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公开(公告)号：KR101533935B1
公开(公告)日：2015-07-06
申请号：KR1020140120224
申请日：2014-09-11
Applicant: 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: G01N15/14 , G01N15/0255 , G01N21/17 , G01N21/47 , G01N21/59
Abstract: 본발명은입자측정장치에관한것으로서, 본발명에따른입자측정장치는진공상태로마련되는검사구역; 상기검사구역내부에피측정입자를공급하며, 소정의위치에서상기피측정입자가집속되도록하는입자공급부; 상기피측정입자의이동경로상에마련되며, 상기피측정입자측으로측정광을조사하여상기피측정입자가집속되는집속지점의위치를측정하는위치측정부; 상기검사구역내부소정의위치에서집속되며상기피측정입자의이동경로와교차되도록검사광을조사하며, 상기집속지점에검사광이집속되도록이동가능하게마련되는광원부; 상기검사구역을통과한검사광을이용하여상기피측정입자의정보를측정하는측정부;를포함하는것을특징으로한다. 이에의하여, 검사구역내의피측정입자가집속되는집속지점의위치를정확하게파악하여검사광의집속지점을제어가능하도록함으로써, 보다정밀하게입자의특성을측정할수 있는입자측정장치가제공된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于测量颗粒的装置。 根据本发明的测量颗粒的装置包括：设置在真空状态的检查区域; 颗粒供应单元，用于将目标颗粒供应到检查区域并将目标颗粒集中在规定位置; 位置测量单元，设置在目标颗粒的移动路径上，以朝向目标颗粒发射检测光，以测量目标颗粒集中的浓度点的位置; 光源单元，其发射聚焦在检查区域中的规定位置的检查光，并穿过目标颗粒的移动路径并移动以将检查光聚焦在浓度点上; 以及使用通过检查区域传播的检查光来测量关于目标颗粒的信息的测量单元。 因此，精确地测量目标颗粒集中在检查区域中的浓度点的位置，以控制检查光的聚焦点，从而可以更精确地测量目标颗粒的特性。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101611686B1
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：KR1020140039889
申请日：2014-04-03
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은슬릿이형성된공기역학렌즈에관한것으로서본 발명에따른슬릿이형성된공기역학렌즈는중공형상으로마련되며길이방향과교차되는슬릿이형성되고, 내부로유입된입자가집속되어유출되는몸체부; 상기슬릿에삽입되어몸체부내부공간을구획하며, 상기입자가집속되는집속공이형성되는집속부;를포함한다. 이에의하여, 몸체부상에형성된슬릿에집속부를삽입함으로써, 집속되는입자직경등의공정조건에따라장치전체의교체나재조립없이, 집속부의교체만으로집속되는입자의크기를제어할수 있는슬릿이형성된공기역학렌즈가제공된다.
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公开(公告)号：KR101533936B1
公开(公告)日：2015-07-06
申请号：KR1020140129864
申请日：2014-09-29
Applicant: 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: G01N15/14 , G01N15/1463 , G01N21/17
Abstract: 본발명은입자측정장치에관한것으로서, 본발명에따른입자측정장치는진공상태로마련되는검사구역; 내부에유입된피측정입자를집속된상태로상기검사구역내부로공급시키는입자공급부; 상기피측정입자의이동경로상에마련되며, 상기집속된피측정입자의이동시간을측정하여상기집속된피측정입자의형상을측정하는형상측정부; 상기검사구역내부의상기집속된피측정입자측으로상기집속된피측정입자의이동경로와교차되도록검사광을조사하는광원부; 상기검사구역을통과한검사광을이용하여상기피측정입자의정보를측정하는측정부;를포함하는것을특징으로한다. 이에의하여, 피측정입자가검사구역내부에공급되기전에입자공급부로부터유출되는집속된피측정입자의형상을측정함으로써, 보다정밀하게피측정입자의특성을측정할수 있는입자측정장치가제공된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于测量颗粒的装置。 根据本发明的测量颗粒的装置包括：设置在真空状态的检查区域; 颗粒供给单元，其以浓缩状态将被测量的被测量的颗粒供给到检查区域的内部; 形状测量单元，设置在要测量的颗粒的移动路径上，以测量被测量的浓缩颗粒的移动时间，以测量待测量的浓缩颗粒的形状; 光源单元，其在检查区域中发射指向要测量的浓缩颗粒的检测光，并穿过待测浓缩颗粒的移动路径; 以及测量单元，其使用通过检查区域的检查光来测量关于待测量的颗粒的信息。 因此，在将要测量的颗粒供给到检查区域之前，测量从颗粒供给单元排出的待测量的浓缩颗粒的形状，从而可以更精确地测量待测量的颗粒的特性。
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公开(公告)号：KR1020150115995A
公开(公告)日：2015-10-15
申请号：KR1020140039889
申请日：2014-04-03
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은슬릿이형성된공기역학렌즈에관한것으로서본 발명에따른슬릿이형성된공기역학렌즈는중공형상으로마련되며길이방향과교차되는슬릿이형성되고, 내부로유입된입자가집속되어유출되는몸체부; 상기슬릿에삽입되어몸체부내부공간을구획하며, 상기입자가집속되는집속공이형성되는집속부;를포함한다. 이에의하여, 몸체부상에형성된슬릿에집속부를삽입함으로써, 집속되는입자직경등의공정조건에따라장치전체의교체나재조립없이, 집속부의교체만으로집속되는입자의크기를제어할수 있는슬릿이형성된공기역학렌즈가제공된다.
