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公开(公告)号：KR101725456B1
公开(公告)日：2017-04-10
申请号：KR1020160142326
申请日：2016-10-28
Applicant: 서울대학교산학협력단
IPC: G01N27/26
Abstract: 본발명의일 실시예는기본도금액을준비하고, 상기기본도금액에분자량을알고있는감속제를포함시키는단계(단계 1); 순환전압전류법(Cyclic Voltammetry)을통해, 상기기본도금액의감속제농도에따라 Q-Q값을도출하는단계(단계 2); 상기단계 1에서또 다른분자량의감속제를포함하는기본도금액을준비하고상기단계 2를수행하는단계(단계 3); 상기단계 3을복수회 반복하여, 감속제분자량에따른최대 Q-Q값을도시하는검정곡선을도출하는단계(단계 4); 및순환전압전류법을통해, 분자량을측정하고자하는감속제를포함하는측정도금액을상기단계 1의기본도금액에특정부피만큼순차적으로첨가함에따라최대 Q-Q값을도출하고, 상기검정곡선과비교하여상기측정도금액의감속제분자량을측정하는단계(단계 5);를포함하는, 도금액내 감속제의평균분자량측정방법을제공하며, 상기 Q-Q는순환전압전류법에서 (역방향주사(return sweep)에서도금량-정방향주사(forward sweep)에서도금량)이다.
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公开(公告)号：KR101711293B1
公开(公告)日：2017-03-03
申请号：KR1020150111186
申请日：2015-08-06
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 본발명은도금용액에포함된가속제농도의측정방법에관한것으로, 더욱구체적으로도금용액의 pH를조정한후 순환전압전류법을이용하여도금용액에포함된가속제의농도를측정하는단계; 베이스용액에도금용액을일정부피로첨가하여첨가되는도금용액의부피에따른도금용액과베이스용액의혼합용액내 전하량을순환전압전류법으로각각측정하고도금용액에포함된가속제의농도를토대로혼합용액내의가속제농도를계산하는단계; 및상기계산된혼합용액내의가속제농도와첨가되는부피에따른전하량변화량을그래프로나타내어기울기를계산한후 얻어진기울기값으로전환비를예측하는단계;를포함하는도금용액에포함된가속제농도의측정방법에관한것이다.
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公开(公告)号：KR1020160092588A
公开(公告)日：2016-08-05
申请号：KR1020150013011
申请日：2015-01-27
Applicant: 서울대학교산학협력단
CPC classification number: C25D3/38 , C25D7/0607 , C25D7/12
Abstract: 본발명은구리전해도금용전해질조성물및 이를이용한구리배선의형성방법에관한것으로, 더욱구체적으로탈이온수, 구리함유화합물, 유기산및 염화물을포함하는구리전해도금용전해질조성물, 및구리전해도금용전해질용액에기판에구리시드레이어가형성된작업전극과상대전극및 기준전극을침지시킨후 전류또는전압을인가하여작업전극에구리를전착시키는것을포함하는구리배선의형성방법에관한것이다.
Abstract translation: 铜电沉积用电解质组合物及其制造方法技术领域本发明涉及一种铜电沉积用电解质组合物及其制造方法，更具体地涉及铜电沉积用电解质组合物，其包括去离子水，含铜化合物，有机酸， 和氯化铜的制造方法以及铜布线的制造方法，其通过在浸渍工作电极，相对电极和参考电极之后施加电流或电压将铜电连接到工作电极，其中铜种子层形成在 用于铜电沉积的电解液的底物。
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公开(公告)号：KR1020170018188A
公开(公告)日：2017-02-16
申请号：KR1020150111186
申请日：2015-08-06
Applicant: 서울대학교산학협력단
Abstract: 본발명은도금용액에포함된가속제농도의측정방법에관한것으로, 더욱구체적으로도금용액의 pH를조정한후 순환전압전류법을이용하여도금용액에포함된가속제의농도를측정하는단계; 베이스용액에도금용액을일정부피로첨가하여첨가되는도금용액의부피에따른도금용액과베이스용액의혼합용액내 전하량을순환전압전류법으로각각측정하고도금용액에포함된가속제의농도를토대로혼합용액내의가속제농도를계산하는단계; 및상기계산된혼합용액내의가속제농도와첨가되는부피에따른전하량변화량을그래프로나타내어기울기를계산한후 얻어진기울기값으로전환비를예측하는단계;를포함하는도금용액에포함된가속제농도의측정방법에관한것이다.
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