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公开(公告)号：KR100890001B1
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：KR1020070074136
申请日：2007-07-24
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 , 국민대학교산학협력단
IPC: H01J37/26
Abstract: 본 발명은, 시료챔버를 개폐하는 챔버도어와, 상기 챔버도어의 후방에 마련되어 시료챔버 내부로 출입하는 지지베이스와, 상기 지지베이스 상에 XY축 방향으로 이동 가능하게 마련되는 XY이동스테이지와, 상기 챔버도어 전방에 마련되어 상기 XY이동스테이지의 이동을 조작하는 X축조작부 및 Y축조작부를 갖는 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛에 관한 것으로서, 상기 XY이동스테이지에 회전가능하게 결합되는 회전체와, 상기 회전체에 대해 상하 승강 가능하게 결합되는 승강체를 갖는 시편홀더와; 상기 회전체를 회전시키는 회전구동부와; 상기 승강체를 Z축방향으로 승강시키는 Z축구동부와; 상기 챔버도어 전방에 마련되어 상기 회전구동부의 구동을 조작하는 회전조작부와; 상기 챔버도어 전방에 마련되어 상기 Z축구동부의 구동을 조작하는 Z축조작부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 장치의 구성이 간단하고 최소한의 크기로 시료적재용 스테이지를 X축 및 Y축과 Z축 및 회전 방향으로 구동시킬 수 있는 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛이 제공된다.
소형, 전자주사현미경, 시료챔버, 스테이지-
公开(公告)号：KR1020100095668A
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：KR1020090011638
申请日：2009-02-12
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 , 국민대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A sample chamber for a scanning electronic microscope is provided to rapidly and conveniently exchange samples by opening an inlet of the sample chamber using an automatic chamber door. CONSTITUTION: A sample chamber(30) for a scanning electronic microscope comprises a chamber door(100). An inlet(130) is formed on one surface of the sample chamber. The chamber door automatically opens and closes the inlet. The chamber door has a cylinder(110) and a piston(120). The cylinder is fixed to the sample chamber. The piston is moved by pressure supplied to the cylinder. One end of the piston is connected to the chamber door, and the inlet of the sample chamber is opened and closed.
Abstract translation: 目的：提供用于扫描电子显微镜的样品室，以便通过使用自动室门打开样品室的入口来快速方便地更换样品。 构成：用于扫描电子显微镜的样品室（30）包括室门（100）。 入口（130）形成在样品室的一个表面上。 室门自动打开和关闭入口。 腔室门具有气缸（110）和活塞（120）。 气瓶固定在样品室上。 活塞通过供给气缸的压力而移动。 活塞的一端连接到室门，样品室的入口打开和关闭。
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公开(公告)号：KR101084653B1
公开(公告)日：2011-11-22
申请号：KR1020090011638
申请日：2009-02-12
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 , 국민대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 전자주사현미경의 시료챔버에 관한 것으로서, 시료가 장착되는 시편홀더를 X,Y,Z축 방향으로 이동 및 회전시키면서 상부의 전자주사유닛에서 조사된 전자빔의 초점에 시료를 맞추는 스테이지유닛이 그 내부에 구성되어 있는 전자주사현미경의 시료챔버에 있어서, 상기 시료챔버의 일측면에는 출입구가 천공됨과 아울러 상기 출입구를 자동으로 개폐시키는 챔버도어가 구성되되, 상기 챔버도어는, 시료챔버에 고정되게 설치된 실린더; 및 상기 실린더에 그 일단의 헤드가 내장되어 실린더로 공급되는 압력에 의해 이동되는 피스톤;을 포함하고, 상기 피스톤의 일단이 챔버도어에 연결되어, 상기 챔버도어를 이동시켜 시료챔버의 출입구를 개폐시키도록 구성된 것을 특징으로 하여, 시료의 교환을 간편하고 신속하게 할 수 있게 된다.
