公开(公告)号：KR101662890B1

公开(公告)日：2016-10-06

申请号：KR1020140096599

申请日：2014-07-29

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 장호원 ,  최유림 ,  김수영 ,  권기창

IPC: G01N27/12 ,  B82B3/00 ,  C23C14/00

Abstract: 본발명은상온에서구동가능한가스센서및 이의제조방법에관한것으로, 더욱구체적으로다수의전극이교대로배열된 IDE(interdigitated electrode) 전극; 상기전극위에형성된금속이황화물; 및상기금속이황화물위에형성된금속나노입자;를포함하는상온에서구동가능한가스센서및 이의제조방법에관한것이다.

公开(公告)号：KR1020160014845A

公开(公告)日：2016-02-12

申请号：KR1020140096600

申请日：2014-07-29

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 장호원 ,  최유림

IPC: G01N27/12 ,  B82B3/00

CPC classification number: G01N27/12 ,  B82B3/00

Abstract: 본발명은나노입자를포함하는가스센서및 이의제조방법에관한것으로, 더욱구체적으로실리콘산화막이적층된기판; 및상기실리콘산화막상부에금속을증착시켜형성된전극;을포함하고, 상기전극은다수의전극이교대로배열된 IDE(interdigitated electrode) 패턴형태이며, 상기전극상부에는 MoS나노입자를포함하는것을특징으로하는나노입자를포함하는가스센서및 이황화몰리브덴(MoS) 분말을극성유기용매에넣고초음파를조사하는단계; 상기초음파조사된용액을원심분리한후 세척하여이황화몰리브덴나노입자가분산된용액을얻는단계; 및상기나노입자가분산된용액을인터디지테이티드전극(interdigitated electrode, IDE)에적하하여나노입자를부착시키는단계;를포함하는나노입자를포함하는가스센서의제조방법에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及包含纳米颗粒的气体传感器及其制造方法。 更具体地，气体传感器包括：层叠有氧化硅膜的基板; 以及沉积在氧化硅膜上的金属电极，其中电极呈现叉指电极（IDE）图案，并且在上部包括二硫化钼（MoS_2）纳米颗粒。 同时，制造方法包括：将超声波照射到含有二硫化钼纳米粒子的极性有机溶剂上的步骤; 在离心后得到分散在其内的二硫化钼纳米颗粒的溶液，然后清洗超声波照射溶液的步骤; 以及通过将纳米颗粒分散溶液滴落到IDE电极上来使纳米颗粒粘附到IDE电极的步骤。

公开(公告)号：KR101606148B1

公开(公告)日：2016-03-25

申请号：KR1020140148680

申请日：2014-10-29

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 장호원 ,  최유림

IPC: G01N27/407 ,  B05D3/10 ,  B05D1/26 ,  G01N33/00

CPC classification number: G01N27/407 ,  B05D1/00 ,  B05D1/26 ,  B05D3/10 ,  G01N27/12 ,  G01N27/125 ,  G01N27/30 ,  G01N27/4075 ,  G01N33/0037 ,  G01N33/005 ,  G01N33/0054

Abstract: 본발명은불소원자가결합된그래핀산화물을포함하는가스센서및 이의제조방법에관한것으로, 더욱구체적으로실리콘산화막이증착된기판; 상기실리콘산화막상부에다수의전극이교대로배열된 IDE(interdigitated electrode) 패턴형태로형성된전극; 및상기전극상부에형성된불소원자가결합된그래핀산화물;을포함하는것을특징으로하는불소원자가결합된그래핀산화물을포함하는가스센서및 이의제조방법에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及包含与氟原子键合的氧化石墨烯的气体传感器及其制造方法，更具体地说，涉及包含与氟原子键合的石墨烯氧化物的气体传感器，包括沉积有氧化硅膜的基板; 形成为交错电极（IDE）图案的电极，其中多个电极交替地布置在氧化硅膜的上部; 和与形成在电极上部的氟原子键合的石墨烯氧化物及其制造方法。 本发明的目的是提供一种气体传感器及其制造方法，该气体传感器包括与氟原子键合的石墨烯氧化物，气体测量具有优异的灵敏度，并能够重复测量气体。

公开(公告)号：KR1020160014844A

公开(公告)日：2016-02-12

申请号：KR1020140096599

申请日：2014-07-29

Applicant: 서울대학교산학협력단

Inventor： 장호원 ,  최유림 ,  김수영 ,  권기창

IPC: G01N27/12 ,  B82B3/00 ,  C23C14/00

CPC classification number: G01N27/12 ,  B82B3/00 ,  C23C14/00

Abstract: 본발명은상온에서구동가능한가스센서및 이의제조방법에관한것으로, 더욱구체적으로다수의전극이교대로배열된 IDE(interdigitated electrode) 전극; 상기전극위에형성된금속이황화물; 및상기금속이황화물위에형성된금속나노입자;를포함하는상온에서구동가능한가스센서및 이의제조방법에관한것이다.

Abstract translation: 本发明涉及一种在室温下可操作的气体传感器及其制备方法，更具体地说，涉及一种在室温下可操作的气体传感器，其包括：依次放置多个电极的叉指电极（IDE） 在电极上形成金属二硫化物; 以及形成在金属二硫化物上的金属纳米粒子及其制备方法。