MEMS 공진기
    3.
    发明公开
    MEMS 공진기 有权
    MEMS谐振器

    公开(公告)号:KR1020120127051A

    公开(公告)日:2012-11-21

    申请号:KR1020110045276

    申请日:2011-05-13

    CPC classification number: H03H9/24 B81B7/02 H01P7/02 H03H9/2463 H03H9/505

    Abstract: PURPOSE: A micro electro mechanical system resonator is provided to minimize noises which are included in an output signal by drastically reducing a feed through electrostatic capacity. CONSTITUTION: A vibrator(330) is located on the top of a substrate. A first stator and a second stator are located on the top of the substrate. The first stator and the second stator are located in a non contact state with the vibrator on both sides of the vibrator. The first stator comprises a first driving electrode(310) and a first sensing electrode. The second stator comprises a second driving electrode(315) and a second sensing electrode. The first and second driving electrodes receive first and second driving signals, respectively. The first and second sensing electrodes output an output signal according to the first and second driving signal.

    Abstract translation: 目的:提供微电子机械系统谐振器,通过大幅减少进料通过静电容量来最小化包含在输出信号中的噪声。 构成:振动器(330)位于基板的顶部。 第一定子和第二定子位于衬底的顶部。 第一定子和第二定子位于振动器两侧的振动器非接触状态。 第一定子包括第一驱动电极(310)和第一感测电极。 第二定子包括第二驱动电极(315)和第二感测电极。 第一和第二驱动电极分别接收第一和第二驱动信号。 第一和第二感测电极根据第一和第二驱动信号输出输出信号。

    MEMS 공진기
    7.
    发明授权
    MEMS 공진기 有权
    MEMS谐振器

    公开(公告)号:KR101270136B1

    公开(公告)日:2013-06-04

    申请号:KR1020110045276

    申请日:2011-05-13

    Abstract: 차분 구동의 장점을 그대로 유지하면서도 잡음의 원인이 되는 피드 쓰루 정전용량을 대폭 축소시키는 MEMS 공진기가 제공된다. 본 발명의 MEMS 공진기는 기판, 상기 기판 상부에 위치하는 진동자, 상기 기판 상부에 위치하고, 상기 진동자의 양측에, 상기 진동자와 비접촉하여 위치하는 제1고정자 및 제2고정자를 포함하되, 상기 제1 고정자는 제1 구동전극과, 제1 감지전극을 포함하고, 상기 제2 고정자는 제2 구동전극과, 제2 감지전극을 포함하고, 상기 제1 및 제2 구동전극은 각각 제1 및 제2 구동신호를 제공받고, 상기 제1 및 제2 감지전극은 상기 제1 및 제2 구동신호에 따른 출력신호를 출력할 수 있다.

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