전자주사현미경, 시료챔버, 스테이지유닛, 시편홀더, 챔버도어-
公开(公告)号：KR1020090010771A
公开(公告)日：2009-01-30
申请号：KR1020070074136
申请日：2007-07-24
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 , 국민대학교산학협력단
IPC: H01J37/26
Abstract: A stage unit of the miniature scanning electron microscope is provided to drive the stage for the sample loading to the X-axis, the Y-axis, the Z-axis and the rotational direction with minimum size. A chamber door(10) opens and closes the sample chamber. A support base(20) enters and leaves into/from the sample chamber while opening and shutting the sample chamber by the chamber door. The X-Y translation stage(30) is moved to the X-Y axis comparing to the support base. A sample holder(40) moves up and down to Z axial direction comparing to the X-Y translation stage and rotates comparing to the Z-axis. Z shaft driving part(50) moves the sample holder up and down to the Z-axis direction.
Abstract translation: 提供微型扫描电子显微镜的级单元，以最小尺寸驱动用于样品加载到X轴，Y轴，Z轴和旋转方向的载物台。 室门（10）打开和关闭样品室。 支撑基座（20）在通过室门打开和关闭样品室时进入和离开样品室。 与支撑基座相比，X-Y平移台（30）移动到X-Y轴。 样品架（40）与X-Y平移台相比上下移动Z轴方向，与Z轴相比旋转。 Z轴驱动部50将样品架上下移动到Z轴方向。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100571127B1
公开(公告)日：2006-04-14
申请号：KR1020040000857
申请日：2004-01-07
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단
IPC: A47B21/00
Abstract: 본 발명은 컴퓨터 책상에 관한 것으로 특히, 책상 내부에서 키보드 및 스피커가 책상 상판으로 출몰가능하게 설치되어 책상 상판의 공간활용도를 높인 컴퓨터 책상에 관한 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은
모니터 장착대가 책상 상판의 모니터 출몰홈을 통하여 출몰수납되고, 본체수납부을 갖는 컴퓨터 책상에 있어서,
상기 모니터 장착대의 양측의 지지대에 힌지 결합되는 지지바와, 일단부가 지지바에 고정되고 타단부가 지지대에 고정되어 지지바와 지지대를 탄성적으로 연결하는 탄성부재와, 지지바의 일단에 고정되는 키보드 트레이와, 상기 모니터 출몰홈 의 전면에 상,하로 설치되는 트레이 가이드로 이루어지는 키보드 장착대를 갖는 컴퓨터 책상에 있다.
책상, 컴퓨터, 모니터 수납, 키보드 수납, 스피커 수납Abstract translation: 本发明涉及一种计算机桌，特别是键盘和桌子里面的扬声器被提供以使退避桌上型，增加对电脑桌桌子顶板的空间利用率。
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公开(公告)号：KR100554012B1
公开(公告)日：2006-02-24
申请号：KR1020020076978
申请日：2002-12-05
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단
IPC: B08B9/093
Abstract: 본 발명은 회전식 공병 세척장치에 대한 것으로, 발명의 주된 목적은 생산량이 크지 않은 소규모의 생산업체에서 사용하기에 적합하도록 하고자 하는데 있으며, 또 다른 한편으로는 공병의 모양과 치수가 달라도 공병 홀더기구만을 교체하면 어떠한 공병에도 사용이 가능하도록 하는데 목적이 있으며, 또 다른 한편으로는 홀더 회전기구에서 홀더의 수량을 늘리므로써 시간당 세척량을 가변시킬 수 있도록 하는데 목적이 있는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징적인 수단은 중앙에 개방부(121)가 형성된 채 그 중앙부분이 오목하도록 원추형(또는 다각뿔 형상)으로 형성된 회전판(120)과, 그 회전 구동수단(110)을 포함하는 홀더 회전기구(100); 상기 홀더 회전기구의 상면에서 방사상으로 다수를 배열하되, 개폐시에 공병을 홀딩할 수 있는 홀딩수단(230)과, 개폐시에 배출구멍(122)으로 공병을 배출할 수 있는 배출수단(220)으로 이루어진 공병 홀더; 상기한 홀더 회전기구(100)의 공병 홀더(200)가 임의의 위치로 회전하였을 때 공병을 공급하되, 경사 플레이트(301)와, 상기 경사 플레이트(301)의 하단부에 설치한 제1스토퍼(310) 및 제2스토퍼(320)를 포함하는 공병 