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公开(公告)号:WO2021145739A1
公开(公告)日:2021-07-22
申请号:PCT/KR2021/000633
申请日:2021-01-15
Applicant: 오씨아이 주식회사 , 성균관대학교산학협력단
IPC: C09K3/14 , H01L21/3105 , H01L21/762
Abstract: 본 발명은 연마제 및 이를 이용한 평탄화 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 흄드 실리카를 포함한다. 상기 흄드 실리카의 BET 비표면적은 200 m 2/g 내지 450 m 2/g이고, 연마제 내에 분산된 응집체의 형상은 길쭉한 형태 또는 둥근 형태를 가지며, 상기 응집체의 상기 둥근 형태의 비율은 50% 내지 90%이다.
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公开(公告)号:WO2021145738A1
公开(公告)日:2021-07-22
申请号:PCT/KR2021/000631
申请日:2021-01-15
Applicant: 오씨아이 주식회사 , 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본 발명은 흄드 실리카로부터 단일 응집체를 분리 및 포집하는 방법, 및 포집된 상기 단일 응집체의 형상을 분류하는 방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 흄드 실리카가 수분산된 슬러리를 준비하는 단계; 상기 슬러리를 에어로졸화 시키는 단계; 및 전기장을 이용해, 에어로졸에서 흄드 실리카의 단일 응집체를 포집하는 단계를 포함한다.
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公开(公告)号:KR102221010B1
公开(公告)日:2021-02-26
申请号:KR1020190172091
申请日:2019-12-20
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은초음파접합신뢰성평가장치및 방법에관한것으로서, 본발명에따른초음파접합신뢰성평가장치는상하로적층되는하부피접합재와상부피접합재의하부를지지하는지그; 상기상부피접합재의상측에배치되고, 하부피접합재와상부피접합재의접합부위에초음파접합을위한진동을제공하는초음파혼; 상기초음파혼의상측에서가압력을제공하여상기접합부위에미리설정된가압하중을제공하는가압부; 및상기상부피접합재와하부피접합재의초음파접합전,후의두께변화를측정하는측정부;를포함하는것을특징으로한다.
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公开(公告)号:KR20180058341A
公开(公告)日:2018-06-01
申请号:KR20160157156
申请日:2016-11-24
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명의일실시예인주석-다층탄소나노튜브복합체의제조방법은다층탄소나노튜브(multi-walled carbon nanotube, MWNT)를산처리하는단계, 상기다층탄소나노튜브를주석(Sn) 전구체를포함하는용액에서첨가하여, 상기다층탄소나노튜브표면에주석입자를접합시킨복합체를제조하는제1환원단계, 상기복합체를약산으로처리하는제2환원단계, 및상기복합체를강환원제로처리하는제3환원단계를포함한다.
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