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公开(公告)号：KR1020150115995A
公开(公告)日：2015-10-15
申请号：KR1020140039889
申请日：2014-04-03
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은슬릿이형성된공기역학렌즈에관한것으로서본 발명에따른슬릿이형성된공기역학렌즈는중공형상으로마련되며길이방향과교차되는슬릿이형성되고, 내부로유입된입자가집속되어유출되는몸체부; 상기슬릿에삽입되어몸체부내부공간을구획하며, 상기입자가집속되는집속공이형성되는집속부;를포함한다. 이에의하여, 몸체부상에형성된슬릿에집속부를삽입함으로써, 집속되는입자직경등의공정조건에따라장치전체의교체나재조립없이, 집속부의교체만으로집속되는입자의크기를제어할수 있는슬릿이형성된공기역학렌즈가제공된다.
Abstract translation: 本发明涉及具有狭缝的空气动力学透镜。 根据本发明的具有狭缝的空气动力学透镜包括：具有狭缝的主体单元，其设置成中空孔形状，并且沿纵向交叉，并且其中流过内部的颗粒被聚焦和发射; 以及聚焦单元，其插入在所述狭缝中，用于分割所述主体单元的内部空间，并且具有聚焦所述粒子的聚焦孔。 因此，通过将聚焦单元插入到主体单元上形成的狭缝上，具有狭缝的空气动力学透镜，其可以通过仅替换聚焦单元来控制聚焦颗粒的尺寸，而不需要更换整个装置或根据工艺条件重新组装 聚焦粒子的直径等。
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公开(公告)号：KR1020120095737A
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：KR1020110015238
申请日：2011-02-21
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A real-time particle measuring method through a signal analysis is provided to obtain the precision and reliability of a measurement and to obtain a real-time particle measurement through a signal analysis. CONSTITUTION: A real-time particle measuring method through a signal analysis is as follows. A particle size distribution is divided into a plurality of channel sections(S110). Ranges of a loss can be generated when arbitrary particles being included in each channel section passes through a position of an inspection bean having a largest light-intensity are predicted per each channel section, thereby providing a prediction loss range(S120). A frequency distribution of light-intensity losses generated by particles of a specific size is measured per each channel section and a rate in which the frequency distribution of the measured losses can be within each prediction loss range is obtained so that reference data is obtained(S130). Particles to be actually measured are injected into a chamber and compares an actual light-intensity lose with the reference data, thereby information of a particle to be measured(S140).
Abstract translation: 目的：提供通过信号分析的实时粒子测量方法，以获得测量的精度和可靠性，并通过信号分析获得实时粒子测量。 构成：通过信号分析的实时粒子测量方法如下。 粒度分布被分成多个通道部分（S110）。 通过每个通道部分预测每个通道部分中包含的任意粒子通过具有最大光强度的检查豆的位置，可以产生损失范围，从而提供预测损失范围（S120）。 每个通道部分测量由特定尺寸的颗粒产生的光强度损失的频率分布，并且获得测量的损耗的频率分布可以在每个预测损耗范围内的速率，从而获得参考数据（S130 ）。 将实际测量的颗粒注入室中，并将实际光强损失与参考数据进行比较，从而得到要测量的颗粒的信息（S140）。
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公开(公告)号：KR101171107B1
公开(公告)日：2012-08-03
申请号：KR1020110014749
申请日：2011-02-18
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A high efficiency real-time particle measurement sensor is provided to measure the size and number of particles passing through a plurality of domains as light generated from a single light source is divided into a plurality of lights and radiated into an inspection area. CONSTITUTION: A high efficiency real-time particle measurement sensor comprises an inspection area(110), a light source(120), a light converting unit(130), a light collecting unit(140), and a light receiving unit(150). Sample particles are irradiated into the inspection area. The light source generates basic light. The light converting unit converts the basic light into straight light. The light collecting unit divides the straight light into a plurality of inspection lights to be collected in the inspection area. The light receiving unit receives the inspection lights which passed through the inspection area.
