입자 배열 획득 방법 및 입자 배열 획득 장치

    公开(公告)号:KR1020180073000A

    公开(公告)日:2018-07-02

    申请号:KR1020160176370

    申请日:2016-12-22

    Inventor: 남재욱 김동재

    Abstract: 본발명의입자배열획득방법은, 원본영상데이터에포함된입자배열의주기성분을추출한주기(periodic) 영상데이터를획득하는단계; 상기주기영상데이터에기초하여복수의원(circles)을검출하는단계; 상기복수의원 각각의내부에서밝기중심좌표를획득하는단계; 상기복수의원의중심좌표를대응하는상기밝기중심좌표로업데이트하는단계; 및업데이트된상기복수의원의중심좌표를각 입자의좌표로결정하는단계를포함한다.

    엔트로피 기초 영상 분할 방법

    公开(公告)号:KR101757071B1

    公开(公告)日:2017-07-12

    申请号:KR1020150173731

    申请日:2015-12-08

    Inventor: 남재욱 김동재

    Abstract: 본발명은 2차원밝기픽셀값으로이뤄진원본영상을준비하는단계; 임의로정해진크기의윈도우를설정하고상기윈도우내의상기영상의픽셀값들의엔트로피값을얻은후 상기윈도우의중심픽셀로설정하는방법으로상기영상의모든픽셀을엔트로피값으로하는엔트로피영상을얻는단계; 상기엔트로피영상의각 엔트로피값의분포를확인하고, 픽셀의엔트로피문턱값을설정하는단계; 상기엔트로피영상의픽셀의엔트로피값이상기엔트로피문턱값의이상인경우 1로정하고미만인경우 0으로정한흑백엔트로피기초마스크영상을얻는단계; 상기엔트로피기초마스크영상으로상기원본영상의필터링된영상을얻는단계; 상기필터링된영상의분포를확인하고, 픽셀의밝기문턱값을설정하는단계; 상기필터링된영상의픽셀의밝기값이상기밝기문턱값의이상인경우 1로정하고미만인경우 0으로정한흑백영상을얻는단계를포함하는, 영상의흑백이미지도출방법에관한것이다.

    엔트로피 기초 영상 분할 방법
    4.
    发明公开
    엔트로피 기초 영상 분할 방법 有权
    熵基本图像分割方法

    公开(公告)号:KR1020170067264A

    公开(公告)日:2017-06-16

    申请号:KR1020150173731

    申请日:2015-12-08

    Inventor: 남재욱 김동재

    Abstract: 본발명은 2차원밝기픽셀값으로이뤄진원본영상을준비하는단계; 임의로정해진크기의윈도우를설정하고상기윈도우내의상기영상의픽셀값들의엔트로피값을얻은후 상기윈도우의중심픽셀로설정하는방법으로상기영상의모든픽셀을엔트로피값으로하는엔트로피영상을얻는단계; 상기엔트로피영상의각 엔트로피값의분포를확인하고, 픽셀의엔트로피문턱값을설정하는단계; 상기엔트로피영상의픽셀의엔트로피값이상기엔트로피문턱값의이상인경우 1로정하고미만인경우 0으로정한흑백엔트로피기초마스크영상을얻는단계; 상기엔트로피기초마스크영상으로상기원본영상의필터링된영상을얻는단계; 상기필터링된영상의분포를확인하고, 픽셀의밝기문턱값을설정하는단계; 상기필터링된영상의픽셀의밝기값이상기밝기문턱값의이상인경우 1로정하고미만인경우 0으로정한흑백영상을얻는단계를포함하는, 영상의흑백이미지도출방법에관한것이다.

    Abstract translation: 本发明包括制备在二维像素亮度值源图像yirwojin的工序; 任意设定后固定尺寸的窗口,在窗口中通过设置该窗口的中心像素以获得具有熵值的图像的所有像素的图像熵获得的图像的像素值的熵值; 确认熵图像的熵值的分布,以及设置像素的熵的阈值; 1个rojeong并获得黑色和白色图像基于熵的掩模如果设为零小于或多个熵值,图像熵的像素的移相器熵的阈值的; 利用基于熵的掩模图像获得原始图像的滤波图像; 确定滤波图像的分布并设置像素的亮度阈值; 包含1至小于rojeong,得到黑白图像设定为零,如果小于所述滤波图像的像素的阈值的灰度电平移位器亮度值,对图像的单色图像导出方法。

    플라즈마 식각 공정의 식각 종료점 진단방법
    5.
    发明授权
    플라즈마 식각 공정의 식각 종료점 진단방법 有权
    检测等离子体蚀刻过程终点的方法

