公开(公告)号：KR1020060132326A

公开(公告)日：2006-12-21

申请号：KR1020050052615

申请日：2005-06-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 톨마체프유리 ,  파쉬코프스키바실리

IPC: H05H1/54

CPC classification number: H05H1/54 ,  F03H1/0075

Abstract: A multi-channel plasma accelerator, a phase detecting method of the same, and a receiver using the same are provided to process a substrate of a large surface area at a uniform etching ratio by uniformly making a density of plasma and ion flux in channels. A center cylinder(205) is formed along a column-shaped surface with a closed upper surface, and forms a first channel in the column-shaped surface. First and second outer cylinders(230,250) are disposed coaxially with the center cylinder, and are formed along a column-shaped surface to have a diameter different form that of the center cylinder. The center cylinder is connected to the first outer cylinder by a first connection(220), and the first and second outer cylinders are connected by a second connection(240).

Abstract translation: 提供了一种多通道等离子体加速器，其相位检测方法和使用该多通道等离子体加速器的接收器，通过均匀地使通道中的等离子体和离子通量的密度均匀地处理大面积的基板。 沿着具有封闭的上表面的柱状表面形成中心圆柱体（205），并且在柱状表面中形成第一通道。 第一和第二外筒（230,250）与中心筒同轴地设置，并且沿柱状表面形成为具有与中心筒的直径不同的直径。 中心圆筒通过第一连接件连接到第一外筒，并且第一和第二外筒通过第二连接件连接。

公开(公告)号：KR101123787B1

公开(公告)日：2012-03-12

申请号：KR1020050090099

申请日：2005-09-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박원택 ,  파쉬코프스키바실리 ,  톨마체프유리

IPC: H05H1/54

Abstract: 디커플링 장치를 포함하는 플라즈마 가속기가 개시된다. 본 발명에 따른 플라즈마 가속기는, 상부가 막히고 하부가 개방되며, 옆면이 외벽으로 둘러싸인 챔버부, 챔버부의 상부면 상에 위치하며 챔버부의 중심축으로부터 반지름이 증가하도록 소정 방향으로 감긴 탑 코일부, 챔버부의 외벽을 감싸는 제1 코일, 챔버부의 외벽을 감싸며 제1 코일과 소정 거리 이격된 제2 코일, 및 제1 코일 및 제2 코일 간의 상호 인덕턴스를 감쇄시키는 디커플링부를 포함한다. 이에 의해 플라즈마 가속기의 구동회로에서 유도되는 상호 인덕턴스를 보상할 수 있다.
플라즈마 가속기, 전자기 가속기, 디커플러, 상호 인덕턴스

公开(公告)号：KR1020070035353A

公开(公告)日：2007-03-30

申请号：KR1020050090099

申请日：2005-09-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박원택 ,  파쉬코프스키바실리 ,  톨마체프유리

IPC: H05H1/54

CPC classification number: H01J37/321 ,  H01J37/32183 ,  H01J37/32458 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4652 ,  H05H2001/4682

Abstract: 디커플링 장치를 포함하는 플라즈마 가속기가 개시된다. 본 발명에 따른 플라즈마 가속기는, 상부가 막히고 하부가 개방되며, 옆면이 외벽으로 둘러싸인 챔버부, 챔버부의 상부면 상에 위치하며 챔버부의 중심축으로부터 반지름이 증가하도록 소정 방향으로 감긴 탑 코일부, 챔버부의 외벽을 감싸는 제1 코일, 챔버부의 외벽을 감싸며 제1 코일과 소정 거리 이격된 제2 코일, 및 제1 코일 및 제2 코일 간의 상호 인덕턴스를 감쇄시키는 디커플링부를 포함한다. 이에 의해 플라즈마 가속기의 구동회로에서 유도되는 상호 인덕턴스를 보상할 수 있다.
플라즈마 가속기, 전자기 가속기, 디커플러, 상호 인덕턴스

公开(公告)号：KR1020170028094A

公开(公告)日：2017-03-13

申请号：KR1020150124942

申请日：2015-09-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 오세진 ,  고웅 ,  성덕용 ,  파쉬코프스키바실리 ,  황기호

IPC: H01J37/32

CPC classification number: H01J37/32935 ,  G01N22/00 ,  H01J37/32082 ,  H01L21/263 ,  H01L21/3065 ,  H01L21/67253 ,  H01L22/26 ,  H01R9/05

Abstract: 본발명의기술적사상은플라즈마공정에서의플라즈마상태를정밀하게검출할수 있는마이크로파탐침, 그탐침을구비한플라즈마모니터링시스템, 및그 시스템을이용한반도체소자제조방법을제공한다. 그마이크로파탐침은일 방향으로연장된구조를갖는몸통; 및상기몸통의한 끝단에연결되고, 평판구조를갖는헤드;를포함하고, 플라즈마공정에서, 상기헤드의표면이챔버의뷰-포트(viewport)의외면에콘택하는구조로상기챔버에비침투식으로결합하며, 상기헤드를통해상기챔버내부에마이크로파(microwave)를인가하고상기챔버내부에서발생하는신호들을수신한다.

