레이저 홀로그래픽 리소그래피 장치 및 이를 이용한 점진적으로 크기가 변화하는 나노패턴의 제조방법
    1.
    发明授权
    레이저 홀로그래픽 리소그래피 장치 및 이를 이용한 점진적으로 크기가 변화하는 나노패턴의 제조방법 有权
    激光全息照相装置及使用其的尺寸梯度纳米图案的制造方法

    公开(公告)号:KR101527396B1

    公开(公告)日:2015-06-09

    申请号:KR1020140070028

    申请日:2014-06-10

    Abstract: 본발명은대면적에효율적으로나노스케일의패턴을형성할수 있는레이저홀로그래픽리소그래피장치및 이를이용한점진적으로크기가변화하는나노패턴의제조방법을위하여, 레이저광원, 상기레이저광원으로부터조사된레이저빔의노이즈를제거하고동시에빔 사이즈를확장시키는공간필터, 상기공간필터로부터확장된레이저빔이조사될수 있으며, 웨이퍼홀더및 반사거울이부가된, 웨이퍼스테이지및 상기웨이퍼홀더상에위치하며, 상기공간필터로부터바로입사되는제 1 평행광및 상기반사거울에의하여입사하는제 2 평행광이입사될수 있는, 가변밀도필터를포함하는, 레이저홀로그래픽리소그래피장치를제공한다.

    Abstract translation: 对于激光全息光刻设备和使用其的尺寸梯度纳米图案的制造方法,激光全息光刻设备包括激光束源,空间滤光器,其消除从激光束源发射的激光束的噪声并且扩展 光束尺寸同时可以从空间滤光片发射扩展的激光束并且具有晶片保持器和后反射镜的晶片台和位于晶片保持器上的可变浓度滤光器,并且透射发射的第一平行射线 从空间滤光器和从后视镜发射的第二平行光线。

    연마 조성물, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 화학적 기계적 연마 방법
    2.
    发明公开
    연마 조성물, 이의 제조 방법 및 이를 이용한 화학적 기계적 연마 방법 无效
    抛光组合物,其制造方法和使用其的化学机械抛光方法

    公开(公告)号:KR1020140000496A

    公开(公告)日:2014-01-03

    申请号:KR1020120067580

    申请日:2012-06-22

    CPC classification number: C09G1/02 B24B37/044

    Abstract: The present invention relates to a polishing composition for chemical and mechanical polishing, a method for fabricating the same, and a chemical and mechanical polishing method using the polishing composition. The polishing composition according to an embodiment of the present invention comprises: nanodiamond particles as water based polishing compositions for flattening metal compound thin films which include two or more components of different kinds of metal atoms; and poly(sodium 4-styrenesulfonate) for dispersion stabilizing the nanodiamond particles. In the polishing composition, the nanodiamond particles have non-hydrophilic surfaces and PSS effectively stabilizes the same in order to suppress coagulation of the nanodiamond particles and to maintain enhanced dispersibility so that the polishing composition can obtain enhanced polishing properties for the metal compound thin films using the nanodiamond particles which are nano-scale superhard abrasives.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于化学和机械抛光的抛光组合物,其制造方法和使用该抛光组合物的化学和机械抛光方法。 根据本发明实施方案的抛光组合物包括:纳米金刚石颗粒作为水性抛光组合物,用于使包含两种或更多种不同种类的金属原子的组分的金属化合物薄膜平坦化; 和用于分散稳定纳米金刚石颗粒的聚(4-苯乙烯磺酸钠)。 在抛光组合物中,纳米金刚石颗粒具有非亲水性表面,并且PSS有效地稳定其,以抑制纳米金刚石颗粒的凝结并保持增强的分散性,使得抛光组合物可以获得对于金属化合物薄膜的增强的抛光性能,所述金属化合物薄膜使用 纳米金刚石颗粒是纳米级超硬磨料。

    상변화 메모리 소자의 제조방법
    3.
    发明授权
    상변화 메모리 소자의 제조방법 有权
    相变存储器件的制造方法

    公开(公告)号:KR101341807B1

    公开(公告)日:2013-12-17

    申请号:KR1020120046276

    申请日:2012-05-02

    Abstract: 본발명은상변화메모리소자의제조방법에관한것으로, 보다구체적으로는하부전극상에콘택플러그가형성된반도체기판이준비되는기판준비단계; 상기콘택플러그를포함한상기반도체기판상에절연막을형성하는절연막형성단계; 상기콘택플러그및 절연막상에상변화막을형성하는상변화막형성단계; 상기상변화막의표면을질소로도핑하는질소도핑단계; 상기질소가도핑된상변화막의표면을연마하는연마단계; 및상기상변화막의상부에상부전극을형성하는전극형성단계;를포함한다. 이러한구성에의해, 본발명의상변화메모리소자의제조방법은 GST막의표면에질소를도핑한후, 화학적또는기계적연마공정을수행함으로써, 서로다른화합물로이루어진 GST막을용이하게평탄화하여 GST막의표면조도를향상시킬수 있는효과가있다.

