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公开(公告)号：KR102201092B1
公开(公告)日：2021-01-11
申请号：KR1020140122856
申请日：2014-09-16
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/336 , H01L21/306
Abstract: 상부배선을형성하기위한트렌치공정에사용되는하드마스크를하부배선이손상되지않도록제거하여, 반도체소자의신뢰성및 성능을개선할수 있는반도체장치제조방법을제공하는것이다. 상기반도체장치제조방법은하부패턴을포함하는기판상에, 층간절연막및 제1 개구부를포함하는하드마스크패턴을순차적으로형성하고, 상기하드마스크패턴을이용하여, 상기층간절연막내에상기하부패턴을노출시키는트렌치를형성하고, 상기트렌치의측벽및 바닥면을따라서형성되는제1 부분과, 상기하드마스크패턴의상면을따라서형성되는제2 부분을포함하는라이너막을형성하고, 상기트렌치내에, 상기라이너막의제2 부분을노출시키는희생패턴을형성하고, 상기희생패턴을이용하여, 상기라이너막의제2 부분과, 상기하드마스크패턴을제거하고, 상기하드마스크패턴을제거한후, 상기희생패턴을제거하여상기라이너막의제1 부분을노출시키는것을포함한다.
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公开(公告)号：KR1020170051080A
公开(公告)日：2017-05-11
申请号：KR1020150153438
申请日：2015-11-02
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G02B13/0045 , G02B9/62 , G02B27/0025
Abstract: 본발명의다양한실시예에따른단초점렌즈광학계는, 물체(object) 측으로부터상(image) 측으로순서대로배치되는, 정(positive)의굴절력을가지고, 물체측을향한면이볼록한제1 렌즈; 정(positive)의굴절력을가지고, 물체측을향한면과상 측을향한면이볼록한제2 렌즈; 부(negative)의굴절력을가지고, 상측을향한면이오목한제3 렌즈; 물체측을향한면과상 측을향한면이비구면으로이루어지는제4 렌즈; 물체측을향한면이볼록하고, 물체측을향한면과상 측을향한면이비구면으로이루어지는제5 렌즈; 및물체측을향한면과상 측을향한면이비구면으로이루어지는제6 렌즈를포함하고, 상기제5 렌즈와상기제6 렌즈각각은적어도하나이상의변곡점을구비하고, 다음의 [조건식 1]을만족할수 있다. [조건식 1](여기서, f(focal length)는전체광학계의초점거리, f2는상기제2 렌즈의초점거리) 상기와같은단초점렌즈광학계는실시예에따라다양할수 있다.
Abstract translation: 根据本发明的各个实施例的单焦点镜头光学系统包括：具有正屈光力并且在面向物体侧的表面上凸出的第一透镜，所述透镜从物侧到像侧依次布置; 具有正折射能力并且具有面向物体侧的表面和面向像侧的表面凸出的第二透镜; 第三透镜，具有负屈光力并具有向上的凸面; 第四透镜，具有面向物侧的表面和面向像侧非球面的表面; 第五透镜，其具有面向物体侧的凸面和面向物体侧的表面以及面向像侧的非球面; 并且具有面向物体侧的表面和面向像侧的表面为非球面的第六透镜，其中第五透镜和第六透镜中的每一个具有至少一个拐点，并且满足以下条件表达式 你可以。 [条件表达式1]其中f（焦距）是整个光学系统的焦距，并且f2是第二透镜的焦距。
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公开(公告)号：KR1020100070059A
公开(公告)日：2010-06-25
申请号：KR1020080128650
申请日：2008-12-17
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 허민
Abstract: PURPOSE: A large caliber standard lens is provided to compensate for the Petzval sum by forming between a third and a fifth lenses with high refractive index material. CONSTITUTION: Between a first and a fifth lenses(10~50) are successively arranged from the side of an object to the side of an image. A first lens has positive refractive power. A second lens has negative refractive power. A third lens has negative refractive power. A fourth lens has positive refractive power. A fifth lens has positive refractive power. Between a first and a fourth lenses are meniscus lenses with concave surfaces that face a diaphragm(ST).
Abstract translation: 目的：提供大口径标准镜头，通过在具有高折射率材料的第三至第五透镜之间形成来补偿Petzval总和。 构成：在第一和第五透镜（10〜50）之间从物体侧到图像侧连续布置。 第一透镜具有正折射光焦度。 第二透镜具有负折光力。 第三透镜具有负折光力。 第四透镜具有正折射光焦度。 第五透镜具有正折射光焦度。 在第一和第四透镜之间是具有面向隔膜（ST）的凹面的弯月透镜。
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公开(公告)号：KR1020100010311A
公开(公告)日：2010-02-01
申请号：KR1020080071229
申请日：2008-07-22
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 허민
CPC classification number: G02B9/08
Abstract: PURPOSE: A lens optical system is provided to obtain the optical performance required for a digital single-lens reflex camera and superior image forming performance at every object distance. CONSTITUTION: A lens in a position closest to the object and a lens in a position closest to a diaphragm have negative reflective power among a first lens group(G1). A second lens group(G2) comprises a front group(G2-1) and a rear group(G2-2). The front group comprises a lens with negative reflective power and a lens with a plurality of positive reflective powers sequentially from the iris. Chromatic aberration compensating can be effectively implemented by combining a lens with negative reflective power and a lens with positive reflective power among the front group.
