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公开(公告)号:KR101837827B1
公开(公告)日:2018-03-13
申请号:KR1020160028630
申请日:2016-03-10
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 생화학분자검출장치가개시된다. 생화학분자검출장치는기판; 상기기판에고정되고, 상기기판으로부터수직하게성장되어있는하나이상의나노구조물; 및상기나노구조물표면에고정되고, 생화학분자와선택적으로결합할수 있으며, 형광을발생하는형광염색약이인터칼레이팅(intercalating)되어있는하나이상의이중나선 DNA을포함하는압타머복합체를포함하고, 상기압타머복합체와반응하는상기생화학분자의양이증가할수록상기형광은줄어들수 있다.
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2.전계효과 트랜지스터형 바이오 센서 어레이 제조방법 및 미세유체소자를 포함하는 전계효과 트랜지스터형 바이오 센서 어레이 제조방법 有权
Title translation: 用于制造场效应晶体管型生物传感器阵列的方法和用于制造包括微流体装置的场效应晶体管型生物传感器阵列的方法公开(公告)号:KR1020170049073A
公开(公告)日:2017-05-10
申请号:KR1020150149985
申请日:2015-10-28
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: G01N27/414 , B82B3/00 , B82Y15/00 , B82Y30/00
Abstract: 전계효과트랜지스터형바이오센서어레이제조방법이개시된다. 전계효과트랜지스터형바이오센서어레이제조방법은기판상에 2차원나노재료로이루어진채널층을배치하는단계; 상기채널층상에희생층을배치하는단계; 상기희생층상에제1 포토레지스트를배치하고상기제1 포토레지스트를노광하여제1 패턴을형성하는단계; 패터닝된상기제1 포토레지스트를마스크로이용하고상기채널층및 상기희생층을식각하여상기기판상에상기제1 패턴에대응하는복수개의나노재료구조체들을형성하는단계; 상기복수개의나노재료구조체들상에제2 포토레지스트를배치하고상기제2 포토레지스트를노광하여제2 패턴을형성하는단계; 패터닝된상기제2 포토레지스트를마스크로이용하고상기복수개의나노재료구조체의희생층을식각하여상기복수개의나노재료구조체의채널층상에소스전극과드레인전극이각각형성될영역을형성하는단계; 상기복수개의나노재료구조체의채널층상에소스전극과드레인전극을각각형성하는단계; 상기기판, 상기소스전극및 상기드레인전극을각각보호하는보호층을배치하는단계; 및상기보호층을마스크로이용하고상기소스전극과상기드레인전극사이의채널층을노출시키는단계를포함한다.
Abstract translation: 公开了一种制造场效应晶体管型生物传感器阵列的方法。 一种制造场效应晶体管生物传感器阵列的方法包括:将由二维纳米材料制成的沟道层设置在衬底上; 在沟道层上设置牺牲层; 在牺牲层上设置第一光致抗蚀剂并暴露第一光致抗蚀剂以形成第一图案; 使用图案化的第一光致抗蚀剂作为掩模蚀刻沟道层和牺牲层,以在衬底上形成对应于第一图案的多个纳米材料结构; 在所述多个纳米材料结构上布置第二光致抗蚀剂并暴露所述第二光致抗蚀剂以形成第二图案; 利用图案化的第二光致抗蚀剂作为掩模,和形成的区域在所述源电极和由牺牲层蚀刻到所述多个所述多个纳米材料结构的纳米材料结构中的沟道层的漏极电极上形成; 在所述多个纳米材料结构的沟道层上分别形成源电极和漏电极; 设置分别用于保护衬底,源电极和漏电极的保护层; 并且使用保护层作为掩模在源电极和漏电极之间暴露沟道层。
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公开(公告)号:KR101767607B1
公开(公告)日:2017-08-11
申请号:KR1020150149985
申请日:2015-10-28
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: G01N27/414 , B82B3/00 , B82Y15/00 , B82Y30/00
Abstract: 전계효과트랜지스터형바이오센서어레이제조방법이개시된다. 전계효과트랜지스터형바이오센서어레이제조방법은기판상에 2차원나노재료로이루어진채널층을배치하는단계; 상기채널층상에희생층을배치하는단계; 상기희생층상에제1 포토레지스트를배치하고상기제1 포토레지스트를노광하여제1 패턴을형성하는단계; 패터닝된상기제1 포토레지스트를마스크로이용하고상기채널층및 상기희생층을식각하여상기기판상에상기제1 패턴에대응하는복수개의나노재료구조체들을형성하는단계; 상기복수개의나노재료구조체들상에제2 포토레지스트를배치하고상기제2 포토레지스트를노광하여제2 패턴을형성하는단계; 패터닝된상기제2 포토레지스트를마스크로이용하고상기복수개의나노재료구조체의희생층을식각하여상기복수개의나노재료구조체의채널층상에소스전극과드레인전극이각각형성될영역을형성하는단계; 상기복수개의나노재료구조체의채널층상에소스전극과드레인전극을각각형성하는단계; 상기기판, 상기소스전극및 상기드레인전극을각각보호하는보호층을배치하는단계; 및상기보호층을마스크로이용하고상기소스전극과상기드레인전극사이의채널층을노출시키는단계를포함한다.