공급기구(300); 상기한 홀더 회전기구(100)의 공병 홀더(200)가 임의의 위치로 회전하였을 때 공병 내부를 세척하되, 끝단에 브러시(411)가 형성된 세척봉(410)과, 이 세척봉의 삽입용 액튜에이터3(420)와, 이 세척봉의 회전용 액튜에이터4(430)와, 노즐1(441)을 구비한 연성 호스(440)로 이루어진 공병 세척기구(400); 상기한 홀더 회전기구(100)의 공병 홀더(200)가 임의의 위치로 회전하였을 때 공병 내부를 헹구도록 하되, 공병의 내부를 향하여 노즐2(511))를 구비하는 헹굼수 공급파이프(510)로 이루어진 공병 헹굼기구(500); 상기한 홀더 회전기구(100)의 공병 홀더(200)가 임의의 위치로 회전하였을 때 공병 홀더(200)로부터 배출되는 공병을 안전하게 받기 위한 받침판재(610)와, 밀판(620)과, 이 밀판용 엑튜에이터5(630)을 포함하는 공병 배출기구(600)로 구성하는 것이다.
공병, 세척, 회전판, 홀더-
公开(公告)号：KR1020040049132A
公开(公告)日：2004-06-11
申请号：KR1020020076978
申请日：2002-12-05
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단
IPC: B08B9/093
Abstract: PURPOSE: A rotative washing device of an empty bottle is provided to use in any empty bottles by replacing a holder device of the empty bottle though the shapes and the sizes of the empty bottles are different and to vary the washing amount per hour by increasing the quantity of holders in the holder device. CONSTITUTION: A rotating device of a holder(100) contains a rotating plate(120) formed in a conical shape by forming an opening portion(121) in the center and a rotation driving device(120). Empty bottle holders(200) are arranged on the rotating device in radial. The rotation driving device comprises a holding device to hold an empty bottle at an opening and a closing and a discharging device to discharge the empty bottle to a discharge hole at the opening and the closing. A supplying device of the empty bottle(300) supplies the empty bottle when the empty bottle holder is rotated to an optional position. The supplying device contains an inclined plate(301), a first stopper and a second stopper under the inclined plate. A washing device of the empty bottle(400) washes the inside of the empty bottle when the empty bottle holder is rotated to the optional position. The washing device comprises a washing rod having a brush(411), an actuator for inserting the washing rod, an actuator for rotating the washing rod and a flexible hose having a nozzle. A rinsing device of the empty bottle(500) rinses the inside of the empty bottle when the empty bottle holder is rotated to the optional position. The rinsing device comprises a rinsing water supply pipe(510) having a nozzle toward the inside of the empty bottle. A discharging device of the empty bottle(600) contains a supporting plate(610), a bottom plate(620) and an actuator(630) for the bottom plate to safely receive the empty bottle from the empty bottle holder when the empty bottle holder is rotated to the optional position. Thereby, a washing device of the empty bottle washes the empty bottles continuously and repeatedly.
