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公开(公告)号：WO2022240220A1
公开(公告)日：2022-11-17
申请号：PCT/KR2022/006844
申请日：2022-05-12
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: C09G1/02 , C09K3/14 , C09K3/1409 , C09K3/1463
Abstract: 본 발명에 따른 수분산액에 포함된 무기 입자는 결정질과 무정형의 소립자의 응집으로 구성되며, 구형이고 매끄러운 표면을 나타낸다. 무기 입자의 구형 외관, 낮은 결정도 및 좁은 입도분포는 CMP 공정에서 스크래치 결함을 줄이는데 더욱 유리하다. 또한 무기물 입자 표면의 소립자들이 더 많은 활성 부위를 제공하여 연마율(removal rate)이 우수하므로 차세대 CMP 연마재로 유리하다. 또한 본 발명에 따른 수분산액은 암모늄염을 더 포함하며, 나이트라이드 막에 대한 가수분해를 촉진하여 나이트라이드 막질에 대한 연마율을 향상시키는 효과가 있다.
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公开(公告)号：WO2011043620A3
公开(公告)日：2011-04-14
申请号：PCT/KR2010/006894
申请日：2010-10-08
Abstract: 본원은 광섬유의 소정 영역의 코어에 탄소나노구조체 층이 형성되어 있는 광섬유, 상기 광섬유를 포함하는 광섬유 화학 센서, 및 상기 광섬유 코어에 탄소나노구조체 층을 형성하는 방법에 관한 것으로서, 탄소나노구조체 층 표면의 굴절률이 가스 및 입자 등의 흡착에 대하여 민감하게 반응하는 것을 이용함으로써 상기 광섬유의 일부 코어 영역에 탄소나노구조체 층이 형성된 광섬유를 기체, 액체, 및 입자 등에 대한 센서에 응용할 수 있다.
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公开(公告)号：WO2022240209A1
公开(公告)日：2022-11-17
申请号：PCT/KR2022/006798
申请日：2022-05-12
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본 발명에 따른 수분산액에 포함된 무기 입자는 결정질과 무정형의 소립자의 응집으로 구성되며, 구형이고 매끄러운 표면을 나타낸다. 무기 입자의 구형 외관, 낮은 결정도 및 좁은 입도분포는 CMP 공정에서 스크래치 결함을 줄이는데 더욱 유리하다. 또한 무기물 입자 표면의 소립자들이 더 많은 활성 부위를 제공하여 연마율(removal rate)이 우수하므로 차세대 CMP 연마재로 유리하다. 또한 본 발명에 따른 수분산액은 아미노산을 더 포함하며, 아미노산이 산화규소 웨이퍼 표면에 흡착되어 산화규소 웨이퍼와 무기입자 사이의 전기적 이끌림을 강화시킴으로써 연마율을 더욱 향상시키는 효과가 있다.
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公开(公告)号：WO2021145739A1
公开(公告)日：2021-07-22
申请号：PCT/KR2021/000633
申请日：2021-01-15
Applicant: 오씨아이 주식회사 , 성균관대학교산학협력단
IPC: C09K3/14 , H01L21/3105 , H01L21/762
Abstract: 본 발명은 연마제 및 이를 이용한 평탄화 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 흄드 실리카를 포함한다. 상기 흄드 실리카의 BET 비표면적은 200 m 2/g 내지 450 m 2/g이고, 연마제 내에 분산된 응집체의 형상은 길쭉한 형태 또는 둥근 형태를 가지며, 상기 응집체의 상기 둥근 형태의 비율은 50% 내지 90%이다.
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公开(公告)号：WO2021145738A1
公开(公告)日：2021-07-22
申请号：PCT/KR2021/000631
申请日：2021-01-15
Applicant: 오씨아이 주식회사 , 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 흄드 실리카로부터 단일 응집체를 분리 및 포집하는 방법, 및 포집된 상기 단일 응집체의 형상을 분류하는 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 흄드 실리카가 수분산된 슬러리를 준비하는 단계; 상기 슬러리를 에어로졸화 시키는 단계; 및 전기장을 이용해, 에어로졸에서 흄드 실리카의 단일 응집체를 포집하는 단계를 포함한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101569288B1
公开(公告)日：2016-07-21
申请号：KR1020140113049
申请日：2014-08-28
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: B05B5/03
CPC classification number: B05B5/032
Abstract: 본발명은에어로졸생성장치에관한것으로서, 내부에구비된저장공간에용액을저장하며, 상기용액으로부터에어로졸을생성하는에어로졸발생부, 상기에어로졸을이송하기위한캐리어가스가주입되는캐리어가스주입관및 상기에어로졸을배출되는에어로졸배출관을포함하는챔버; 및상기챔버내의상기용액에그라운드전압을인가하고, 상기에어로졸배출관에전압을인가하는전압인가부를포함하고, 상기에어로졸은전압이인가된상기에어로졸배출관을통과하면서분열될수 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种产生气溶胶的装置。 该装置包括：将溶液存储在内部提供的存储空间中并且包括从溶液产生气溶胶的气溶胶发生单元的腔室，为了运送气溶胶而向其中注入载气的载气注入管，以及气溶胶 放电管排放气溶胶; 以及电压施加单元，其对所述室中的溶液施加接地电压，并且当气溶胶通过施加有电压的气溶胶排放管时，气溶胶排出管的电压可以被分裂。 本发明提供了一种能够容易地控制气溶胶产生量的气溶胶产生装置。
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公开(公告)号：KR1020160086024A
公开(公告)日：2016-07-19
申请号：KR1020150003112
申请日：2015-01-09
Applicant: 삼성전자주식회사 , 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: G03F1/62 , C01B32/182 , C01B32/194 , C01B32/20 , C23C16/01 , C23C16/26 , C23C16/56 , C23F1/00 , C23F1/02 , C23F1/14 , G03F1/64
Abstract: 펠리클의제조방법에있어서, 기판의일 면상에, 상기기판을촉매로사용하는화학반응을이용하여막을형성한다. 상기기판의다른일 면상에, 보호막패턴을형성한다. 상기기판을식각액에침지시켜, 상기보호막패턴으로부터노출된기판부분을제거하여프레임을형성한다. 상기식각액을제1 용매로교환한다.
