公开(公告)号：KR100890001B1

公开(公告)日：2009-03-25

申请号：KR1020070074136

申请日：2007-07-24

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 장동영 ,  양희남 ,  김동환 ,  임홍재

IPC: H01J37/26

Abstract: 본 발명은, 시료챔버를 개폐하는 챔버도어와, 상기 챔버도어의 후방에 마련되어 시료챔버 내부로 출입하는 지지베이스와, 상기 지지베이스 상에 XY축 방향으로 이동 가능하게 마련되는 XY이동스테이지와, 상기 챔버도어 전방에 마련되어 상기 XY이동스테이지의 이동을 조작하는 X축조작부 및 Y축조작부를 갖는 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛에 관한 것으로서, 상기 XY이동스테이지에 회전가능하게 결합되는 회전체와, 상기 회전체에 대해 상하 승강 가능하게 결합되는 승강체를 갖는 시편홀더와; 상기 회전체를 회전시키는 회전구동부와; 상기 승강체를 Z축방향으로 승강시키는 Z축구동부와; 상기 챔버도어 전방에 마련되어 상기 회전구동부의 구동을 조작하는 회전조작부와; 상기 챔버도어 전방에 마련되어 상기 Z축구동부의 구동을 조작하는 Z축조작부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 장치의 구성이 간단하고 최소한의 크기로 시료적재용 스테이지를 X축 및 Y축과 Z축 및 회전 방향으로 구동시킬 수 있는 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛이 제공된다.
소형, 전자주사현미경, 시료챔버, 스테이지

公开(公告)号：KR1020100095668A

公开(公告)日：2010-09-01

申请号：KR1020090011638

申请日：2009-02-12

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 김동환 ,  양희남 ,  장동영 ,  임홍재

IPC: G01N1/36 ,  H01J37/26 ,  G01N35/10

Abstract: PURPOSE: A sample chamber for a scanning electronic microscope is provided to rapidly and conveniently exchange samples by opening an inlet of the sample chamber using an automatic chamber door. CONSTITUTION: A sample chamber(30) for a scanning electronic microscope comprises a chamber door(100). An inlet(130) is formed on one surface of the sample chamber. The chamber door automatically opens and closes the inlet. The chamber door has a cylinder(110) and a piston(120). The cylinder is fixed to the sample chamber. The piston is moved by pressure supplied to the cylinder. One end of the piston is connected to the chamber door, and the inlet of the sample chamber is opened and closed.

Abstract translation: 目的：提供用于扫描电子显微镜的样品室，以便通过使用自动室门打开样品室的入口来快速方便地更换样品。 构成：用于扫描电子显微镜的样品室（30）包括室门（100）。 入口（130）形成在样品室的一个表面上。 室门自动打开和关闭入口。 腔室门具有气缸（110）和活塞（120）。 气瓶固定在样品室上。 活塞通过供给气缸的压力而移动。 活塞的一端连接到室门，样品室的入口打开和关闭。

公开(公告)号：KR101084653B1

公开(公告)日：2011-11-22

申请号：KR1020090011638

申请日：2009-02-12

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 김동환 ,  양희남 ,  장동영 ,  임홍재

IPC: G01N1/36 ,  H01J37/26 ,  G01N35/10

Abstract: 본 발명은 전자주사현미경의 시료챔버에 관한 것으로서, 시료가 장착되는 시편홀더를 X,Y,Z축 방향으로 이동 및 회전시키면서 상부의 전자주사유닛에서 조사된 전자빔의 초점에 시료를 맞추는 스테이지유닛이 그 내부에 구성되어 있는 전자주사현미경의 시료챔버에 있어서, 상기 시료챔버의 일측면에는 출입구가 천공됨과 아울러 상기 출입구를 자동으로 개폐시키는 챔버도어가 구성되되, 상기 챔버도어는, 시료챔버에 고정되게 설치된 실린더; 및 상기 실린더에 그 일단의 헤드가 내장되어 실린더로 공급되는 압력에 의해 이동되는 피스톤;을 포함하고, 상기 피스톤의 일단이 챔버도어에 연결되어, 상기 챔버도어를 이동시켜 시료챔버의 출입구를 개폐시키도록 구성된 것을 특징으로 하여, 시료의 교환을 간편하고 신속하게 할 수 있게 된다.
전자주사현미경, 시료챔버, 스테이지유닛, 시편홀더, 챔버도어

公开(公告)号：KR1020090010771A

公开(公告)日：2009-01-30

申请号：KR1020070074136

申请日：2007-07-24

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 장동영 ,  양희남 ,  김동환 ,  임홍재

IPC: H01J37/26

Abstract: A stage unit of the miniature scanning electron microscope is provided to drive the stage for the sample loading to the X-axis, the Y-axis, the Z-axis and the rotational direction with minimum size. A chamber door(10) opens and closes the sample chamber. A support base(20) enters and leaves into/from the sample chamber while opening and shutting the sample chamber by the chamber door. The X-Y translation stage(30) is moved to the X-Y axis comparing to the support base. A sample holder(40) moves up and down to Z axial direction comparing to the X-Y translation stage and rotates comparing to the Z-axis. Z shaft driving part(50) moves the sample holder up and down to the Z-axis direction.

Abstract translation: 提供微型扫描电子显微镜的级单元，以最小尺寸驱动用于样品加载到X轴，Y轴，Z轴和旋转方向的载物台。 室门（10）打开和关闭样品室。 支撑基座（20）在通过室门打开和关闭样品室时进入和离开样品室。 与支撑基座相比，X-Y平移台（30）移动到X-Y轴。 样品架（40）与X-Y平移台相比上下移动Z轴方向，与Z轴相比旋转。 Z轴驱动部50将样品架上下移动到Z轴方向。