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发明申请
강유전체 트랜지스터의 스위칭 전하 측정 방법 및 장치 审中-公开

公开(公告)号：WO2023022453A1

公开(公告)日：2023-02-23

申请号：PCT/KR2022/012138

申请日：2022-08-12

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 남갑진 , 권기원 , 최병덕

IPC: G01R19/165 , G01R31/26 , G01R19/00 , G01R31/3181 , H01L29/78

Abstract: 본 발명의 일 실시예에 따른 스위칭 전하 측정장치는 게이트 산화물을 포함하는 트랜지스터의 게이트에 미리 정해진 주파수의 전압 펄스를 인가하는 전압 인가부, 전압 펄스에 응답하여, 트랜지스터의 웰(well)과 상기 트랜지스터의 소스(source)의 사이 및 트랜지스터의 웰과 드레인(drain)사이 중 적어도 어느 하나의 평균 직류 전류를 측정하는 SMU(source measure unit) 및 측정된 평균 직류 전류를 기초로 스위칭 전하를 계산하는 프로세서를 포함하며, 게이트 산화물은 강유전체를 포함할 수 있다.

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