公开(公告)号：KR1020140001306A

公开(公告)日：2014-01-07

申请号：KR1020120067999

申请日：2012-06-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 마에다시게노부 ,  후쿠토메히데노부 ,  고영건 ,  정주현

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/336

CPC classification number: H01L29/7842 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02587 ,  H01L21/02636 ,  H01L21/02658 ,  H01L29/045 ,  H01L29/66636 ,  H01L29/66795 ,  H01L29/7848 ,  H01L29/785

Abstract: Arranged on a substrate is an activation area having: an upper surface; a first side; a second side which faces the first side; and a third side which comes in contact with the upper surface, the first side, and the second side. An electrode which covers at least one among the upper surface, the first side, and the second side is formed. A strain-inducing pattern which comes in contact with the third side of the activation area is formed. The third side of the activation area has two or more planes. A first plane of the third side forms an acute angle about the first side and a second plane of the third side forms an acute angle about the second side.

Abstract translation: 排列在基板上的是具有上表面的活化区域， 第一面 面向第一面的第二面; 以及与上表面，第一侧和第二侧接触的第三侧。 形成覆盖上表面，第一侧和第二面中的至少一个的电极。 形成与激活区域的第三面接触的应变诱导图案。 激活区域的第三面具有两个或更多个平面。 第三侧的第一平面围绕第一侧形成锐角，并且第三侧的第二平面围绕第二侧形成锐角。

公开(公告)号：KR101909204B1

公开(公告)日：2018-10-17

申请号：KR1020120067999

申请日：2012-06-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 마에다시게노부 ,  후쿠토메히데노부 ,  고영건 ,  정주현

IPC: H01L29/78 ,  H01L21/336

CPC classification number: H01L29/7842 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02587 ,  H01L21/02636 ,  H01L21/02658 ,  H01L29/045 ,  H01L29/66636 ,  H01L29/66795 ,  H01L29/7848 ,  H01L29/785

Abstract: 기판상에상부표면, 제1 측면, 상기제1 측면에대향하는제2 측면, 상기상부표면, 상기제1 측면및 상기제2 측면에접촉된제3 측면을갖는활성영역이배치된다. 상기상부표면, 상기제1 측면및 상기제2 측면중 적어도하나를덮는게이트전극이형성된다. 상기활성영역의상기제3 측면에접촉된스트레인-유도패턴(strain-inducing pattern)이형성된다. 상기활성영역의상기제3 측면은두 개이상의평면들을갖는다. 상기제3 측면의제1 평면은상기제1 측면에대하여예각을이루고, 상기제3 측면의제2 평면은상기제2 측면에대하여예각을이룬다.