Abstract translation: 目的：提供一种透镜光学系统，以获得数字单镜头反光相机所需的光学性能，并在每个物体距离处获得出色的成像性能。 构成：在最靠近物体的位置处的透镜和最靠近光阑的位置的透镜在第一透镜组（G1）中具有负反射能力。 第二透镜组（G2）包括前组（G2-1）和后组（G2-2）。 前组具有负反射功率的透镜和从虹膜顺序地具有多个正反射光焦度的透镜。 通过组合具有负反射功率的透镜和前组之间具有正反射功率的透镜可以有效地实现色差补偿。
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5.发明公开개선된 구조적 안정성을 갖는 캐패시터와 그 제조 방법 및이를 포함하는 반도체 장치와 그 제조 방법 有权具有增强的结构稳定性的电容器，制造电容器的方法，具有电容器的半导体器件以及制造半导体器件的方法
公开(公告)号：KR1020050080670A
公开(公告)日：2005-08-17
申请号：KR1020040008770
申请日：2004-02-10
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/8242
CPC classification number: H01L28/91 , H01L27/0207 , H01L27/10852 , H01L27/10855
Abstract: 구조적 안정성이 향상된 캐패시터와 이를 포함하는 반도체 장치 및 이들의 제조 방법이 개시된다. 기판 상에 적어도 하나의 몰드막을 형성한 후, 몰드막 상에 절연막을 형성한다. 절연막을 식각하여 콘택홀을 형성한 다음, 콘택홀 내에 스토리지 전극을 형성한다. 스토리지 전극의 상부를 노출시킨 후, 노출된 스토리지 전극의 측벽에 절연막의 일부를 노출시키는 스페이서들을 형성한다. 노출된 절연막을 식각하여 스토리지 전극을 감싸는 안정화 부재를 형성한 다음, 스토리지 전극 및 안정화 부재 상에 유전막 및 플레이트 전극을 순차적으로 형성한다. 그물 구조 또는 격자 구조의 안정화 부재들을 형성하여 캐패시터의 종횡비가 매우 높은 경우라 할지라도 캐패시터가 쓰러지는 현상을 근원적으로 방지할 수 있다. 또한, 실린더형 스토리지 전극의 외측 일부 영역에만 안정화 부재를 형성하기 때문에 안정화 부재와 스토리지 전극 간의 접촉 면적을 조절하여 캐패시터의 캐패시턴스의 손실을 최소화할 수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020130103123A
公开(公告)日：2013-09-23
申请号：KR1020120024501
申请日：2012-03-09
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 허민
Abstract: PURPOSE: A fish-eye lens system and a photographing device including the same are provided to rapidly focus the fish-eye lens system and to compensate the curvature of the field of the whole object distance. CONSTITUTION: A fish-eye lens system includes a first lens group (G1) having a negative refractive force, an aperture, and a second lens group (G2) having a positive refractive force in sequence from a subject. The first lens group includes a 1-A lens group having a negative refractive force, a 1-B lens group having a negative refractive force, and a 1-C lens having at least one sheet of a positive lens in sequence from a subject. The 1-B lens group is moved and performs focusing.
Abstract translation: 目的：提供鱼眼透镜系统和包括该鱼眼透镜系统的拍摄装置以快速聚焦鱼眼透镜系统并补偿整个物体距离的场的曲率。 构成：鱼眼透镜系统包括具有负折射力的第一透镜组（G1），具有从被检体的顺序具有正折射力的第二透镜组（G2）。 第一透镜组包括具有负折射率的1-A透镜组，具有负折射力的1-B透镜组和具有至少一张正像透镜的1-C透镜。 1-B镜头组移动并进行对焦。
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7.发明授权개선된 구조적 안정성을 갖는 캐패시터와 그 제조 방법 및이를 포함하는 반도체 장치와 그 제조 방법 有权具有增强的结构稳定性的电容器，制造电容器的方法，具有电容器的半导体器件，以及半导体器件的制造方法
公开(公告)号：KR100568733B1
公开(公告)日：2006-04-07
申请号：KR1020040008770
申请日：2004-02-10
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/8242
CPC classification number: H01L28/91 , H01L27/0207 , H01L27/10852 , H01L27/10855
Abstract: 구조적 안정성이 향상된 캐패시터와 이를 포함하는 반도체 장치 및 이들의 제조 방법이 개시된다. 기판 상에 적어도 하나의 몰드막을 형성한 후, 몰드막 상에 절연막을 형성한다. 절연막을 식각하여 콘택홀을 형성한 다음, 콘택홀 내에 스토리지 전극을 형성한다. 스토리지 전극의 상부를 노출시킨 후, 노출된 스토리지 전극의 측벽에 절연막의 일부를 노출시키는 스페이서들을 형성한다. 노출된 절연막을 식각하여 스토리지 전극을 감싸는 안정화 부재를 형성한 다음, 스토리지 전극 및 안정화 부재 상에 유전막 및 플레이트 전극을 순차적으로 형성한다. 그물 구조 또는 격자 구조의 안정화 부재들을 형성하여 캐패시터의 종횡비가 매우 높은 경우라 할지라도 캐패시터가 쓰러지는 현상을 근원적으로 방지할 수 있다. 또한, 실린더형 스토리지 전극의 외측 일부 영역에만 안정화 부재를 형성하기 때문에 안정화 부재와 스토리지 전극 간의 접촉 면적을 조절하여 캐패시터의 캐패시턴스의 손실을 최소화할 수 있다.
