정확도가 향상된 마이크로칼로리미터 소자
    1.
    发明申请
    정확도가 향상된 마이크로칼로리미터 소자 审中-公开
    具有提高精度的MICRO CALORIMETER设备

    公开(公告)号:WO2010140719A1

    公开(公告)日:2010-12-09

    申请号:PCT/KR2009/002941

    申请日:2009-06-02

    CPC classification number: G01K17/006 G01N25/005

    Abstract: 본 발명은 나노전자기계시스템 (NEMS) 처리 기술에 의해 구현되는 실리콘 니트라이드 박막 플랫폼 기반의 새로운 디자인을 가진 정확도가 향상된 마이크로칼로리미터 소자에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 본 발명은 극미세물질의 비열측정장치를 위한 실리콘니트라이드 박막형 마이크로칼로리미터 소자에 관한 것으로, 특히 20 K 내지 800 K의 넓은 온도 구간에서 미세시료의 비열측정이 가능한 정확도가 향상된 마이크로칼로리미터 소자에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은 양면 연마된 실리콘 프레임(11a,11b)의 상면에 제 1실리콘니트라이드 박막(12a,12b)을 포함하고, 하면에는 제2실리콘니트라이드 박막(13)을 포함하되, 상기 제2실리콘니트라이드 박막(13)의 하면에는 전기인출선과 체결되는 히터/센서(14a, 14b)를 포함하고 그 상면에는 등온층(15)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 정확도가 향상된 마이크로칼로리미터 소자를 제시한다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种具有改进精度的微量热计装置,具有基于利用纳米机电系统(NEMS)处理技术实现的氮化硅薄膜平台的新设计。 更具体地,本发明涉及一种用于测量纳米物质的比热的装置的氮化硅薄膜型微量热计装置,以及精度高的微量热计装置,其测量在20K之间的温度下纳米物质的比热 到800K。 为此,本发明包括:在两面抛光的硅框架(11a,11b)的上侧上的第一氮化硅薄膜(12a,12b) 在所述硅框架的下侧上的第二氮化硅薄膜(13); 连接到第二氮化硅薄膜(13)下侧的功率延长电缆的加热器/传感器(14a,14b); 和第二氮化硅薄膜的上侧的等温层(15),从而提高微量热计装置的精度。

    고온에서의 미세 열용량 측정 장치
    3.
    发明公开
    고온에서의 미세 열용량 측정 장치 有权
    高温热容量测量装置

    公开(公告)号:KR1020100067766A

    公开(公告)日:2010-06-22

    申请号:KR1020080126294

    申请日:2008-12-12

    CPC classification number: G01K17/006 G01K7/12 G01K19/00

    Abstract: PURPOSE: A fine heat capacity measure device at a high temperature is provided to maximize the measurement efficiency by enabling heat capacity measurement by replacing specimen repeatedly with a sensor correction only of one time. CONSTITUTION: A fine heat capacity measure device at a high temperature comprises a probe(100). The probe is made of stainless material and forms a conduit. The probe includes an electric connection terminal(110), a specimen support(130), and a vacuum port(120). The connection terminal is arranged at one end of the probe. The specimen support is arranged at the other end of the probe in order to support a micro calorimeter. The vacuum port is arranged at the end of one side of the conduit at a given interval from the electric connection terminal. The probe is inserted into a quartz tube. A cooling adapter which is able to cool with the water is arranged at both ends of the quartz tube.

    Abstract translation: 目的:提供高温度的精细热容量测量装置,通过仅使用一次传感器校正反复替换样品来实现热容量测量,从而使测量效率最大化。 构成:高温下的精细热容量测量装置包括探针(100)。 探头由不锈钢材料制成,形成导管。 探针包括电连接端子(110),样本支架(130)和真空端口(120)。 连接端子布置在探头的一端。 样品支架布置在探针的另一端,以支持微量热计。 真空端口从电连接端子以给定的间隔布置在导管的一侧的端部。 将探头插入石英管中。 能够用水冷却的冷却适配器布置在石英管的两端。

    고온에서의 미세 열용량 측정 장치
    4.
    发明授权
    고온에서의 미세 열용량 측정 장치 有权
    高温热容量测量装置

    公开(公告)号:KR101070998B1

    公开(公告)日:2011-10-07

    申请号:KR1020080126294

    申请日:2008-12-12

    Abstract: 본발명에의할경우, 기준온도가최대 30 K/min 의속도로위아래로선형적으로변화되는동안약 1 μJ/K의정확도를가지고상온에서 700 K 까지넓은온도범위에서열용량을측정할수 있다. 또한, 동일한마이크로칼로리미터를이용해단 한번의센서교정만으로여러개의시료를교체하면서반복적으로고온에서의열용량측정을가능하게하여효율성을증대시킬수 있다.

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