Abstract translation: 本文公开了能够精确检测等离子体工艺中的等离子体状态的微波探测器，包括探针的等离子体监视系统以及使用该系统制造半导体器件的方法。 微波探头包括沿一个方向延伸的主体和连接到主体的一端并具有平板形状的头部。 此外，在等离子体处理中，微波探针非侵入性地联接到腔室，使得头部的表面接触腔室的视口的外表面，并且微波探头通过头部将微波施加到腔室中 并通过头部接收在腔室内产生的信号。

公开(公告)号：KR1020070035351A

公开(公告)日：2007-03-30

申请号：KR1020050090097

申请日：2005-09-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박원택 ,  파쉬코프스키바실리 ,  톨마체프유리

IPC: H05H1/54

CPC classification number: F03H1/00 ,  H01L21/67063 ,  H05H1/54

Abstract: 플라즈마 가속기가 개시된다. 본 발명에 따른 플라즈마 가속기는, 상부가 막히고 하부가 개방되며, 옆면이 외벽으로 둘러싸인 챔버부, 상호 간에 직렬로 연결되며, 서로 반대 방향으로 챔버부의 외벽을 감싸는 복수 개의 코일들로 이루어진 제1 코일부, 및 제1 코일부를 이루는 코일들 사이에 위치하며, 상호 간에 직렬로 연결되며, 서로 반대 방향으로 챔버부의 외벽을 감싸는 복수 개의 코일들로 이루어진 제2 코일부를 포함한다. 이에 의해 코일들 사이의 상호 인덕턴스를 작게 하여, 각 코일에 인가되는 전류의 크기 및 위상 차이를 정확히 조절하고, 또한 구동회로를 단순화할 수 있다.
플라즈마 가속기, 상호 인덕턴스, 2 코일 가속기, 알 에프 제너레이터

公开(公告)号：KR1020150087702A

公开(公告)日：2015-07-30

申请号：KR1020140007935

申请日：2014-01-22

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 김형준 ,  성덕용 ,  이상헌 ,  전상진 ,  파쉬코프스키바실리 ,  김봉석 ,  전윤광

IPC: H05H1/46 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/32146 ,  C23C16/515 ,  H01J37/32082 ,  H01J37/32091 ,  H01J37/321 ,  H01J37/32183

Abstract: 본발명의기술적사상에의한일 양태에따른플라즈마발생장치는외부와격리되는반응공간을형성하는챔버와, 상기챔버의하부에배치되는웨이퍼척과, 상기챔버의상부에배치되는플라즈마발생부와, 상기플라즈마발생부에 RF 전력을공급하는제1 RF 전원과, 상기제1 RF 전원과상기플라즈마발생부사이에개재된제1 정합부와, 상기웨이퍼척에 RF 전력을공급하는제2 RF 전원과, 상기제1 RF 전원과상기플라즈마발생부사이에개재된제2 정합부를포함하며, 상기제1 RF 전원은시간에따라서로다른레벨의전력을가지는제1 레벨펄스전력과제2 레벨펄스전력을공급한다.

Abstract translation: 根据本发明的实施例，本发明涉及一种等离子体产生装置，包括：形成与外部分离的反应空间的室; 放置在室的下部的晶片卡盘; 等离子体产生单元，其放置在所述室的上部; 向所述等离子体发生单元提供RF电力的第一RF电源; 包括在第一RF电源和等离子体产生单元之间的第一匹配单元; 向晶片卡盘提供RF电力的第二RF电源; 以及包括在第一RF电源和等离子体产生单元之间的第二匹配单元。 第一RF电源根据时间提供具有不同电力水平的第一电平脉冲电力和第二脉冲电力。

公开(公告)号：KR101094919B1

公开(公告)日：2011-12-16

申请号：KR1020050090097

申请日：2005-09-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박원택 ,  파쉬코프스키바실리 ,  톨마체프유리

IPC: H05H1/54

CPC classification number: F03H1/00 ,  H01L21/67063 ,  H05H1/54

Abstract: 플라즈마 가속기가 개시된다. 본 발명에 따른 플라즈마 가속기는, 상부가 막히고 하부가 개방되며, 옆면이 외벽으로 둘러싸인 챔버부, 상호 간에 직렬로 연결되며, 서로 반대 방향으로 챔버부의 외벽을 감싸는 복수 개의 코일들로 이루어진 제1 코일부, 및 제1 코일부를 이루는 코일들 사이에 위치하며, 상호 간에 직렬로 연결되며, 서로 반대 방향으로 챔버부의 외벽을 감싸는 복수 개의 코일들로 이루어진 제2 코일부를 포함한다. 이에 의해 코일들 사이의 상호 인덕턴스를 작게 하여, 각 코일에 인가되는 전류의 크기 및 위상 차이를 정확히 조절하고, 또한 구동회로를 단순화할 수 있다.
플라즈마 가속기, 상호 인덕턴스, 2 코일 가속기, 알 에프 제너레이터

公开(公告)号：KR100709354B1

公开(公告)日：2007-04-20

申请号：KR1020050052615

申请日：2005-06-17

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 톨마체프유리 ,  파쉬코프스키바실리

IPC: H05H1/54

CPC classification number: H05H1/54 ,  F03H1/0075

Abstract: 다채널 플라즈마 가속장치가 개시된다. 본 발명에 따른 다채널 플라즈마 가속장치는 상면이 막힌 원기둥 형상의 면을 따라 형성되며, 원기둥 형상 내부에 제1 채널을 형성하는 중앙 실린더 및 중앙 실린더와 동일한 동심축을 가지는 서로 다른 직경의 원기둥 형상의 면을 따라 형성되며, 면 사이의 공간인 제1 채널을 형성하는 제1 외부 실린더와 제2 외부 실린더를 포함한다. 본 발명에 의하면 다수 개의 채널이 구비되고,채널 내의 플라즈마 및 이온 플럭스의 밀도를 균일하게 만들 수 있어 균일한 에칭 비율로 큰 면적의 기판을 처리할 수 있는 장점이 있다.
플라즈마 가속장치, 채널, 코일, 자기장, 이온