게 되며, 배수관으로 배출된 냉각제는 열 교환부를 지나 다시 각각의 탈이온 펌프로 보내지는 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR100643496B1

公开(公告)日：2006-11-10

申请号：KR1020040110967

申请日：2004-12-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조신현

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H03K17/968 ,  H03K17/941 ,  H03K2217/94104

Abstract: 본 발명은 반도체 제조설비 등에서 도어의 열림 또는 닫힘상태, 피봇의 업/다운상태, 아이솔레이션 밸브 업다운 상태, 임플런트 오버스캔 상태, 에어베어링 로딩위치 상태를 센싱하는 광센서 중에서 노말클로즈 타입과 노말오픈 타입을 겸용으로 사용할 수 있는 광센서 보드에 관한 것이다.
본 발명의 반도체 제조설비의 노말오픈 타입/ 노말클로즈 타입 겸용보드는, 상기 노말오픈 타입 또는 노말 클로즈 타입을 선택하기 위한 스위칭부와, 플래그의 입출력에 따라 포지션 상태를 센싱하는 광센서와, 상기 광센서로부터 포지션 상태 센싱신호를 상기 스위칭부로부터 선택된 경로를 통해 입력받아 포지션 상태 판별신호를 출력하는 포지션 센싱드라이버와, 상기 포지션 센싱 드라이버의 구동에 의해 온 또는 오프되어 포지션 센싱상태를 표시하는 발광다이오드를 포함한다.
다수의 딥스위치의 온/오프 선택에 따라 노말클로즈 타입 광센서 보드나 노말 오픈 타입 광센서 보드를 겸용으로 사용할 수 있도록 하여 반도체 제조설비에 설치된 광센서 보드의 불량으로 설비가동이 중단될 경우 노말오픈 타입 광센서 보드 또는 노말클로즈 타입 광센서에 관계없이 교체 가능하도록 하여 생산성을 향상시킬 수 있고, 또한 광센서를 예비(SPARE)로 준비하지 않아도 고장으로 인해 사용하지 않는 로드락챔버에 설치되어 있는 광센서 보드를 떼어내어 페일이 발생한 에어베어링 로드포지션 및 임플런트 오버 스캔 방지를 센싱하기 위한 노말오픈 타입의 광센서 보드와 교체하도록 하여 공정진행이 중단되지 않도록 한다.
광센서, 노말오픈 타입, 노말 클로즈 타입, 광센서 보드

Abstract translation: 本发明是一种半导体制造设备等的门的打开或关闭状态，向上枢转/下状态的，隔离阀的上下状态，过扫描状态的植入物，在光学传感器，用于感测所述空气轴承装载位置状态常闭型和常开型 本发明涉及一种光学传感器板。

公开(公告)号：KR1019990039348A

公开(公告)日：1999-06-05

申请号：KR1019970059405

申请日：1997-11-12

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 옥경하 ,  조신현

IPC: H01L21/02

Abstract: 반도체 소자의 제조에 사용되는 각종 유독성 가스의 누출을 방지할 수 있는 반도체 제조장치에 대해 개시되어 있다. 이 장치는, 유독성 고압가스를 저장하는 저장용기와, 저장용기로부터 공정 챔버 또는 반응실로 가스를 주입하기 위한 가스 주입관과, 가스 저장용기와 가스 주입관을 연결하기 위한 CGA와, 가스 저장용기로부터 가스 주입관으로의 가스의 흐름을 조절하기 위한 주 밸브(main valve), 및 가스 저장용기의 상부에 저장용기 내의 유독성 가스가 대기중에 누출되는 것을 방지하기 위한 안전장치를 구비하여 이루어진다.

公开(公告)号：KR200140420Y1

公开(公告)日：1999-04-15

申请号：KR2019960008005

申请日：1996-04-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 송호기 ,  조신현 ,  허장무 ,  송우철

IPC: H01L21/265

Abstract: 본 고안은 이온 주입기의 웨이퍼 로딩 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 회전되는 회전 디스크상의 로딩부에 웨이퍼를 로딩하도록 도와주는 리프트 핀이 웨이퍼 로딩부에 관통 형성되어 있는 안내홈 또는 회전 디스크의 하부면에 접촉되었는지를 조기에 발견하여 리프트 핀의 손상을 보호하며, 동시에 작업상의 에러를 조기에 발견하여 조치할 수 있는 이온 주입기의 웨이퍼 로딩 장치에 관한 것이다.