Abstract translation: 目的：提供一种高效率的实时粒子测量传感器，用于测量通过多个畴的粒子的大小和数量，因为从单个光源产生的光被分成多个光并辐射到检查区域。 构成：高效率实时粒子测量传感器包括检查区域（110），光源（120），光转换单元（130），光收集单元（140）和光接收单元（150） 。 将样品颗粒照射到检查区域。 光源产生基本光。 光转换单元将基本光转换成直光。 光收集单元将直线光分成多个检查灯，以便在检查区域中进行采集。 光接收单元接收通过检查区域的检查灯。
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公开(公告)号：KR101533936B1
公开(公告)日：2015-07-06
申请号：KR1020140129864
申请日：2014-09-29
Applicant: 성균관대학교산학협력단
CPC classification number: G01N15/14 , G01N15/1463 , G01N21/17
Abstract: 본발명은입자측정장치에관한것으로서, 본발명에따른입자측정장치는진공상태로마련되는검사구역; 내부에유입된피측정입자를집속된상태로상기검사구역내부로공급시키는입자공급부; 상기피측정입자의이동경로상에마련되며, 상기집속된피측정입자의이동시간을측정하여상기집속된피측정입자의형상을측정하는형상측정부; 상기검사구역내부의상기집속된피측정입자측으로상기집속된피측정입자의이동경로와교차되도록검사광을조사하는광원부; 상기검사구역을통과한검사광을이용하여상기피측정입자의정보를측정하는측정부;를포함하는것을특징으로한다. 이에의하여, 피측정입자가검사구역내부에공급되기전에입자공급부로부터유출되는집속된피측정입자의형상을측정함으로써, 보다정밀하게피측정입자의특성을측정할수 있는입자측정장치가제공된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于测量颗粒的装置。 根据本发明的测量颗粒的装置包括：设置在真空状态的检查区域; 颗粒供给单元，其以浓缩状态将被测量的被测量的颗粒供给到检查区域的内部; 形状测量单元，设置在要测量的颗粒的移动路径上，以测量被测量的浓缩颗粒的移动时间，以测量待测量的浓缩颗粒的形状; 光源单元，其在检查区域中发射指向要测量的浓缩颗粒的检测光，并穿过待测浓缩颗粒的移动路径; 以及测量单元，其使用通过检查区域的检查光来测量关于待测量的颗粒的信息。 因此，在将要测量的颗粒供给到检查区域之前，测量从颗粒供给单元排出的待测量的浓缩颗粒的形状，从而可以更精确地测量待测量的颗粒的特性。
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公开(公告)号：KR101268152B1
公开(公告)日：2013-05-27
申请号：KR1020110016665
申请日：2011-02-24
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은광안내부를구비하는입자측정센서에관한것으로서, 본발명에따른광안내부를구비하는입자측정센서는피측정입자가입사되는검사구역; 상기검사구역의외부에배치되되, 기본광을발생시키는광발생부, 상기기본광을직선광으로변환하는광변환부, 상기직선광을상기검사구역내에서집속되는검사광으로변환하는광집속부를구비하는광원부; 상기검사구역을통과한검사광을이용하여상기피측정입자의정보를측정하는측정부; 상기검사구역의외측으로향하는상기검사광을상기검사구역의내측으로반사시킴으로써, 상기검사광의광경로를상기측정부측으로유도하는광안내부;를포함하고, 상기광안내부는복수개가상기검사구역의외면에마련되되, 상기검사광의광경로의길이가증가되도록적어도어느하나는다른하나측으로상기검사광을반사키는것을특징으로하는광안내부를구비하는입자측정센서가제공된다.이에의하여, 단일의광원부를이용하여, 광범위한지점을통과하는피측정입자에대한정보를측정함으로써측정효율이향상될수 있는광안내부를구비하는입자측정센서가제공된다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101225296B1
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：KR1020110015238
申请日：2011-02-21
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 신호 분석을 통한 실시간 입자 측정 방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 신호 분석을 통한 실시간 입자 측정 방법은 챔버 내로 검사광을 주사하는 광원부, 상기 광원부로부터 상기 챔버를 통과한 검사광을 수광하여 상기 챔버내의 입자에 의하여 손실되는 광강도(intensity)의 손실량을 측정하는 광측정부로 구성되는 입자 측정 센서를 이용하는 방법으로서, 입자의 크기 분포를 복수개의 채널구간(x
