KR102235616B1 - Photomask, method for fabricating the photomask, and method for fabricating semiconductor using the photomask

    公开(公告)号:KR102235616B1

    公开(公告)日:2021-04-02

    申请号:KR1020140106225A

    申请日:2014-08-14

    Abstract: 본 발명의 기술적 사상은 웨이퍼 상의 패턴의 CD 산포 개선을 위하여, 포토마스크 내 특정 영역의 패턴의 CD를 보정한 포토마스크, 그 포토마스크 제조방법, 및 그 포토마스크를 이용한 반도체 소자 제조방법을 제공한다. 그 포토마스크는 기판; 및 상기 기판 상에 흡수층(absorber layer) 및 반사방지코팅(Anti-Reflection Coating: ARC)층으로 형성된 차광 패턴;을 포함하고, 상기 차광 패턴은 상기 흡수층의 상면이 노출된 제1 보정 영역 및 상기 ARC층 상에 보정층이 형성된 제2 보정 영역 중 적어도 하나를 포함한다.

    마찰전기를 이용한 먼지 필터
    3.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2019235867A1

    公开(公告)日:2019-12-12

    申请号:PCT/KR2019/006852

    申请日:2019-06-07

    Abstract: 본 발명은 마찰전기를 이용한 반영구적 미세먼지 필터의 구조적 단점을 해결하고, 확실한 전하의 전달과 형성되는 전하량에 따른 높은 포집률에 의한 필름형태의 마찰부를 제공하고자 한다. 본 발명에 따른 마찰전기를 이용한 반영구적 미세먼지 필터의 가장 큰 장점은 압력손실을 최대한 줄이면서, 마찰에 따른 대전 되는 전하량을 조절하여, 집진능력을 최대화할 수 있다는 점이다.

    전자 장치 및 그 제어 방법
    4.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2022075649A1

    公开(公告)日:2022-04-14

    申请号:PCT/KR2021/013225

    申请日:2021-09-28

    Abstract: 전자 장치가 개시된다. 전자 장치는 카메라 및 프로세서를 포함한다. 프로세서는 카메라에 의해 획득된 이미지에서 관심 오브젝트를 포함하는 임계 크기의 제1 영역을 식별하고, 관심 오브젝트의 뎁스 정보 및 제1 영역에서 관심 오브젝트를 제외한 영역에 포함된 복수의 배경 오브젝트들의 뎁스 정보를 식별하고, 관심 오브젝트의 뎁스 정보 및 복수의 배경 오브젝트들의 각각의 뎁스 정보 간 차이에 기초하여 복수의 배경 오브젝트들 중 관심 오브젝트가 위치한 배경 오브젝트를 식별할 수 있다.

    전자 장치 및 그 제어 방법
    5.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2022025458A1

    公开(公告)日:2022-02-03

    申请号:PCT/KR2021/008433

    申请日:2021-07-02

    Abstract: 전자 장치가 개시된다. 전자 장치는 제1 이미지 센서, 제2 이미지 센서 및 프로세서를 포함하고, 프로세서는, 제1 이미지 센서를 이용하여 제1 뎁스 이미지 및 컨피던스 맵(confidence map)을 획득하고, 제2 이미지 센서를 이용하여 RGB 이미지를 획득하고, 컨피던스 맵 및 RGB 이미지를 바탕으로 제2 뎁스 이미지를 획득하고, 컨피던스 맵의 픽셀값을 바탕으로 제1 뎁스 이미지 및 제2 뎁스 이미지를 합성하여 제3 뎁스 이미지를 획득할 수 있다.

    청소 장치 및 그 제어 방법
    6.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2020101244A1

    公开(公告)日:2020-05-22

    申请号:PCT/KR2019/014907

    申请日:2019-11-05

    Abstract: 흡입구; 적어도 하나의 물체를 감지하는 적어도 하나의 센서; 상기 흡입구를 개폐하기 위한 구동부; 적어도 하나의 인스트럭션을 저장하는 메모리; 및 상기 메모리에 저장된 상기 적어도 하나의 인스트럭션을 실행하는 프로세서; 를 포함하고, 상기 프로세서는 상기 적어도 하나의 인스트럭션을 실행함으로써, 상기 적어도 하나의 센서를 제어하여, 청소 장치의 청소 대상 영역 내의 적어도 하나의 물체를 감지하고, 상기 청소 장치에 대한 상기 감지된 적어도 하나의 물체의 상대적 위치를 식별하고, 상기 식별된 적어도 하나의 물체의 상대적 위치에 기초하여, 상기 흡입구의 전체 영역 중에서 적어도 일부의 영역을 개폐 대상 영역으로 결정하고, 상기 구동부를 제어하여, 상기 개폐 대상 영역을 개폐하는, 청소 장치가 개시된다.

    마찰대전 발전소자
    7.
    发明公开
    마찰대전 발전소자 审中-实审
    三电生成装置

    公开(公告)号:KR1020160066938A

    公开(公告)日:2016-06-13

    申请号:KR1020140172379

    申请日:2014-12-03

    CPC classification number: H02N1/04 H01B1/20 H02N1/08 H02N1/10

    Abstract: 본개시는마찰대전부재(triboelectric charging member)의재료자체가증가된표면전하밀도(surface charge density) 특성을보이도록함으로써, 마찰대전발전소자의출력을향상시킨다. 그에따라, 본개시에서는, 마찰대전발전소자의크기를증가시키거나마찰대전발전소자에소요되는재료의양을증가시키지않고도, 향상된출력을보일수 있는마찰대전발전소자를제공한다. 본개시의제1 측면에따라제공되는마찰대전발전소자의일 구현예는, 제1 전극; 상기제1 전극상에형성된제1 대전층; 및상기제1 대전층상에배치된제2 전극;을포함하고, 상기제1 대전층및 상기제2 전극은, 상기제1 대전층과상기제2 전극사이의계면이마찰계면을형성하도록배열되며, 상기제1 대전층은, 강유전성폴리머매트릭스및 상기강유전성폴리머매트릭스에분산된강유전성무기입자를포함한다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种具有改善的输出的摩擦带电产生装置,其通过固定具有改进的表面电荷密度的摩擦带电元件。 特别是,即使不增加摩擦带电部件中使用的材料的量,也不增加摩擦带电部件的尺寸,摩擦带电产生装置能够显示改进的输出。 根据一个实施例,摩擦带电产生装置包括:第一电极; 第一带电层; 以及布置在第一带电层上的第二电极。 第一带电层和第二电极以第一带电层和第二电极之间的界面形成界面摩擦的方式排列。 同时,第一带电层包括铁电聚合物基体和分布在铁电聚合物基体上的铁电无机颗粒。

Patent Agency Ranking