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公开(公告)号：KR1020050073153A
公开(公告)日：2005-07-13
申请号：KR1020040001367
申请日：2004-01-09
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L27/108
CPC classification number: H01L28/75 , H01L27/10852 , H01L28/91
Abstract: 반도체 장치의 커패시터 형성 방법이 개시되어 있다. 기판 상에 개구부를 갖는 몰드막 패턴을 형성한다. 상기 개구부의 측벽과 저면에 선택적으로 도전막을 증착하여 실린더형 하부 전극을 형성한다. 상기 몰드막 패턴을 일부 식각하여 상기 실린더형 하부 전극 외측면의 일부를 노출시킨다. 상기 노출된 실린더형 하부 전극의 외측면에 선택적으로 절연막 패턴을 형성한다. 상기 몰드막 패턴을 제거한다. 상기 하부 전극 상에 유전막을 형성한다. 상기 유전막 상에 상부 전극을 형성한다. 상기와 같은 방법으로 형성된 반도체 장치의 커패시터는 상기 절연막 패턴에 의해 상기 하부 전극의 기울어짐 또는 휘어짐에 의해 인접하는 하부 전극과의 브릿지를 통한 2-비트 불량을 감소시킨다.
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公开(公告)号：KR101431548B1
公开(公告)日：2014-08-19
申请号：KR1020080071229
申请日：2008-07-22
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 허민
CPC classification number: G02B9/08
Abstract: 렌즈 광학계가 개시된다.
개시된 렌즈 광학계는 물체측으로부터 상측으로의 순서로, 정의 굴절력을 가지는 제1렌즈군, 조리개, 정의 굴절력을 가지는 제2렌즈군을 포함하고, 상기 제1렌즈군의 가장 물체측에 위치한 렌즈와 가장 조리개 측에 위치한 렌즈가 부의 굴절력을 가지며, 상기 제2렌즈군은 전군과 후군을 포함한다.-
公开(公告)号：KR1020130049462A
公开(公告)日：2013-05-14
申请号：KR1020110114505
申请日：2011-11-04
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 허민
CPC classification number: G02B15/177 , G02B9/62 , G02B27/646 , G03B2205/0015
Abstract: PURPOSE: A zoom lens and a photographing apparatus including the same are provided to achieve compactness and light weighting of a focusing lens group and hand shaking correction as having optically excellent optical performance. CONSTITUTION: A zoom lens includes a front group having a negative refractive index and a rear group having a positive refractive index. The front group includes a first lens group(G1), a second lens group(G2) and a third lens group(G3). The first lens group has a positive refractive index, and the second lens group has a negative refractive index and the third lens group has a negative refractive index. The third lens group includes a piece of positive lens and a piece of negative lens, and performs focusing. The rear group moves respectively during magnification, and includes more than two lens groups having a positive refractive index, and a part of them performs handle shaking correction. [Reference numerals] (AA) Wide angle end; (BB) Middle end; (CC) Telephoto end
Abstract translation: 目的：提供一种变焦镜头和包括该变焦镜头的拍摄装置，以实现聚焦透镜组的紧凑度和轻量级加权以及具有光学优异光学性能的手摇校正。 构成：变焦透镜包括具有负折射率的前组和具有正折射率的后组。 前组包括第一透镜组（G1），第二透镜组（G2）和第三透镜组（G3）。 第一透镜组具有正折射率，第二透镜组具有负折射率，第三透镜组具有负折射率。 第三透镜组包括一片正透镜和一片负透镜，并进行聚焦。 后组在放大期间分别移动，并且包括具有正折射率的多于两个的透镜组，并且其一部分执行手柄抖动校正。 （附图标记）（AA）广角端; （BB）中端; （CC）长焦端
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