    연마 조성물 및 이를 이용한 화학기계적 평탄화 방법
    4.
    发明公开
    연마 조성물 및 이를 이용한 화학기계적 평탄화 방법 无效
    抛光组合物及其化学机械平面化方法

    公开(公告)号:KR1020130081599A

    公开(公告)日:2013-07-17

    申请号:KR1020120002668

    申请日:2012-01-09

    Abstract: PURPOSE: An abrasive composition including multicomponent-based metal elements applied to a nonvolatile memory device and performing an chemical mechanical polishing process that is economic and reliable, and a chemical and mechanical planarization method of a substrate having a surface on which a multicomponent-based metal compound thin film is formed are provided. CONSTITUTION: An abrasive composition is for planarization of a metal compound thin film including metal elements of two or more different types. The abrasive composition has abrasive particles and nano-scale particles having a particle size smaller than that of the abrasive particles and a polyhedral structure including a bond of silicon and oxygen. The abrasive particles includes one of alumina (AlOx), ceria (CeOx), zirconia (ZrOx), titania (TiOx), germania (GeOx), a chromium oxide (CrOx), and a manganese oxide (MnOx) and silica (SiOx) or a combination thereof. A size of the abrasive particles has an average size of 10 nm to 150 nm.

    Abstract translation: 目的:一种包含应用于非易失性存储装置的多组分金属元素并进行经济可靠的化学机械抛光工艺的磨料组合物,以及具有表面的基材的化学和机械平面化方法,其中多组分基金属 提供复合薄膜。 构成:磨料组合物用于使包含两种或多种不同类型的金属元素的金属化合物薄膜平坦化。 研磨剂组合物具有研磨颗粒和粒径小于磨料颗粒的纳米尺度颗粒和包括硅和氧键的多面体结构。 研磨颗粒包括氧化铝(AlO x),二氧化铈(CeO x),氧化锆(ZrO x),二氧化钛(TiO x),氧化锗(GeO x),氧化铬(CrO x)和氧化锰(MnO x)和二氧化硅(SiO x) 或其组合。 研磨颗粒的尺寸具有10nm至150nm的平均尺寸。

    발신자 인증 시스템 및 그 방법
    6.
    发明公开
    발신자 인증 시스템 및 그 방법 失效
    用于认证呼叫者的系统及其方法

    公开(公告)号:KR1020110082366A

    公开(公告)日:2011-07-19

    申请号:KR1020100002321

    申请日:2010-01-11

    CPC classification number: H04L9/3226 H04L9/0869 H04L9/0891 H04L9/14 H04L9/30

    Abstract: PURPOSE: A system for authenticating a caller capable of preventing a malicious sender to illegally receive receiver information and a method thereof are provided to use an encoding method using a public key, thereby enabling a receiver to authenticate a caller. CONSTITUTION: An authentication key generating unit(11) generates an encoded authentication key for authenticating a caller. The authentication key generating unit transmits the encoded authentication key to the caller. An authentication unit(12) receives an authentication key decoded by the caller. The authentication unit authenticates the caller by comparing the encoded authentication key with the decoded authentication key. An authentication result transmitting unit(13) transmits a result of authentication to the receiver.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于认证能够防止恶意发送者非法接收接收机信息的呼叫者的系统及其方法,以使用使用公共密钥的编码方法,从而使接收者能够认证呼叫者。 构成:认证密钥生成单元(11)生成用于认证呼叫者的编码认证密钥。 认证密钥生成单元将编码的认证密钥发送给呼叫者。 认证单元(12)接收由呼叫者解码的认证密钥。 认证单元通过将编码的认证密钥与解码的认证密钥进行比较来认证呼叫者。 认证结果发送单元(13)向接收者发送认证结果。

    PPARGC1A 유전자 3’UTR 영역의 SNP를 포함하는 돼지의 근섬유타입 I 및 육질 증가 여부 확인용 DNA 표지인자
    8.
    发明公开
    PPARGC1A 유전자 3’UTR 영역의 SNP를 포함하는 돼지의 근섬유타입 I 및 육질 증가 여부 확인용 DNA 표지인자 有权
    用于检测增加PPARGC1A基因3'端的含有PORCINE MUSCLE纤维I型和含有SNP的肉质的DNA标记