Abstract translation: 本发明的目的是提供具有改进的机械特性的防护薄膜组件。 在防护薄膜组件的制造方法中，通过使用该基板作为催化剂的化学反应，在基板的一个表面上形成膜。 在基板的另一个表面上形成保护膜图形。 将衬底浸入蚀刻液中以除去从保护膜图案露出的衬底的一部分，从而形成框架。 蚀刻液与第一溶剂交换。
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公开(公告)号：KR101611686B1
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：KR1020140039889
申请日：2014-04-03
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은슬릿이형성된공기역학렌즈에관한것으로서본 발명에따른슬릿이형성된공기역학렌즈는중공형상으로마련되며길이방향과교차되는슬릿이형성되고, 내부로유입된입자가집속되어유출되는몸체부; 상기슬릿에삽입되어몸체부내부공간을구획하며, 상기입자가집속되는집속공이형성되는집속부;를포함한다. 이에의하여, 몸체부상에형성된슬릿에집속부를삽입함으로써, 집속되는입자직경등의공정조건에따라장치전체의교체나재조립없이, 집속부의교체만으로집속되는입자의크기를제어할수 있는슬릿이형성된공기역학렌즈가제공된다.
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公开(公告)号：KR1020140127626A
公开(公告)日：2014-11-04
申请号：KR1020130046203
申请日：2013-04-25
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본원은 폴리스티렌/실리카 복합체를 포함하는 연마재, 및 상기 연마재의 제조 방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及含有聚苯乙烯/二氧化硅复合材料的抛光剂及其制造方法。 本发明涉及一种包含聚苯乙烯/二氧化硅复合材料的抛光剂，该聚苯乙烯/二氧化硅复合材料通过嵌入聚苯乙烯微球形成的二氧化硅纳米颗粒具有覆盆子形状。 制造抛光剂的方法包括以下步骤：将二氧化硅晶种嵌入聚苯乙烯微球中; 用嵌入的二氧化硅晶种添加二氧化硅前体，然后在醇的水溶液中水解以生长二氧化硅以形成具有覆盆子形状的聚苯乙烯/二氧化硅复合物。
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公开(公告)号：KR101435022B1
公开(公告)日：2014-08-28
申请号：KR1020130039078
申请日：2013-04-10
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: The present invention relates to a particle generating device. According to the present invention, the particle generating device includes a container including a circulation hole for circulating a solvent; a solution storage part storing a solution in which particles are dissolved and which is separable from the container; an atomizing part prepared on an outer surface of the container, and atomizing gas flowing from the outside and the solution supplied from the solution storage part into the container; a connection tube connecting the solution storage part and the atomizing part to each other to supply the solution to the atomizing part; a discharge tube connecting the inside and the outside of the container to each other and discharging particles atomized from the atomizing part from the inside of the container to the outside of the container; and a circulating tube circulating the solvent in the solution storage part by being detachably combined to the circulation hole. Therefore, provided is the particle generating device efficiently and quickly generating the particles even when the particles are generated by using other solutions.
Abstract translation: 本发明涉及一种粒子产生装置。 根据本发明，颗粒发生装置包括：容器，其包括用于使溶剂循环的循环孔; 储存溶解有溶解有可溶于容器的溶液的溶液储存部， 在容器的外表面上制备的雾化部分和从外部流出的雾化气体和从溶液储存部分供给到容器中的溶液; 将溶液储存部和雾化部彼此连接以将溶液供给到雾化部的连接管; 将容器的内部和外部彼此连接并将从雾化部分雾化的颗粒从容器的内部排出到容器的外部的放电管; 以及循环管，通过可拆卸地组合到循环孔中使溶剂在溶液储存部分中循环。 因此，即使在使用其他溶液生成粒子的情况下，粒子产生装置也能有效且快速地生成粒子。
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