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公开(公告)号:WO2020263006A1
公开(公告)日:2020-12-30
申请号:PCT/KR2020/008333
申请日:2020-06-26
Applicant: 엘지디스플레이 주식회사 , 서울대학교산학협력단
IPC: G01N27/12 , G01N27/407 , B82B3/00 , G01N33/00
Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 상온 구동형 가스 센서는 기판, 기판 상에 배치되고 니오븀 이황화물(NbS 2 ) 박막을 포함하는 가스 감지층 및 가스 감지층 상에 배치되는 전극을 포함하고, 선택적으로 니오븀 이황화물 박막 상에 증착된 금속 나노 입자를 더 포함하며, 상온에서 가스에 대한 감도가 우수하고, 가역적으로 사용 가능한 상온 구동형 가스 센서, 이의 제조방법 및 가스 센서 어레이를 제공한다.
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公开(公告)号:KR1020180132337A
公开(公告)日:2018-12-12
申请号:KR1020170069144
申请日:2017-06-02
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: H01L31/18 , H01L31/0224 , H01L31/0216 , H01L31/032
Abstract: 광전기화학적 수소생산을 위한 촉매용 황 도핑된 몰리브데넘 인화물 박막의 합성 방법은, 전이금속 이황화물 전구체 용액을 실리콘 기판 위에 스핀 코팅하는 단계; 황(S)과 인(P)의 혼합 비율을 조절하여 분말 전구물질을 형성하는 단계; 상기 전이금속 이황화물 전구체 용액이 스핀 코팅된 실리콘 기판과 상기 분말 전구물질을 수소(H
2 ) 가스와 질소(N
2 ) 가스가 주입되는 열분해 챔버에서 열처리하는 단계; 및 상기 열처리를 통해, 상기 실리콘 기판 상에 황 도핑된 몰리브데넘 인화물(S:MoP) 박막을 형성하는 단계를 포함한다. 이에 따라 생성된 황 도핑된 몰리브데넘 인화물(S:MoP) 박막은 반도체 상에서 촉매 활성을 극대화한 대면적 전기화학적 수소생산용 광전극을 제공할 수 있다.-
公开(公告)号:KR1020160014844A
公开(公告)日:2016-02-12
申请号:KR1020140096599
申请日:2014-07-29
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 본발명은상온에서구동가능한가스센서및 이의제조방법에관한것으로, 더욱구체적으로다수의전극이교대로배열된 IDE(interdigitated electrode) 전극; 상기전극위에형성된금속이황화물; 및상기금속이황화물위에형성된금속나노입자;를포함하는상온에서구동가능한가스센서및 이의제조방법에관한것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种在室温下可操作的气体传感器及其制备方法,更具体地说,涉及一种在室温下可操作的气体传感器,其包括:依次放置多个电极的叉指电极(IDE) 在电极上形成金属二硫化物; 以及形成在金属二硫化物上的金属纳米粒子及其制备方法。
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公开(公告)号:KR101709021B1
公开(公告)日:2017-02-22
申请号:KR1020150180230
申请日:2015-12-16
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: C25B11/04 , C25B1/02 , H01L31/0224
Abstract: 본발명은전기화학적수소생산용광전극의제조방법에관한것으로, 더욱구체적으로산화물기판에전이금속이황화물전구체용액을스핀코팅시킨후 열분해시키고냉각시켜전이금속이황화물코팅층을형성시키는단계; 상기전이금속이황화물코팅층위에폴리머물질을스핀코팅시킨후 에칭공정으로상기산화물기판을제거하는단계; 및상기폴리머가코팅된전이금속이황화물코팅층을 p형반도체위에전사한후 상기폴리머를제거하는단계;를포함하는전기화학적수소생산용광전극의제조방법에관한것이다.
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公开(公告)号:KR101931110B1
公开(公告)日:2018-12-21
申请号:KR1020170069144
申请日:2017-06-02
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: H01L31/18 , H01L31/0224 , H01L31/0216 , H01L31/032
Abstract: 광전기화학적 수소생산을 위한 촉매용 황 도핑된 몰리브데넘 인화물 박막의 합성 방법은, 전이금속 이황화물 전구체 용액을 실리콘 기판 위에 스핀 코팅하는 단계; 황(S)과 인(P)의 혼합 비율을 조절하여 분말 전구물질을 형성하는 단계; 상기 전이금속 이황화물 전구체 용액이 스핀 코팅된 실리콘 기판과 상기 분말 전구물질을 수소(H
2 ) 가스와 질소(N
2 ) 가스가 주입되는 열분해 챔버에서 열처리하는 단계; 및 상기 열처리를 통해, 상기 실리콘 기판 상에 황 도핑된 몰리브데넘 인화물(S:MoP) 박막을 형성하는 단계를 포함한다. 이에 따라 생성된 황 도핑된 몰리브데넘 인화물(S:MoP) 박막은 반도체 상에서 촉매 활성을 극대화한 대면적 전기화학적 수소생산용 광전극을 제공할 수 있다.-
公开(公告)号:KR101662890B1
公开(公告)日:2016-10-06
申请号:KR1020140096599
申请日:2014-07-29
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 본발명은상온에서구동가능한가스센서및 이의제조방법에관한것으로, 더욱구체적으로다수의전극이교대로배열된 IDE(interdigitated electrode) 전극; 상기전극위에형성된금속이황화물; 및상기금속이황화물위에형성된금속나노입자;를포함하는상온에서구동가능한가스센서및 이의제조방법에관한것이다.
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