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公开(公告)号：KR101767607B1
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：KR1020150149985
申请日：2015-10-28
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: G01N27/414 , B82B3/00 , B82Y15/00 , B82Y30/00
Abstract: 전계효과트랜지스터형바이오센서어레이제조방법이개시된다. 전계효과트랜지스터형바이오센서어레이제조방법은기판상에 2차원나노재료로이루어진채널층을배치하는단계; 상기채널층상에희생층을배치하는단계; 상기희생층상에제1 포토레지스트를배치하고상기제1 포토레지스트를노광하여제1 패턴을형성하는단계; 패터닝된상기제1 포토레지스트를마스크로이용하고상기채널층및 상기희생층을식각하여상기기판상에상기제1 패턴에대응하는복수개의나노재료구조체들을형성하는단계; 상기복수개의나노재료구조체들상에제2 포토레지스트를배치하고상기제2 포토레지스트를노광하여제2 패턴을형성하는단계; 패터닝된상기제2 포토레지스트를마스크로이용하고상기복수개의나노재료구조체의희생층을식각하여상기복수개의나노재료구조체의채널층상에소스전극과드레인전극이각각형성될영역을형성하는단계; 상기복수개의나노재료구조체의채널층상에소스전극과드레인전극을각각형성하는단계; 상기기판, 상기소스전극및 상기드레인전극을각각보호하는보호층을배치하는단계; 및상기보호층을마스크로이용하고상기소스전극과상기드레인전극사이의채널층을노출시키는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR1020160128542A
公开(公告)日：2016-11-08
申请号：KR1020150059947
申请日：2015-04-28
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: G01N27/414 , G01N33/53
Abstract: 전계효과트랜지스터를이용한바이오센서가개시된다. 전계효과트랜지스터를이용한바이오센서는기판; 상기기판상에형성된 2차원물질; 상기기판상에형성되고일부분이상기 2차원물질과전기적으로연결된소스전극; 상기기판상에형성되고상기소스전극과이격된상태로일부분이상기 2차원물질과전기적으로연결된드레인전극; 상기 2차원물질이노출되도록상기 2차원물질의주변을둘러싸는형태로상기기판, 상기소스전극및 상기드레인전극상에형성된절연층; 상기 2차원물질로부터수직한방향을따라상기 2차원물질상에형성된 1차원구조체들; 상기 1차원구조체들표면에각각형성된제1 보호층; 상기제1 보호층표면에배치되고특정항원과반응할수 있는항체; 상기절연층상에형성된제2 보호층; 및상기제2 보호층상에형성되고, 상기 2차원물질및 상기 1차원구조체들이노출될수 있도록상하면이개방되어있으며, 특정항원을포함하는용액을수용할수 있는케이스를포함한다.
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3.发明公开전계효과 트랜지스터형 바이오 센서 어레이 제조방법 및 미세유체소자를 포함하는 전계효과 트랜지스터형 바이오 센서 어레이 제조방법 有权用于制造场效应晶体管型生物传感器阵列的方法和用于制造包括微流体装置的场效应晶体管型生物传感器阵列的方法
公开(公告)号：KR1020170049073A
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：KR1020150149985
申请日：2015-10-28
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: G01N27/414 , B82B3/00 , B82Y15/00 , B82Y30/00
Abstract: 전계효과트랜지스터형바이오센서어레이제조방법이개시된다. 전계효과트랜지스터형바이오센서어레이제조방법은기판상에 2차원나노재료로이루어진채널층을배치하는단계; 상기채널층상에희생층을배치하는단계; 상기희생층상에제1 포토레지스트를배치하고상기제1 포토레지스트를노광하여제1 패턴을형성하는단계; 패터닝된상기제1 포토레지스트를마스크로이용하고상기채널층및 상기희생층을식각하여상기기판상에상기제1 패턴에대응하는복수개의나노재료구조체들을형성하는단계; 상기복수개의나노재료구조체들상에제2 포토레지스트를배치하고상기제2 포토레지스트를노광하여제2 패턴을형성하는단계; 패터닝된상기제2 포토레지스트를마스크로이용하고상기복수개의나노재료구조체의희생층을식각하여상기복수개의나노재료구조체의채널층상에소스전극과드레인전극이각각형성될영역을형성하는단계; 상기복수개의나노재료구조체의채널층상에소스전극과드레인전극을각각형성하는단계; 상기기판, 상기소스전극및 상기드레인전극을각각보호하는보호층을배치하는단계; 및상기보호층을마스크로이용하고상기소스전극과상기드레인전극사이의채널층을노출시키는단계를포함한다.
Abstract translation: 公开了一种制造场效应晶体管型生物传感器阵列的方法。 一种制造场效应晶体管生物传感器阵列的方法包括：将由二维纳米材料制成的沟道层设置在衬底上; 在沟道层上设置牺牲层; 在牺牲层上设置第一光致抗蚀剂并暴露第一光致抗蚀剂以形成第一图案; 使用图案化的第一光致抗蚀剂作为掩模蚀刻沟道层和牺牲层，以在衬底上形成对应于第一图案的多个纳米材料结构; 在所述多个纳米材料结构上布置第二光致抗蚀剂并暴露所述第二光致抗蚀剂以形成第二图案; 利用图案化的第二光致抗蚀剂作为掩模，和形成的区域在所述源电极和由牺牲层蚀刻到所述多个所述多个纳米材料结构的纳米材料结构中的沟道层的漏极电极上形成; 在所述多个纳米材料结构的沟道层上分别形成源电极和漏电极; 设置分别用于保护衬底，源电极和漏电极的保护层; 并且使用保护层作为掩模在源电极和漏电极之间暴露沟道层。
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公开(公告)号：KR101704901B1
公开(公告)日：2017-02-10
申请号：KR1020150059947
申请日：2015-04-28
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: G01N27/414 , G01N33/53
Abstract: 전계효과트랜지스터를이용한바이오센서가개시된다. 전계효과트랜지스터를이용한바이오센서는기판; 상기기판상에형성된 2차원물질; 상기기판상에형성되고일부분이상기 2차원물질과전기적으로연결된소스전극; 상기기판상에형성되고상기소스전극과이격된상태로일부분이상기 2차원물질과전기적으로연결된드레인전극; 상기 2차원물질이노출되도록상기 2차원물질의주변을둘러싸는형태로상기기판, 상기소스전극및 상기드레인전극상에형성된절연층; 상기 2차원물질로부터수직한방향을따라상기 2차원물질상에형성된 1차원구조체들; 상기 1차원구조체들표면에각각형성된제1 보호층; 상기제1 보호층표면에배치되고특정항원과반응할수 있는항체; 상기절연층상에형성된제2 보호층; 및상기제2 보호층상에형성되고, 상기 2차원물질및 상기 1차원구조체들이노출될수 있도록상하면이개방되어있으며, 특정항원을포함하는용액을수용할수 있는케이스를포함한다.
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