Abstract translation: 目的：通过更换空瓶的支架装置，空瓶的旋转洗涤装置可用于任何空瓶子，尽管空瓶的形状和尺寸不同，并且通过增加每小时来改变洗涤量 持有人设备中的持有人的数量。 构成：通过在中心形成开口部分（121）和旋转驱动装置（120），保持器（100）的旋转装置包含形成为圆锥形的旋转板（120）。 空瓶支架（200）径向布置在旋转装置上。 旋转驱动装置包括用于将空瓶保持在开口处的保持装置和关闭和排出装置，以在打开和关闭时将空瓶排出到排出孔。 当空瓶保持器旋转到可选位置时，空瓶（300）的供应装置供应空瓶。 供给装置在倾斜板下方包含倾斜板（301），第一止动件和第二止动件。 当空瓶保持器旋转到可选位置时，空瓶（400）的清洗装置洗涤空瓶的内部。 洗涤装置包括具有刷子（411）的清洗杆，用于插入洗涤杆的致动器，用于旋转洗涤杆的致动器和具有喷嘴的柔性软管。 当空瓶保持器旋转到可选位置时，空瓶（500）的冲洗装置冲洗空瓶的内部。 冲洗装置包括具有朝向空瓶内部的喷嘴的冲洗给水管（510）。 空瓶（600）的排出装置包含支撑板（610），底板（620）和用于底板的致动器（630），以便当空瓶保持器 旋转到可选位置。 因此，空瓶的清洗装置连续反复冲洗空瓶。
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公开(公告)号：KR101326534B1
公开(公告)日：2013-11-08
申请号：KR1020070045483
申请日：2007-05-10
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단
IPC: H01L21/60
CPC classification number: H01L2224/16225
Abstract: 본 발명은 플립 칩을 구성하는 금속 배선 간의 피치가 감소하더라도 금속 배선과 전기적으로 연결된, 플립 칩 상의 범프와 기판의 패드 간의 정확한 정렬 및 본딩을 실현할 수 있는 구조를 갖는 플립 칩 패키지를 개시한다.
본 발명에 따른 플립 칩 패키지는 금속 배선 및 금속 배선과 전기적으로 연결된 범프를 포함하는 플립 칩; 및
일면에 캐비티가 형성되어 있으며, 터미널과 연결된 도전성 패드가 캐비티 내의 표면에 형성된 기판을 포함하여, 플립 칩의 범프가 캐비티에 의하여 안내, 정렬되어 기판의 도전성 패드에 본딩된 플립 칩 패키지로서,
상기 캐비티는 상기 기판 상에 형성된 소정 높이의 유기물층에 의해 형성되되, 상기 플립 칩을 수용할 수 있도록 플립 칩 보다 큰 넓이로 형성함을 포함하며,
상기 플립 칩은 캐비티 내에 위치한 채 플립 칩의 범프와 기판의 도전성 패드가 대응 본딩되되, 상기 플립 칩은 그 측면부가 상기 캐비티의 상단에 대응하도록 하단 에지가 상기 캐비티 내에 삽입되고, 상기 캐비티의 내벽과 플립 칩의 외주면 사이의 공간에는 언더필 수지를 채워넣어 상기 플립 칩이 상기 위치에서 유동되지 않도록 고정한 것을 더 포함하는 것이다.
플립 칩, 패드, 범프-
公开(公告)号：KR1020080107589A
公开(公告)日：2008-12-11
申请号：KR1020070055524
申请日：2007-06-07
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단
CPC classification number: H01L24/81 , H01L2224/16 , H01L2224/81801 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/014
Abstract: A flip chip package is provided to maintain the exact alignment of the bump and the conductive pad by the attractive force. A flip chip package comprises the flip chip(10), and the substrate(20). The flip chip comprises the metal wiring and the bump electrically connected to the metal wiring. The substrate is electrically connected to the terminal. The substrate has bumps(11,12) which correspond to the flip chip and conductive pads(21,22) which are bonded to the flip chip. At least two bump and the pads of the substrate have the opposite polarity, so that the attractive force is exist between the bump and the pad.
Abstract translation: 提供倒装芯片封装以通过吸引力来保持凸块和导电垫的精确对准。 倒装芯片封装包括倒装芯片（10）和衬底（20）。 倒装芯片包括电连接到金属布线的金属布线和凸块。 基板电连接到端子。 衬底具有对应于倒装芯片的凸块（11,12）和接合到倒装芯片的导电焊盘（21,22）。 至少两个凸块和衬底的焊盘具有相反的极性，使得凸起和焊盘之间存在吸引力。
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