公开(公告)号：KR102075105B1

公开(公告)日：2020-02-07

申请号：KR1020180092232

申请日：2018-08-08

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 심카,할소노에스. ,  헷지,가네쉬 ,  홍준구 ,  센굽타,르윅 ,  로더마크에스.

IPC: G06F21/73 ,  G06F21/56 ,  H01L21/02

公开(公告)号：KR102160083B1

公开(公告)日：2020-09-25

申请号：KR1020200011238

申请日：2020-01-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 심카,할소노에스 ,  헷지,가네쉬 ,  홍준구 ,  센굽타,르윅 ,  로더,마크에스

IPC: G06F21/73 ,  G06F21/75 ,  G06F21/56 ,  G06F21/14 ,  H01L21/02