公开(公告)号：KR1020120019606A

公开(公告)日：2012-03-07

申请号：KR1020100082896

申请日：2010-08-26

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 김동환 ,  정광오 ,  오세규 ,  김승재 ,  임홍재

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/24 ,  H01J37/244

Abstract: PURPOSE: A scanning electron microscope image noise eliminating apparatus and method are provided to improve spurious free dynamic range by diminishing and quantizing distortion through a dither signal and to minimize white noise. CONSTITUTION: A secondary electron detector(100) detects a second electronic signal emitted from the sample surface of an SEM(Scanning Electron Microscope). An AD convertor part(200) changes a secondary electron analog signal into a secondary electron digital signal and transmits the secondary electron digital signal to an SEM image controller(300). The SEM image controller changes the secondary electron digital signal into an SEM image of the sample surface. The SEM image controller establishes the resolution of the SEM image and the frequency of a scan waveform according to SEM image acquisition time and outputs to the PC monitor. A PMT(Photomultiplier)(400) inputs a PMT OUT signal amplifying the secondary electron signal.

Abstract translation: 目的：提供扫描电子显微镜图像噪声消除装置和方法，以通过抖动信号减少和量化失真来改善无杂散动态范围并使白噪声最小化。 构成：二次电子检测器（100）检测从SEM（扫描电子显微镜）的样品表面发射的第二电子信号。 AD转换器部件（200）将二次电子模拟信号改变为二次电子数字信号，并将二次电子数字信号发送到SEM图像控制器（300）。 SEM图像控制器将二次电子数字信号变为样品表面的SEM图像。 SEM图像控制器根据SEM图像采集时间建立SEM图像的分辨率和扫描波形的频率，并输出到PC显示器。 PMT（光电倍增管）（400）输入放大二次电子信号的PMT OUT信号。

公开(公告)号：KR1020110061009A

公开(公告)日：2011-06-09

申请号：KR1020090117515

申请日：2009-12-01

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 김동환 ,  김승재 ,  오세규 ,  임홍재

IPC: H01J37/28

Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for controlling a scanning waveform are provided to minimize distortion of a waveform by setting an optimum frequency of a scanning waveform through a SEM image control unit. CONSTITUTION: A scanning waveform control unit(100) generates a scanning waveform according to a frequency of a scanning waveform corresponding to resolution of an SEM image and a time for obtaining an SEM image. A deflection coil(200) is formed to convert the scanning waveform to an electron beam and to scan the electron beam on a surface of a sample. A second electronic signal detection unit(300) detects a second electronic signal emitted from the surface of the sample. An AD convertor unit(400) transmits with the SEM image to a controller. A DA converter unit converts a frequency of the scanning waveform to an analog signal and transmits the analog signal to the scanning waveform control unit.

Abstract translation: 目的：提供一种用于控制扫描波形的装置和方法，以通过设置扫描波形的最佳频率通过SEM图像控制单元来最小化波形失真。 构成：扫描波形控制单元（100）根据与SEM图像的分辨率对应的扫描波形的频率和获得SEM图像的时间生成扫描波形。 形成偏转线圈（200）以将扫描波形转换成电子束并扫描样品表面上的电子束。 第二电子信号检测单元（300）检测从样品表面发射的第二电子信号。 AD转换器单元（400）将SEM图像发送到控制器。 DA转换器单元将扫描波形的频率转换为模拟信号，并将模拟信号发送到扫描波形控制单元。

公开(公告)号：KR1020100092332A

公开(公告)日：2010-08-20

申请号：KR1020090011637

申请日：2009-02-12

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 김동환 ,  김승재 ,  오세규 ,  임홍재

IPC: H01L21/027 ,  B82Y40/00

CPC classification number: H01J37/3174 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/2059

Abstract: PURPOSE: The nano stage of the electron beam lithography apparatus revises the deflection coil in the production of the micro pattern in the admissible distortion rate range. The micro pattern is created consecutively. CONSTITUTION: The sample(40) is included in the upper side of the stage(33). The stage unit(30) is formed in order to go in and out to the vacuum chamber. The stage unit rotates the stage the X, Y, Z shaft with movement. The electronic scanning unit injects the electronic beam on sample on the nano stage(100). Domain more than the admissible distortion rate of the deflection coil is corrected through the micro movement of the nano stage.

Abstract translation: 目的：电子束光刻设备的纳米阶段在允许的畸变率范围内修改微图案的生产过程中的偏转线圈。 连续创建微图案。 构成：样品（40）包含在载物台（33）的上侧。 形成台阶单元30以便进出真空室。 舞台单元使X，Y，Z轴与舞台移动。 电子扫描单元将电子束在样品上注入到纳米级（100）上。 通过纳米级的微移动校正超过偏转线圈的允许畸变率的域。

公开(公告)号：KR101336607B1

公开(公告)日：2013-12-05

申请号：KR1020100082896

申请日：2010-08-26

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 김동환 ,  정광오 ,  오세규 ,  김승재 ,  임홍재