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4.생화학 분자 검출 장치, 생화학 분자 검출 장치 제조방법 및 생화학 분자 검출 방법 审中-实审
Title translation: 生物化学分子检测装置,生物化学分子检测装置生产方法和生物化学分子检测方法公开(公告)号:KR1020170105718A
公开(公告)日:2017-09-20
申请号:KR1020160028630
申请日:2016-03-10
Applicant: 성균관대학교산학협력단
Abstract: 생화학분자검출장치가개시된다. 생화학분자검출장치는기판; 상기기판에고정되고, 상기기판으로부터수직하게성장되어있는하나이상의나노구조물; 및상기나노구조물표면에고정되고, 생화학분자와선택적으로결합할수 있으며, 형광을발생하는형광염색약이인터칼레이팅(intercalating)되어있는하나이상의이중나선 DNA을포함하는압타머복합체를포함하고, 상기압타머복합체와반응하는상기생화학분자의양이증가할수록상기형광은줄어들수 있다.
Abstract translation: 公开了一种生物化学分子检测装置。 生化分子检测装置包括:基板; 至少一个纳米结构固定在基底上并从基底垂直生长; 以及固定在纳米结构表面并且能够选择性地与生物化学分子结合并且包含插入荧光染料以产生荧光的至少一个双螺旋DNA的两性复合物, 随着与驯化剂复合物反应的生化分子的量增加,可以降低荧光。
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公开(公告)号:KR1020170103633A
公开(公告)日:2017-09-13
申请号:KR1020170014843
申请日:2017-02-02
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: G01N33/543 , G01N33/533 , G01N33/551 , G01N21/64 , C12N15/115 , C09K11/00
Abstract: 생화학분자검출센서가개시된다. 생화학분자검출센서는기판; 상기기판에화학적으로결합되고, 생화학분자와선택적으로결합할수 있으며, 제1 파장의형광을발생하는형광염색약이인터칼레이팅되어있는하나이상의이중나선 DNA를포함하는제1 압타머복합체; 및상기생화학분자와선택적으로결합될수 있고, 상기제1 파장과다른제2 파장의형광을발생하는하나이상의제2 압타머복합체를포함하고, 상기제1 압타머복합체및 상기제2 압타머복합체와반응하는상기생화학분자의양이증가할수록상기제1 파장의형광은줄어들고, 상기제2 파장의형광은증가할수 있다.
Abstract translation: 公开了一种生化分子检测传感器。 生化分子检测传感器包括基底; 第一种颞下复合体,其包含至少一种化学键合至底物并可与生化分子选择性结合并用产生第一波长荧光的荧光染料插入的双螺旋DNA; 以及至少一个第二平板复合物,其能够选择性地与生化分子结合并产生与第一波长不同的第二波长的荧光,其中第一平板复合物和第二平板复合物 随着反应的生化分子的量增加,第一波长的荧光下降并且第二波长的荧光增加。
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公开(公告)号:KR1020170103119A
公开(公告)日:2017-09-13
申请号:KR1020160025461
申请日:2016-03-03
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: G01N33/543 , G01N33/533 , G01N33/551 , G01N21/64 , C12N15/115 , C01B31/04
Abstract: 생화학분자검출장치가개시된다. 생화학분자검출장치는기판; 상기기판상에배치된 2차원물질층; 상기 2차원물질층상에고정되고, 생화학분자와선택적으로결합할수 있으며, 형광을발생하는형광염색약이인터칼레이팅(intercalating)되어있는하나이상의이중나선 DNA을포함하는압타머복합체를포함하고, 상기압타머복합체와반응하는상기생화학분자의양이증가할수록상기형광은줄어들수 있다.
Abstract translation: 公开了一种生物化学分子检测装置。 生化分子检测装置包括:基板; 设置在基板上的二维材料层; 以及固定在二维材料层上并且能够选择性地与生物化学分子结合并且包含插入有产生荧光的荧光染料的至少一种双链DNA的标记复合物, 随着与驯化剂复合物反应的生化分子的量增加,可以降低荧光。
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公开(公告)号:KR102003589B1
公开(公告)日:2019-07-24
申请号:KR1020170014843
申请日:2017-02-02
Applicant: 성균관대학교산학협력단
IPC: G01N33/543 , G01N33/533 , G01N33/551 , G01N21/64 , C12N15/115 , C09K11/00
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