Abstract translation: 本发明涉及具有狭缝的空气动力学透镜。 根据本发明的具有狭缝的空气动力学透镜包括：具有狭缝的主体单元，其设置成中空孔形状，并且沿纵向交叉，并且其中流过内部的颗粒被聚焦和发射; 以及聚焦单元，其插入在所述狭缝中，用于分割所述主体单元的内部空间，并且具有聚焦所述粒子的聚焦孔。 因此，通过将聚焦单元插入到主体单元上形成的狭缝上，具有狭缝的空气动力学透镜，其可以通过仅替换聚焦单元来控制聚焦颗粒的尺寸，而不需要更换整个装置或根据工艺条件重新组装 聚焦粒子的直径等。
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公开(公告)号：KR101580040B1
公开(公告)日：2015-12-24
申请号：KR1020140039883
申请日：2014-04-03
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은입자포집장치에관한것으로서, 본발명에따른입자포집장치는검사구역내에서광과입자의충돌에의한광소멸량을통하여입자의정보를측정하는장치에설치되는입자포집장치에있어서, 진공상태로마련되어상기검사구역에연결되며, 측면의일영역에개구부가형성되고, 상기광과충돌된상기입자가이동하는배출관; 횡단면이다각형으로마련되어각 측면에는상기입자가부착되는시편이각각장착되며, 회전가능하도록마련되되어느하나의시편만노출되어상기배출관내의입자를포집하는입자포집부;를포함하는것을특징으로한다. 이에의하여, 횡단면이다각형으로마련되는회전부의측면에복수개의시편이각각장착되어단일의공정에서여러번의입자측정이가능하며, 배출관에는개구부를개폐하는게이트밸브가설치되어배출관내부의진공상태를유지할수 있는입자포집장치가제공된다.
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公开(公告)号：KR1020150115993A
公开(公告)日：2015-10-15
申请号：KR1020140039883
申请日：2014-04-03
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은입자포집장치에관한것으로서, 본발명에따른입자포집장치는검사구역내에서광과입자의충돌에의한광소멸량을통하여입자의정보를측정하는장치에설치되는입자포집장치에있어서, 진공상태로마련되어상기검사구역에연결되며, 측면의일영역에개구부가형성되고, 상기광과충돌된상기입자가이동하는배출관; 횡단면이다각형으로마련되어각 측면에는상기입자가부착되는시편이각각장착되며, 회전가능하도록마련되되어느하나의시편만노출되어상기배출관내의입자를포집하는입자포집부;를포함하는것을특징으로한다. 이에의하여, 횡단면이다각형으로마련되는회전부의측면에복수개의시편이각각장착되어단일의공정에서여러번의입자측정이가능하며, 배출관에는개구부를개폐하는게이트밸브가설치되어배출관내부의진공상태를유지할수 있는입자포집장치가제공된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于收集颗粒的装置。 根据本发明的用于收集颗粒的装置安装在用于通过检查部分中的光与颗粒之间的碰撞的消光量来测量颗粒的信息的装置中。 用于收集颗粒的装置包括形成真空状态的放电管，连接到检查部分，并且在其侧面的一个区域上包括开口部分，并且其中与光线碰撞的颗粒移动;以及 具有多边形形状的横截面的颗粒收集单元旋转地安装其每个侧面上附着有颗粒的样本，并且只通过仅暴露一个样本来收集放电管中的颗粒。 因此，提供了一种用于收集能够保持放电管的真空状态的颗粒的装置，方法是通过安装在所述放电管中打开或关闭所述开口部分的闸阀，并且通过安装多个 在具有多边形形状的横截面的旋转单元的侧面上的样本。
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