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/24 ,  H01J37/244

Abstract: 본 발명은 기존의 주사 전자 현미경(SEM:Scanning Electron Microscope)이 촬영 후, 출력되는 SEM 이미지가 AD컨버터를 통해 아날로그신호에서 디지털신호로 변환되는 과정에서 불특정한 잡음으로 인해 에러가 발생되어 SEM 이미지가 선명하지 않게 표출되기 때문에 SEM 이미지 판독이 어려운 문제점을 개선하고자, 이차전자 검출기 (SED; secondary electron detector)(10), AD 컨버터부(20), SEM 이미지 제어부(30)에 포토멀티플리어(PMT : photomultiplier)신호발생부(40), 디더신호생성모듈(50)이 포함되어 구성됨으로서, 디더 신호를 통해 ADC의 인코더 전달함수의 차동 비선형성으로 인한 왜곡과 양자화 왜곡을 줄임으로써 스퓨리어스 프리 동적 범위를 향상시킬 수 있고, 이로 인해 ADC과정에서 발생하는 백색 잡음을 최소화시킬 수 있는 디더신호생성모듈을 이용한 SEM 이미지노이즈 제거장치 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

公开(公告)号：KR101095984B1

公开(公告)日：2011-12-19

申请号：KR1020100082904

申请日：2010-08-26

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 김동환 ,  양경선 ,  오세규 ,  임홍재

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/20 ,  G01N35/10

Abstract: PURPOSE: An automatic sample exchange apparatus for a scanning electron microscope is provided to reduce switching time by being rotated in a state in which a sample is put and to accurately fix the location center of a sample. CONSTITUTION: A sample is put on a rotation sample holder device(20) and rotated. A slide holder transfer device(30) slides the rotation sample holder device to a specific location. A multi controlling element(40) revolves the rotation sample holder device. The multi controlling element adjusts a slide section of the slide holder transfer device and fixes the lens center axis of a sample holder. An actuator drives a step motor(60). The step motor transfers the slide holder transfer device. A step motor controlling part controls the step motor. A voltage adjusting part adjusts voltage which is provided to the actuator.

Abstract translation: 目的：提供一种用于扫描电子显微镜的自动样品更换装置，通过在样品放置的状态下旋转以减少切换时间并精确地固定样品的位置中心。 构成：将样品放在旋转样品架（20）上并旋转。 滑动架传送装置（30）将旋转样品架装置滑动到特定位置。 多重控制元件（40）围绕旋转样品保持器装置旋转。 多重控制元件调整滑动架传送装置的滑动部分并固定样品架的透镜中心轴。 致动器驱动步进电机（60）。 步进电机传送滑块保持架传送装置。 步进电机控制部分控制步进电机。 电压调节部分调节提供给致动器的电压。

公开(公告)号：KR101025288B1

公开(公告)日：2011-03-29

申请号：KR1020090011637

申请日：2009-02-12

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 김동환 ,  김승재 ,  오세규 ,  임홍재

IPC: H01L21/027 ,  B82Y40/00

Abstract: 본 발명은 전자빔 리소그래피 장치의 나노 스테이지에 관한 것으로서, 진공챔버에 출입가능하게 설치되는 한편 스테이지를 X,Y,Z축 방향으로 이동 및 회전시키는 스테이지유닛과, 스테이지 측으로 전자빔을 주사하는 전자주사유닛을 포함하는 전자빔 리소그래피 장치에 있어서, 상기 스테이지유닛의 스테이지 상에는 시료가 구비되는 나노 스테이지가 설치되고, 상기 나노 스테이지는 미세 이동되어 시료를 디플렉션 왜곡이 가장 작은 영역으로 이동시키기 위한 압전소자로 구성된 것을 특징으로 하여, 시료를 나노 스테이지의 미세 이동을 통해 디플렉션 왜곡이 가장 작은 영역으로 이동하여 미소패턴을 연속적으로 생성할 수 있도록 한다.
전자빔, 리소그래피, 나노 스테이지, 압전소자

公开(公告)号：KR101097830B1

公开(公告)日：2011-12-23

申请号：KR1020090117515

申请日：2009-12-01

Applicant: 서울과학기술대학교 산학협력단 ,  국민대학교산학협력단

Inventor： 김동환 ,  김승재 ,  오세규 ,  임홍재

IPC: H01J37/28

Abstract: 본발명은기존의주사전자현미경(SEM:Scanning Electron Microscope)에서출력되는 SEM 이미지가편향코일의임피던스성분으로인해주사신호의왜곡이심한상태에서 SEM 이미지가표출되는문제점을개선하고자, 주사파형제어부, 편향코일, 2차전자신호검출부, AD 컨버터부, DA 컨버터부, SEM 이미지제어부로이루어진주사파형제어장치가구성됨으로서, 해상도와실시간 SEM 이미지업데이트시간을고려한스캔파형의최적의주파수를 SEM 이미지제어부를통해설정할수 있고, 스캔신호에서왜곡이가장심한부분인하강후파형의상승이시작되는지점에서왜곡을최소화하기위해 B-Spline 곡선생성방법을이용하여상승시점전에시간을충분히확보함으로서파형의왜곡을최소화할수 있어, 기존에비해 10% 미만으로 SEM 이미지의왜곡을줄일수 있어, 고배율에서질 좋은 SEM 이미지를판독할수 있는 SEM 해상도증대를위한주사파형제어장치및 방법을제공하는데그 목적이있다.