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公开(公告)号：KR101097830B1
公开(公告)日：2011-12-23
申请号：KR1020090117515
申请日：2009-12-01
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 , 국민대학교산학협력단
IPC: H01J37/28
Abstract: 본발명은기존의주사전자현미경(SEM:Scanning Electron Microscope)에서출력되는 SEM 이미지가편향코일의임피던스성분으로인해주사신호의왜곡이심한상태에서 SEM 이미지가표출되는문제점을개선하고자, 주사파형제어부, 편향코일, 2차전자신호검출부, AD 컨버터부, DA 컨버터부, SEM 이미지제어부로이루어진주사파형제어장치가구성됨으로서, 해상도와실시간 SEM 이미지업데이트시간을고려한스캔파형의최적의주파수를 SEM 이미지제어부를통해설정할수 있고, 스캔신호에서왜곡이가장심한부분인하강후파형의상승이시작되는지점에서왜곡을최소화하기위해 B-Spline 곡선생성방법을이용하여상승시점전에시간을충분히확보함으로서파형의왜곡을최소화할수 있어, 기존에비해 10% 미만으로 SEM 이미지의왜곡을줄일수 있어, 고배율에서질 좋은 SEM 이미지를판독할수 있는 SEM 해상도증대를위한주사파형제어장치및 방법을제공하는데그 목적이있다.
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公开(公告)号：KR1020100095668A
公开(公告)日：2010-09-01
申请号：KR1020090011638
申请日：2009-02-12
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 , 국민대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A sample chamber for a scanning electronic microscope is provided to rapidly and conveniently exchange samples by opening an inlet of the sample chamber using an automatic chamber door. CONSTITUTION: A sample chamber(30) for a scanning electronic microscope comprises a chamber door(100). An inlet(130) is formed on one surface of the sample chamber. The chamber door automatically opens and closes the inlet. The chamber door has a cylinder(110) and a piston(120). The cylinder is fixed to the sample chamber. The piston is moved by pressure supplied to the cylinder. One end of the piston is connected to the chamber door, and the inlet of the sample chamber is opened and closed.
Abstract translation: 目的：提供用于扫描电子显微镜的样品室，以便通过使用自动室门打开样品室的入口来快速方便地更换样品。 构成：用于扫描电子显微镜的样品室（30）包括室门（100）。 入口（130）形成在样品室的一个表面上。 室门自动打开和关闭入口。 腔室门具有气缸（110）和活塞（120）。 气瓶固定在样品室上。 活塞通过供给气缸的压力而移动。 活塞的一端连接到室门，样品室的入口打开和关闭。
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公开(公告)号：KR1020120019606A
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：KR1020100082896
申请日：2010-08-26
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 , 국민대학교산학협력단
IPC: H01J37/28 , H01J37/24 , H01J37/244
Abstract: PURPOSE: A scanning electron microscope image noise eliminating apparatus and method are provided to improve spurious free dynamic range by diminishing and quantizing distortion through a dither signal and to minimize white noise. CONSTITUTION: A secondary electron detector(100) detects a second electronic signal emitted from the sample surface of an SEM(Scanning Electron Microscope). An AD convertor part(200) changes a secondary electron analog signal into a secondary electron digital signal and transmits the secondary electron digital signal to an SEM image controller(300). The SEM image controller changes the secondary electron digital signal into an SEM image of the sample surface. The SEM image controller establishes the resolution of the SEM image and the frequency of a scan waveform according to SEM image acquisition time and outputs to the PC monitor. A PMT(Photomultiplier)(400) inputs a PMT OUT signal amplifying the secondary electron signal.
Abstract translation: 目的：提供扫描电子显微镜图像噪声消除装置和方法，以通过抖动信号减少和量化失真来改善无杂散动态范围并使白噪声最小化。 构成：二次电子检测器（100）检测从SEM（扫描电子显微镜）的样品表面发射的第二电子信号。 AD转换器部件（200）将二次电子模拟信号改变为二次电子数字信号，并将二次电子数字信号发送到SEM图像控制器（300）。 SEM图像控制器将二次电子数字信号变为样品表面的SEM图像。 SEM图像控制器根据SEM图像采集时间建立SEM图像的分辨率和扫描波形的频率，并输出到PC显示器。 PMT（光电倍增管）（400）输入放大二次电子信号的PMT OUT信号。
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公开(公告)号：KR100890001B1
公开(公告)日：2009-03-25
申请号：KR1020070074136
申请日：2007-07-24
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 , 국민대학교산학협력단
IPC: H01J37/26
Abstract: 본 발명은, 시료챔버를 개폐하는 챔버도어와, 상기 챔버도어의 후방에 마련되어 시료챔버 내부로 출입하는 지지베이스와, 상기 지지베이스 상에 XY축 방향으로 이동 가능하게 마련되는 XY이동스테이지와, 상기 챔버도어 전방에 마련되어 상기 XY이동스테이지의 이동을 조작하는 X축조작부 및 Y축조작부를 갖는 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛에 관한 것으로서, 상기 XY이동스테이지에 회전가능하게 결합되는 회전체와, 상기 회전체에 대해 상하 승강 가능하게 결합되는 승강체를 갖는 시편홀더와; 상기 회전체를 회전시키는 회전구동부와; 상기 승강체를 Z축방향으로 승강시키는 Z축구동부와; 상기 챔버도어 전방에 마련되어 상기 회전구동부의 구동을 조작하는 회전조작부와; 상기 챔버도어 전방에 마련되어 상기 Z축구동부의 구동을 조작하는 Z축조작부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 장치의 구성이 간단하고 최소한의 크기로 시료적재용 스테이지를 X축 및 Y축과 Z축 및 회전 방향으로 구동시킬 수 있는 소형 전자주사현미경의 스테이지유닛이 제공된다.