1 , x
2 , x
3 ,..., x
b )으로 구획하는 채널구간 구획단계; 상기의 각 채널구간 내에 속하는 임의의 입자가 최대값의 광강도를 가지는 검사광의 위치를 통과하는 경우에 발생할 수 있는 광강도의 손실량 범위를 상기 각 채널구간 별로 예측하여 예측 손실량 범위(y
1 , y
2 , y
3 ,..., y
a )를 마련하는 예측 손실량 범위 마련단계; 상기 채널구간 내의 특정 크기의 입자에 의하여 발생하는 광강도의 손실량의 빈도 분포를 상기 채널구간 별로 측정하고, 상기 측정된 손실량의 빈도 분포가 상기 각각의 예측 손실량 범위 내에 포함되는 확률을 획득하여 기준 데이터를 마련하는 기준 데이터 획득단계; 실제 측정하고자 하는 피측정 입자를 상기 챔버에 주입하여, 획득되는 실제 광강도 손실량을 상기 기준 데이터와 비교함으로써, 상기 피측정 입자의 정보를 획득하는 정보 획득 단계;를 포함하되, 상기 기준 데이터 획득 단계는, 상기 채널구간의 범위 내에서 특정 크기의 기준입자를 상기 채널구간 별로 각각 선정하는 기준입자 선정단계; 상기 기준입자를 상기 챔버 내에 투입하여 발생하는 광강도의 손실량의 빈도 분포를 측정하고, 측정되는 광강도의 손실량의 빈도 분포가 상기 각 예측 손실량 범위에 포함되는 비율을 상기 각 채널구간 별로 획득하는 기준 분포 획득 단계; 상기 채널구간을 행축(x
1 , x
2 , x
3 ,..., x
b )으로 하고, 상기 비교 손실량 데이터를 열축(y
1 , y
2 , y
3 ,..., y
a )으로 하여, 각 채널구간의 기준입자가 투입되어 발생하는 손실량의 확률 분포를 하기 의 기준행렬(p
11 , p
12 ,...,p
ab )을 획득하는 기준행렬 획득 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 오염 입자가 입사되는 위치에 상관없이 입자의 갯수 및 크기를 측정할 수 있는 신호 분석을 통한 실시간 입자 측정 방법이 제공된다.-
公开(公告)号：KR1020120097223A
公开(公告)日：2012-09-03
申请号：KR1020110016665
申请日：2011-02-24
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: PURPOSE: A device for measuring a particle having a light guide unit is provided to extending an area where a particle to be measured can be measured by extending the length of an optical path of inspecting lights and to improve the efficiency for measurement. CONSTITUTION: A device for measuring a particle having a light guide unit comprises an inspecting area(120), a light source unit(130), a measuring unit(150), and a light guide unit(160). A particle to be measured is incident to the inspecting area. The measuring unit measures information of the particle to be measured by using inspecting lights penetrated through the inspecting area. The light guide unit reflects the inspecting lights headed to an outer side of the inspecting area to an inner side of the inspecting area, thereby inducing an optical path of the inspecting lights to the measurement unit.
