선택적 무전해 도금을 이용한 플렉서블 기판의 미세 금속배선 형성 방법
    2.
    发明公开
    선택적 무전해 도금을 이용한 플렉서블 기판의 미세 금속배선 형성 방법 失效
    通过电镀镀层在柔性基板上形成金属接线的方法

    公开(公告)号:KR1020080073617A

    公开(公告)日:2008-08-11

    申请号:KR1020070034544

    申请日:2007-04-09

    Abstract: A method for forming a fine metal wiring on a flexible substrate by selective electroless plating is provided to form the metal wiring, using a plasma surface process or the electroless plating so as to improve bonding ability between an organic substrate and the metal wiring and to form the metal wiring selectively. A method for forming a fine metal wiring(5) on a flexible organic substrate(1) by selective electroless plating comprises the steps of; providing the flexible organic substrate; forming a photosensitive insulator(3) on the substrate; patterning the photosensitive insulator, using an optical mask having a pattern(13); processing a plasma surface on one surface of the substrate(14); transferring an adsorption preventing film of a catalyst on the photosensitive insulator selectively; and forming the metal wiring, using an electroless plating or electroplating process. An inorganic thin film(12) is formed on the substrate.

    Abstract translation: 提供通过选择性化学镀在柔性基板上形成精细金属布线的方法,以使用等离子体表面处理或无电解电镀形成金属布线,从而提高有机基板与金属布线之间的接合能力,形成 选择性地选择金属布线。 通过选择性无电镀在柔性有机基板(1)上形成精细金属布线(5)的方法包括以下步骤: 提供柔性有机基材; 在基板上形成感光绝缘体(3); 使用具有图案(13)的光学掩模来图案化感光绝缘体; 在衬底(14)的一个表面上处理等离子体表面; 选择性地在感光绝缘体上转移催化剂的吸附防止膜; 并使用化学镀或电镀工艺形成金属布线。 在基板上形成无机薄膜(12)。

    선택적 무전해 도금을 이용한 플렉서블 기판의 미세 금속배선 형성 방법
    3.
    发明授权
    선택적 무전해 도금을 이용한 플렉서블 기판의 미세 금속배선 형성 방법 失效
    通过电镀镀层在柔性基板上形成金属接线的方法

    公开(公告)号:KR100862149B1

    公开(公告)日:2008-10-09

    申请号:KR1020070034544

    申请日:2007-04-09

    Abstract: 본 발명은 선택적 무전해 도금을 이용한 플렉서블 기판의 미세 금속 배선 공정에 관한 것으로, 보다 구체적으로 플렉서블(flexible)한 유기물 기판을 플라즈마 표면처리 후, 선택적 무전해도금 공정 또는 선택적 무전해 도금 후 전해도금 공정을 이용하여 상기 기판 상에 니켈, 구리 및 금으로 구성된 군으로부터 선택된 금속 배선을 형성시키는 방법에 관한 것이다.
    본 발명의 방법은 플라즈마 표면 처리 공정 및 무전해 도금 공정에 의해 플렉서블한 기판 상에 금속 배선을 형성하므로써, 유기물 기판과 금속 배선 간의 접착력을 향상시키고, 고종횡비를 가지면서 미세하고 선택적인 금속 배선을 형성시킬 수 있으며, 플랙서블한 소자에 저가로 적용가능하다.

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