소형, 전자주사현미경, 시료챔버, 스테이지-
公开(公告)号：KR100858982B1
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：KR1020070073642
申请日：2007-07-23
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 , 국민대학교산학협력단
IPC: H01J37/26
Abstract: A scanning electron microscope having a unification control function is provided to control operations of components including a high voltage generator and an electron beam scanning unit by using digital signals. A scanning electron microscope includes an electron gun, an anode separated from the electron gun, a high voltage generator for applying a high voltage to the electron gun and the anode, an electron beam scanning unit for scanning an electron beam to a sample, and a detection unit for detecting secondary electrons reflected from the sample and converting the secondary electrons to electrical signals. The scanning electron microscope further includes a control panel(52) having a plurality of key input parts for operating the high voltage generator and the electron beam scanning unit, an analysis terminal(54) for receiving the electrical signals from the detection unit and displaying an image of the sample on a monitor, and a digital signal processor(58) for controlling operations of the high voltage generator and the electron beam scanning unit by processing drive signals of the high voltage generator and the electron beam scanning unit as digital signals.
Abstract translation: 提供具有统一控制功能的扫描电子显微镜，以通过使用数字信号来控制包括高压发生器和电子束扫描单元的部件的操作。 扫描电子显微镜包括电子枪，与电子枪分离的阳极，用于向电子枪和阳极施加高电压的高电压发生器，用于向样品扫描电子束的电子束扫描单元，以及 检测单元，用于检测从样品反射的二次电子，并将二次电子转换成电信号。 该扫描电子显微镜还包括具有用于操作高电压发生器和电子束扫描单元的多个键输入部分的控制面板（52），用于从检测单元接收电信号的分析终端（54） 监视器上的样本图像，以及用于通过处理高电压发生器和电子束扫描单元的驱动信号作为数字信号来控制高电压发生器和电子束扫描单元的操作的数字信号处理器（58）。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020110061009A
公开(公告)日：2011-06-09
申请号：KR1020090117515
申请日：2009-12-01
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 , 국민대학교산학협력단
IPC: H01J37/28
Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for controlling a scanning waveform are provided to minimize distortion of a waveform by setting an optimum frequency of a scanning waveform through a SEM image control unit. CONSTITUTION: A scanning waveform control unit(100) generates a scanning waveform according to a frequency of a scanning waveform corresponding to resolution of an SEM image and a time for obtaining an SEM image. A deflection coil(200) is formed to convert the scanning waveform to an electron beam and to scan the electron beam on a surface of a sample. A second electronic signal detection unit(300) detects a second electronic signal emitted from the surface of the sample. An AD convertor unit(400) transmits with the SEM image to a controller. A DA converter unit converts a frequency of the scanning waveform to an analog signal and transmits the analog signal to the scanning waveform control unit.
Abstract translation: 目的：提供一种用于控制扫描波形的装置和方法，以通过设置扫描波形的最佳频率通过SEM图像控制单元来最小化波形失真。 构成：扫描波形控制单元（100）根据与SEM图像的分辨率对应的扫描波形的频率和获得SEM图像的时间生成扫描波形。 形成偏转线圈（200）以将扫描波形转换成电子束并扫描样品表面上的电子束。 第二电子信号检测单元（300）检测从样品表面发射的第二电子信号。 AD转换器单元（400）将SEM图像发送到控制器。 DA转换器单元将扫描波形的频率转换为模拟信号，并将模拟信号发送到扫描波形控制单元。
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公开(公告)号：KR1020100092332A
公开(公告)日：2010-08-20
申请号：KR1020090011637
申请日：2009-02-12
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 , 국민대학교산학협력단
IPC: H01L21/027 , B82Y40/00
CPC classification number: H01J37/3174 , B82Y40/00 , G03F7/2059
Abstract: PURPOSE: The nano stage of the electron beam lithography apparatus revises the deflection coil in the production of the micro pattern in the admissible distortion rate range. The micro pattern is created consecutively. CONSTITUTION: The sample(40) is included in the upper side of the stage(33). The stage unit(30) is formed in order to go in and out to the vacuum chamber. The stage unit rotates the stage the X, Y, Z shaft with movement. The electronic scanning unit injects the electronic beam on sample on the nano stage(100). Domain more than the admissible distortion rate of the deflection coil is corrected through the micro movement of the nano stage.
