公开(公告)号：KR1019970030198A

公开(公告)日：1997-06-26

申请号：KR1019950045820

申请日：1995-11-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이덕형 ,  황정남 ,  최대선 ,  조만호

IPC: H01J61/00

Abstract: 부유 접지를 사용하지 않는 신호 검출 장치 및 이를 이용한 일 함수 측정 방법에 관하여 개시한다. 본 발명은 락인 증폭기의 출력 신호를 연산 증폭기로 되먹임시키는 신호 검출 장치에 있어서, 상기 되먹임 신호를 선형적 연속 광결합기로 절연시키는 것을 특징으로 하는 신호검출 장치이고, 켈빈 프로브와 상기 신호 검출 장치의 접지를 공통 접지로 하여 일 함부를 측정한다. 본 발명에 의한 신호 검출 장치를 사용하여 일 함수를 측정하는 경우 켈빈 프로브의 접지와 신호 검출장치의 접지를 동일한 접지로 사용할 수 있기 때문에 오차가 적은 일 함수를 용이하게 측정할 수 있다.

公开(公告)号：KR100189983B1

公开(公告)日：1999-06-01

申请号：KR1019950045820

申请日：1995-11-30

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이덕형 ,  황정남 ,  최대선 ,  조만호

IPC: H01J61/00

Abstract: 부유 접지를 사용하지 않는 신호 검출 장치 및 이를 이용한 일 함수 측정 방법에 관하여 개시한다. 본 발명은 켈빈프로브로부터 인가되는 신호를 기준신호로 하고, 상기 켈빈프로브로부터 인가되는 신호의 배수로 되는 다른 신호에 의하여 시료의 일함수 변화를 검출하여 측정하는 신호 검출 장치에 있어서, 상기 켈빈프로브로부터 인가되는 기준신호의 주파수와 동기한 주파수를 가진 입력신호에 응답하여 출력신호를 발생하는 락인 증폭기; 상기 켈빈프로브로부터 상기 다른 신호가 인가되는 진동자; 상기 진동자로부터 출력되는 신호는 1차측으로 인가되고, 상기 락인증폭기로부터 출력되는 신호는 2차측으로 인가되어 상기 1차측 신호가 제어되는 광결합기; 및 상기 광결합기의 1차측에서 변화되는 신호를 입력으로 하여 신호를 증폭하고, 증폭된 신호를 상기 락인 증폭기로 출력하는 연산증폭기를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의한 신호 검출 장치를 사용하여 일 함수를 측정하는 경우 켈빈프로브의 접지와 신호 검출 장치의 접지를 동일한 접지로 사용할 수 있기 때문에 일 함수 측정에서 오차가 저감되는 장점이 있다.