Abstract translation: 目的：提供一种用于测量具有导光单元的颗粒的装置，通过延长检查光的光路的长度来扩展可测量待测颗粒的区域，并提高测量的效率。 构成：用于测量具有导光单元的颗粒的装置包括检查区域（120），光源单元（130），测量单元（150）和导光单元（160）。 要测量的颗粒入射到检查区域。 测量单元使用穿过检查区域的检查灯来测量要测量的颗粒的信息。 导光单元将检查区域的外侧的检查光反射到检查区域的内侧，从而将检查光的光路引导到测量单元。
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公开(公告)号：KR101580040B1
公开(公告)日：2015-12-24
申请号：KR1020140039883
申请日：2014-04-03
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은입자포집장치에관한것으로서, 본발명에따른입자포집장치는검사구역내에서광과입자의충돌에의한광소멸량을통하여입자의정보를측정하는장치에설치되는입자포집장치에있어서, 진공상태로마련되어상기검사구역에연결되며, 측면의일영역에개구부가형성되고, 상기광과충돌된상기입자가이동하는배출관; 횡단면이다각형으로마련되어각 측면에는상기입자가부착되는시편이각각장착되며, 회전가능하도록마련되되어느하나의시편만노출되어상기배출관내의입자를포집하는입자포집부;를포함하는것을특징으로한다. 이에의하여, 횡단면이다각형으로마련되는회전부의측면에복수개의시편이각각장착되어단일의공정에서여러번의입자측정이가능하며, 배출관에는개구부를개폐하는게이트밸브가설치되어배출관내부의진공상태를유지할수 있는입자포집장치가제공된다.
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公开(公告)号：KR1020150115993A
公开(公告)日：2015-10-15
申请号：KR1020140039883
申请日：2014-04-03
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은입자포집장치에관한것으로서, 본발명에따른입자포집장치는검사구역내에서광과입자의충돌에의한광소멸량을통하여입자의정보를측정하는장치에설치되는입자포집장치에있어서, 진공상태로마련되어상기검사구역에연결되며, 측면의일영역에개구부가형성되고, 상기광과충돌된상기입자가이동하는배출관; 횡단면이다각형으로마련되어각 측면에는상기입자가부착되는시편이각각장착되며, 회전가능하도록마련되되어느하나의시편만노출되어상기배출관내의입자를포집하는입자포집부;를포함하는것을특징으로한다. 이에의하여, 횡단면이다각형으로마련되는회전부의측면에복수개의시편이각각장착되어단일의공정에서여러번의입자측정이가능하며, 배출관에는개구부를개폐하는게이트밸브가설치되어배출관내부의진공상태를유지할수 있는입자포집장치가제공된다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于收集颗粒的装置。 根据本发明的用于收集颗粒的装置安装在用于通过检查部分中的光与颗粒之间的碰撞的消光量来测量颗粒的信息的装置中。 用于收集颗粒的装置包括形成真空状态的放电管，连接到检查部分，并且在其侧面的一个区域上包括开口部分，并且其中与光线碰撞的颗粒移动;以及 具有多边形形状的横截面的颗粒收集单元旋转地安装其每个侧面上附着有颗粒的样本，并且只通过仅暴露一个样本来收集放电管中的颗粒。 因此，提供了一种用于收集能够保持放电管的真空状态的颗粒的装置，方法是通过安装在所述放电管中打开或关闭所述开口部分的闸阀，并且通过安装多个 在具有多边形形状的横截面的旋转单元的侧面上的样本。
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公开(公告)号：KR101611686B1
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：KR1020140039889
申请日：2014-04-03
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은슬릿이형성된공기역학렌즈에관한것으로서본 발명에따른슬릿이형성된공기역학렌즈는중공형상으로마련되며길이방향과교차되는슬릿이형성되고, 내부로유입된입자가집속되어유출되는몸체부; 상기슬릿에삽입되어몸체부내부공간을구획하며, 상기입자가집속되는집속공이형성되는집속부;를포함한다. 이에의하여, 몸체부상에형성된슬릿에집속부를삽입함으로써, 집속되는입자직경등의공정조건에따라장치전체의교체나재조립없이, 집속부의교체만으로집속되는입자의크기를제어할수 있는슬릿이형성된공기역학렌즈가제공된다.
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