公开(公告)号：KR1020130112619A

公开(公告)日：2013-10-14

申请号：KR1020120035140

申请日：2012-04-04

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 최후미 ,  김동빈 ,  김태성 ,  강상우 ,  신용현 ,  윤석래 ,  이규찬

IPC: G01N15/14 ,  G01N21/47

Abstract: PURPOSE: An apparatus and a method for measuring particles are provided to be applied to various processes because three chambers are separated from or coupled to each other according to process pressures or the electric charge occurrence of the introduced particles. CONSTITUTION: An apparatus for measuring particles comprises a particle measuring part (1000), a table (1100), a lower support member (2000), and a moving member (3000). The particle measuring part measures a gas particle using separable three chambers. The table fixes the particle measuring part. The height-adjustable lower support member supports the lower part of the table. The height-adjustable moving member moves the particle measuring part and the table.

Abstract translation: 目的：提供一种用于测量颗粒的装置和方法，用于各种工艺，因为根据工艺压力或引入颗粒的电荷发生，三个室彼此分离或相互耦合。 构成：用于测量颗粒的装置包括颗粒测量部件（1000），工作台（1100），下支撑部件（2000）和移动部件（3000）。 颗粒测量部分使用可分离的三个室来测量气体颗粒。 该表修复了粒子测量部分。 高度可调的下支撑构件支撑桌子的下部。 高度可调的移动构件移动颗粒测量部分和工作台。

公开(公告)号：KR101465363B1

公开(公告)日：2014-11-26

申请号：KR1020130112657

申请日：2013-09-23

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 김태성 ,  김명준 ,  김영석 ,  김동빈 ,  강상우 ,  신용현

IPC: H01J49/04

Abstract: 본 발명은 공기 역학 렌즈에 관한 것으로서 본 발명에 따른 공기 역학 렌즈는 기체가 유입되는 유입부가 형성되고, 상기 기체 상에 부유하는 입자가 집속되어 유출되는 유출부가 형성되며, 중공 형상으로 마련되는 몸체부; 상기 입자의 크기에 관계없이 상기 유출부를 통하여 집속된 입자가 유출되도록, 가변적인 직경을 가지며 상기 입자가 집속되는 집속공이 형성되고, 복수 개로 마련되어 상기 몸체부 내부를 서로 다른 유동을 갖는 영역으로 구획하되 이웃하는 영역에서의 상기 기체의 유동에 영향을 미치지 않도록 배치되는 집속부;를 포함하며, 상기 몸체부 내부에 외부공기 유입이 방지되도록, 상기 몸체부 외부에서 상기 집속부를 회동시켜 상기 집속공이 가변적인 직경을 갖는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 가변적인 직경을 갖는 집속공이 형성되는 집속부가 설치되어, 장치의 교체나 재조립 없이 다양한 공정조건에서 기체 상에 부유하는 입자를 효율적으로 집속할 수 있는 공기 역학 렌즈가 제공된다.

Abstract translation: 本发明涉及一种空气动力学透镜。 根据本发明，空气动力学透镜包括主体部分和聚焦部分。 主体部分具有气体流入的入口部分; 具有出口部分，通过该出口部分漂浮在气体中的颗粒被聚焦和排出; 并且形成为中空形状。 聚焦部分配备有聚焦孔，聚焦颗粒并且具有可变直径以便排出聚焦颗粒通过出口部分，而与颗粒的尺寸无关; 制备多个数字，并将身体部分的内部分割成具有不同流动的区域; 并且以不影响相邻区域的气体流动的方式布置。 为了防止外部空气在主体部分流动，可以通过从聚焦部分从主体部分的外部旋转来改变聚焦孔的直径。 结果，空气动力学透镜配备有具有可变直径的聚焦孔的聚焦部分，从而在不更换或重新组装透镜装置的情况下有效地聚焦在各种工艺条件下漂浮在气体中的颗粒。

公开(公告)号：KR101345781B1

公开(公告)日：2013-12-27

申请号：KR1020120035140

申请日：2012-04-04

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 최후미 ,  김동빈 ,  김태성 ,  강상우 ,  신용현 ,  윤석래 ,  이규찬

IPC: G01N15/14 ,  G01N21/47

Abstract: 본발명은입자측정장치및 방법에관한것으로, 입자측정장치는분리가능한 3개의챔버를이용하여기체의입자를측정하는입자측정부, 상기입자측정부를고정시키는테이블, 상기입자측정부와상기테이블을지지하며높낮이조절이가능한지지부재를포함하되, 상기입자측정부는상기지지부재에탈착이가능하며, 상기입자측정부는공정환경의압력이설정된기준압력이상인지여부, 유입되는입자가대전된입자인지여부에따라상기 3개의챔버를선택적으로결합또는분리하여상기입자를측정할수 있다.