Abstract translation: 目的：电子束光刻设备的纳米阶段在允许的畸变率范围内修改微图案的生产过程中的偏转线圈。 连续创建微图案。 构成：样品（40）包含在载物台（33）的上侧。 形成台阶单元30以便进出真空室。 舞台单元使X，Y，Z轴与舞台移动。 电子扫描单元将电子束在样品上注入到纳米级（100）上。 通过纳米级的微移动校正超过偏转线圈的允许畸变率的域。
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公开(公告)号：KR101084653B1
公开(公告)日：2011-11-22
申请号：KR1020090011638
申请日：2009-02-12
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 , 국민대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 전자주사현미경의 시료챔버에 관한 것으로서, 시료가 장착되는 시편홀더를 X,Y,Z축 방향으로 이동 및 회전시키면서 상부의 전자주사유닛에서 조사된 전자빔의 초점에 시료를 맞추는 스테이지유닛이 그 내부에 구성되어 있는 전자주사현미경의 시료챔버에 있어서, 상기 시료챔버의 일측면에는 출입구가 천공됨과 아울러 상기 출입구를 자동으로 개폐시키는 챔버도어가 구성되되, 상기 챔버도어는, 시료챔버에 고정되게 설치된 실린더; 및 상기 실린더에 그 일단의 헤드가 내장되어 실린더로 공급되는 압력에 의해 이동되는 피스톤;을 포함하고, 상기 피스톤의 일단이 챔버도어에 연결되어, 상기 챔버도어를 이동시켜 시료챔버의 출입구를 개폐시키도록 구성된 것을 특징으로 하여, 시료의 교환을 간편하고 신속하게 할 수 있게 된다.
전자주사현미경, 시료챔버, 스테이지유닛, 시편홀더, 챔버도어-
公开(公告)号：KR1020090010771A
公开(公告)日：2009-01-30
申请号：KR1020070074136
申请日：2007-07-24
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 , 국민대학교산학협력단
IPC: H01J37/26
Abstract: A stage unit of the miniature scanning electron microscope is provided to drive the stage for the sample loading to the X-axis, the Y-axis, the Z-axis and the rotational direction with minimum size. A chamber door(10) opens and closes the sample chamber. A support base(20) enters and leaves into/from the sample chamber while opening and shutting the sample chamber by the chamber door. The X-Y translation stage(30) is moved to the X-Y axis comparing to the support base. A sample holder(40) moves up and down to Z axial direction comparing to the X-Y translation stage and rotates comparing to the Z-axis. Z shaft driving part(50) moves the sample holder up and down to the Z-axis direction.
Abstract translation: 提供微型扫描电子显微镜的级单元，以最小尺寸驱动用于样品加载到X轴，Y轴，Z轴和旋转方向的载物台。 室门（10）打开和关闭样品室。 支撑基座（20）在通过室门打开和关闭样品室时进入和离开样品室。 与支撑基座相比，X-Y平移台（30）移动到X-Y轴。 样品架（40）与X-Y平移台相比上下移动Z轴方向，与Z轴相比旋转。 Z轴驱动部50将样品架上下移动到Z轴方向。
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公开(公告)号：KR101336607B1
公开(公告)日：2013-12-05
申请号：KR1020100082896
申请日：2010-08-26
Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 , 국민대학교산학협력단
IPC: H01J37/28 , H01J37/24 , H01J37/244
Abstract: 본 발명은 기존의 주사 전자 현미경(SEM:Scanning Electron Microscope)이 촬영 후, 출력되는 SEM 이미지가 AD컨버터를 통해 아날로그신호에서 디지털신호로 변환되는 과정에서 불특정한 잡음으로 인해 에러가 발생되어 SEM 이미지가 선명하지 않게 표출되기 때문에 SEM 이미지 판독이 어려운 문제점을 개선하고자, 이차전자 검출기 (SED; secondary electron detector)(10), AD 컨버터부(20), SEM 이미지 제어부(30)에 포토멀티플리어(PMT : photomultiplier)신호발생부(40), 디더신호생성모듈(50)이 포함되어 구성됨으로서, 디더 신호를 통해 ADC의 인코더 전달함수의 차동 비선형성으로 인한 왜곡과 양자화 왜곡을 줄임으로써 스퓨리어스 프리 동적 범위를 향상시킬 수 있고, 이로 인해 ADC과정에서 발생하는 백색 잡음을 최소화시킬 수 있는 디더신호생성모듈을 이용한 SEM 이미지노이즈 제거장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
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