    公开(公告)号:KR1020120065081A

    公开(公告)日:2012-06-20

    申请号:KR1020100126409

    申请日:2010-12-10

    CPC classification number: C12Q1/6827 C12Q1/6858 C12Q1/6876 C12Q2600/124

    Abstract: PURPOSE: A DNA marker for detecting pork meat quality containing SNP of a PPARGC1A gene 3'-UTR region is provided to improve pork meat quality. CONSTITUTION: A DNA marker for detecting pork meat quality contains continuous 15-800 sequences with 2782th base, C, in sequence number 1. The marker enhances muscle type I in pork muscle fibers and enhances pH concentration which is a character relating to meat quality. A primer for detecting SNP relating to meat quality in a 3'UTR region of pork PPARGC1A gene has an oligonucleotide of sequence numbers 2 and 3. A kit for SNP analysis contains a probe for complementarily binding the DNA marker.

    Abstract translation: 目的:提供一种用于检测含有PPARGC1A基因3'-UTR区域的SNP的猪肉质量的DNA标记,以改善猪肉质量。 构成:用于检测猪肉质量的DNA标记物包含连续15-800个序列,第2782个碱基C,序列号1.该标记增强猪肉肌肉纤维中的肌肉I型,并增强与肉质量有关的pH浓度。 用于检测猪肉PPARGC1A基因3'UTR区域中肉质量的SNP的引物具有序列号2和3的寡核苷酸。用于SNP分析的试剂盒含有用于互补结合DNA标记的探针。

    발신자 인증 시스템 및 그 방법
    9.
    发明授权
    발신자 인증 시스템 및 그 방법 失效
    用于认证呼叫者的系统及其方法

    公开(公告)号:KR101078373B1

    公开(公告)日:2011-10-31

    申请号:KR1020100002321

    申请日:2010-01-11

    Abstract: 본발명은발신자인증시스템에관한것으로, 보다상세하게는공개키를이용한암호화방안을응용하여수신자가직접발신자의신원을파악하여발신자를인증할수 있는시스템에관한것이다. 본명세서에서개시하는발신자인증시스템은발신자(caller)의공개키(public key)를이용하여상기발신자를인증하기위한암호화된인증용키를생성하고, 상기발신자에게상기암호화된인증용키를전송하는인증용키 생성부; 및상기발신자에의해복호화된인증용키를수신하고, 상기암호화된인증용키와상기복호화된인증용키를비교하여상기발신자에대한인증을수행하는인증수행부를포함하여본 발명의과제를해결한다. 본발명은수신자(callee) 자신이직접발신자의신원을파악할수 있기때문에발신자에대한인증을매우용이하게할 수있으며, 아울러인증의즉시성확보가가능하므로수신자자신의정보를보호함에보다만전을기할수 있다. 특히본 발명은최근개인정보의불법적유출을통한금융사기의가장큰 원인으로지목되는보이스피싱의발생가능성을근원적으로차단시킬수 있는장점을갖는다.

    소프트웨어 프로세스 개선을 위한 ROI 분석 장치 및 방법
    10.
    发明授权
    소프트웨어 프로세스 개선을 위한 ROI 분석 장치 및 방법 有权
    用于分析软件过程改进ROI的装置和方法

    公开(公告)号:KR101002025B1

    公开(公告)日:2010-12-16

    申请号:KR1020080128824

    申请日:2008-12-17

    Abstract: 본 발명은 소프트웨어 프로세스 개선을 위한 ROI 분석 기술에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 소프트웨어 프로세스 개선을 위한 ROI 분석 장치는, 코코모(COCOMO) 모델을 기반으로 현재 CMMI(Capability Maturity Model Integration) 레벨 및 목표 CMMI 레벨에서의 소프트웨어 개발 비용과, 소프트웨어 프로세스 개선 비용을 산출하는 코코모 비용 산출 모듈; 상기 소프트웨어 개발 비용과 관련하여 소프트웨어 프로세스 개선 이익을 산출하는 이익 산출 모듈; 및 상기 소프트웨어 프로세스 개선 이익 및 상기 소프트웨어 프로세스 개선 비용을 이용하여 ROI(Return On Investment)를 산출하는 ROI 산출 모듈을 포함하여, 소프트웨어 프로세스 개선을 위한 정보를 프로세스의 성숙도에 따라 정량적, 시각적으로 보여주고 소프트웨어 프로세스 개선 활동의 결과를 검증 및 평가할 수 있도록 하는 이점을 제공한다.

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