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公开(公告)号:KR102218421B1
公开(公告)日:2021-02-22
申请号:KR1020200110234
申请日:2020-08-31
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 본발명은초소형화및 고민감도를위한호형태스프링구조물을포함하는압저항형감지방식의마이크로폰설계방법에관한것이다. 멤브레인에스프링구조를추가하여, 종래방식처럼고민감도를위해키웠던멤브레인면적을소형화할수 있으며, 나아가호형태의스프링설계를통해직선형태스프링및 구불구불한형태의스프링대비같은효과를가지면서도면적을최소화할수 있다. 스프링구조물내부에감지소자로서우수한압저항특성을가진실리콘나노와이어등의압저항소자를포함하여고민감도를구현하고, 시뮬레이션을통한스프링구조물중 최대인장및 압축발생위치에압저항소자를각각배치해차동모드측정을가능케하여최대저항변화량확보및 신호대잡음비를확보할수 있다.
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公开(公告)号:KR102160678B1
公开(公告)日:2020-09-29
申请号:KR1020200058164
申请日:2020-05-15
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: H01L41/113 , H01L41/316 , H01L41/331 , H01L41/332 , B82B3/00 , B82Y40/00
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