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公开(公告)号：KR101465363B1
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：KR1020130112657
申请日：2013-09-23
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: H01J49/04
Abstract: 본 발명은 공기 역학 렌즈에 관한 것으로서 본 발명에 따른 공기 역학 렌즈는 기체가 유입되는 유입부가 형성되고, 상기 기체 상에 부유하는 입자가 집속되어 유출되는 유출부가 형성되며, 중공 형상으로 마련되는 몸체부; 상기 입자의 크기에 관계없이 상기 유출부를 통하여 집속된 입자가 유출되도록, 가변적인 직경을 가지며 상기 입자가 집속되는 집속공이 형성되고, 복수 개로 마련되어 상기 몸체부 내부를 서로 다른 유동을 갖는 영역으로 구획하되 이웃하는 영역에서의 상기 기체의 유동에 영향을 미치지 않도록 배치되는 집속부;를 포함하며, 상기 몸체부 내부에 외부공기 유입이 방지되도록, 상기 몸체부 외부에서 상기 집속부를 회동시켜 상기 집속공이 가변적인 직경을 갖는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 가변적인 직경을 갖는 집속공이 형성되는 집속부가 설치되어, 장치의 교체나 재조립 없이 다양한 공정조건에서 기체 상에 부유하는 입자를 효율적으로 집속할 수 있는 공기 역학 렌즈가 제공된다.Abstract translation: 本发明涉及一种空气动力学透镜。 根据本发明，空气动力学透镜包括主体部分和聚焦部分。 主体部分具有气体流入的入口部分; 具有出口部分，通过该出口部分漂浮在气体中的颗粒被聚焦和排出; 并且形成为中空形状。 聚焦部分配备有聚焦孔，聚焦颗粒并且具有可变直径以便排出聚焦颗粒通过出口部分，而与颗粒的尺寸无关; 制备多个数字，并将身体部分的内部分割成具有不同流动的区域; 并且以不影响相邻区域的气体流动的方式布置。 为了防止外部空气在主体部分流动，可以通过从聚焦部分从主体部分的外部旋转来改变聚焦孔的直径。 结果，空气动力学透镜配备有具有可变直径的聚焦孔的聚焦部分，从而在不更换或重新组装透镜装置的情况下有效地聚焦在各种工艺条件下漂浮在气体中的颗粒。
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公开(公告)号：KR1020160134983A
公开(公告)日：2016-11-24
申请号：KR1020150067360
申请日：2015-05-14
Applicant: 삼성전기주식회사 , 성균관대학교산학협력단
Abstract: 본발명은입자포집장치에관한것으로, 본발명의실시예를따르는입자포집장치는, 내부에챔버를형성하는챔버바디, 상기챔버바디의일 면에배치되어상기챔버바디의외부및 내부를연결하는유입구, 상기챔버바디의일 면에배치되어상기챔버바디의외부및 내부를연결하고상기유입구와이격하여배치된배출구, 상기챔버바디의일 면에배치되어상기챔버바디의외부및 내부를연결하고상기유입구및 배출구와이격하여배치된삽입구및 상기챔버바디의내부에배치되고일면에포집판을포함하는포집대;를포함하는챔버모듈을포함하고, 상기포집대는, 상기삽입구를통하여상기챔버바디의외부에서부터상기챔버바디의내부로들어가고, 상기삽입구를통하여상기챔버바디의내부에서부터상기챔버바디의외부로나온다.
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