公开(公告)号：KR2019970059827U

公开(公告)日：1997-11-10

申请号：KR2019960008005

申请日：1996-04-15

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 송호기 ,  조신현 ,  허장무 ,  송우철

IPC: H01L21/265

公开(公告)号：KR1020060072366A

公开(公告)日：2006-06-28

申请号：KR1020040110967

申请日：2004-12-23

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조신현

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H03K17/968 ,  H03K17/941 ,  H03K2217/94104

Abstract: 본 발명은 반도체 제조설비 등에서 도어의 열림 또는 닫힘상태, 피봇의 업/다운상태, 아이솔레이션 밸브 업다운 상태, 임플런 오버스캔 상태, 에어베어링 로딩위치 상태를 센싱하는 광센서 중에서 노말클로즈 타입과 노말오픈 타입을 겸용으로 사용할 수 있는 광센서 보드에 관한 것이다.
본 발명의 반도체 제조설비의 노말오픈 타입/ 노말클로즈 타입 겸용보드는, 상기 노말오픈 타입 또는 노말 클로즈 타입을 선택하기 위한 스위칭부와, 플래그의 입출력에 따라 포지션 상태를 센싱하는 광센서와, 상기 광센서로부터 포지션 상태 센싱신호를 상기 스위칭부로부터 선택된 경로를 통해 입력받아 포지션 상태 판별신호를 출력하는 포지션 센싱드라이버와, 상기 포지션 센싱 드라이버의 구동에 의해 온 또는 오프되어 포지션 센싱상태를 표시하는 발광다이오드를 포함한다.
다수의 딥스위치의 온/오프 선택에 따라 노말클로즈 타입 광센서 보드나 노말 오픈 타입 광센서 보드를 겸용으로 사용할 수 있도록 하여 반도체 제조설비에 설치된 광센서 보드의 불량으로 설비가동이 중단될 경우 노말오픈 타입 광센서 보드 또는 노말클로즈 타입 광센서에 관계없이 교체 가능하도록 하여 생산성을 향상시킬 수 있고, 또한 광센서를 예비(SPARE)로 준비하지 않아도 고장으로 인해 사용하지 않는 로드락챔버에 설치되어 있는 광센서 보드를 떼어내어 페일이 발생한 에어베어링 로드포지션 및 임플런트 오버 스캔 방지를 센싱하기 위한 노말오픈 타입의 광센서 보드와 교체하도록 하여 공정진행이 중단되지 않도록 한다.
광센서, 노말오픈 타입, 노말 클로즈 타입, 광센서 보드

公开(公告)号：KR1020000056854A

公开(公告)日：2000-09-15

申请号：KR1019990006552

申请日：1999-02-26

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조신현

IPC: H01L21/68

Abstract: PURPOSE: A disc site assembly is provided to shorten a working time and to reduce a cost for exchanging fences, by replacing only a damaged or old fence by a new fence in the disc site assembly. CONSTITUTION: A disc site assembly for loading a semiconductor wafer, established on a disc of an ion-injection apparatus, comprises a pad(12) on which the semiconductor wafer is placed, a fence(20) for supporting the semiconductor wafer in an edge direction of the semiconductor wafer, and a fixing element for fixing the fence to the pad.

Abstract translation: 目的：提供光盘现场组件，以缩短工作时间，并降低交换栅栏的成本，只需在光盘现场组件中用新的栅栏替换损坏或旧围墙。 构成：用于装载半导体晶片的盘片组件，其建立在离子注入装置的盘上，包括其上放置有半导体晶片的焊盘（12），用于将半导体晶片支撑在边缘 半导体晶片的方向，以及用于将栅栏固定到焊盘的固定元件。

公开(公告)号：KR1020000043521A

公开(公告)日：2000-07-15

申请号：KR1019980059918

申请日：1998-12-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 조신현 ,  박지원

IPC: F16K31/06

Abstract: PURPOSE: A pressure changeover valve of a cryo pump is provided to smoothly regenerate a cryo pump even in increase of friction force caused by the rust of a pressure changeover valve. CONSTITUTION: A pressure changeover valve(170) includes a valve support body(135), a pressure changeover valve cap(172) and an on/off valve body(174). The valve support body forms a male screw unit(135a) on the outer circumference as a part of a cryo pump(130) is protruded in a circular shape. The pressure changeover valve cap has a female screw unit in the inner circumference, and the on/off valve body is closely adhered/displaced from the pressure changeover valve cap. The inner pressure of the cryo pump is kept regular by injecting high-temperature dry nitrogen gas into the pump. Therefore, the cryo pump is protected from damage and explosion by preventing the abnormal action of the valve.

Abstract translation: 目的：提供低温泵的压力切换阀，以便即使增加由转换阀的锈蚀引起的摩擦力，也能平滑地再生低温泵。 构成：压力切换阀（170）包括阀支撑体（135），压力转换阀帽（172）和开/关阀体（174）。 当冷冻泵（130）的一部分以圆形突出时，阀支撑体在外周上形成外螺纹单元（135a）。 压力转换阀盖在内周具有内螺纹单元，并且开/关阀体从压力切换阀帽紧密地粘合/移位。 通过将高温干燥氮气注入泵中，冷冻泵的内部压力保持规则。 因此，通过防止阀的异常动作，保护冷冻泵免受损坏和爆炸。