    公开(公告)号:KR101532897B1

    公开(公告)日:2015-07-02

    申请号:KR1020150002503

    申请日:2015-01-08

    CPC classification number: H01L22/26 H01L21/02252

    Abstract: 플라즈마식각공정의식각종료점진단방법이개시된다. 플라즈마식각공정의식각종료점진단방법은플라즈마식각공정에서발생되는플라즈마방출광을사용하여식각종료점을진단하는방법에있어서, (a) 각측정시간에있어서의상기플라즈마방출광에포함된파장들각각의강도정보를포함하는측정데이터를기설정된제1 시간간격으로 N개수집한후 이들중 N번째수집된측정데이터와나머지측정데이터들사이의유클리드거리들을산출하고, 상기제1 유클리드거리들중 가장큰 값을제1 도달가능거리로표시하는단계(S110); 및 (b) 상기 N번째측정데이터수집시간으로부터상기제1 시간간격후 (N+1)번째측정데이터를수집하고, 상기 (N+1)번째측정데이터와상기 N개의측정데이터중 최초수집된측정데이터를제외한나머지 (N-1)개의측정데이터들사이의제2 유클리드거리들을산출하며, 상기제2 유클리드거리들중 가장큰 값을제2 도달가능거리로표시하는단계(S120)를포함하고, 상기 (b) 단계를상기제1 시간간격으로반복적으로수행하면서상기도달가능거리의변화량을기초로상기플라즈마식각공정의식각종료점을진단할수 있다.

    Abstract translation: 公开了一种用于诊断等离子体蚀刻工艺的蚀刻终点的方法。 诊断蚀刻终点的方法是通过使用等离子体蚀刻工艺中产生的等离子体发射光来诊断蚀刻终点的方法,其包括:(a)计算第N次采集的测量数据与第N次采集的测量数据之间的欧几里德距离的步骤, 在每个测量时间内,从包括等离子体发射光中包括的每个波长的强度信息的测量数据以预设的第一时间间隔收集N个数据之后的其它测量数据,并且将第一欧几里德距离中的最大值显示为第一可访问距离(S110) ; 和(b)从第一时间间隔之后的第N个测量数据采集时间收集第(N + 1)个测量数据的步骤,计算第(N + 1)个测量数据与另一个测量数据之间的第二个欧几里德距离 测量数据除了在第N测量数据和第(N + 1)个测量数据之间最初收集的测量数据之外,并且将第二欧几里德距离中的最大值显示为第二可访问距离。 该方法可以基于在第一时间间隔中重复执行步骤(b)的可访问距离的变化量来诊断等离子体蚀刻处理的蚀刻终点。

    입자 배열 획득 방법 및 입자 배열 획득 장치

    公开(公告)号:KR101923034B1

    公开(公告)日:2018-11-29

    申请号:KR1020160176370

    申请日:2016-12-22

    Inventor: 남재욱 김동재

    Abstract: 본발명의입자배열획득방법은, 원본영상데이터에포함된입자배열의주기성분을추출한주기(periodic) 영상데이터를획득하는단계; 상기주기영상데이터에기초하여복수의원(circles)을검출하는단계; 상기복수의원 각각의내부에서밝기중심좌표를획득하는단계; 상기복수의원의중심좌표를대응하는상기밝기중심좌표로업데이트하는단계; 및업데이트된상기복수의원의중심좌표를각 입자의좌표로결정하는단계를포함한다.

    코팅 방법
    9.
    发明授权
    코팅 방법 有权
    涂料方法

    公开(公告)号:KR101532900B1

    公开(公告)日:2015-07-02

    申请号:KR1020150016763

    申请日:2015-02-03

    Inventor: 남재욱 안광국

    CPC classification number: B05D1/18

    Abstract: 코팅방법이개시된다. 이러한코팅방법은층분리된상층용매와하층용매및 하층용매에용해또는분산된코팅물질을포함하는코팅조성물을형성하고, 하층용매에기재를침지시킨후 기재를상층용매를경유하여코팅조성물외부로인출함으로써기재에코팅물질을코팅할수 있다. 이러한코팅방법에따르면, 건조장치를이용한건조공정을생략할수 있어서코팅공정에소요되는비용및 시간을감소시킬수 있다.

    Abstract translation: 公开了一种涂布方法。 涂布方法包括以下步骤:形成包含分离成上溶剂和下溶剂的溶剂的涂料组合物和溶解或分散在下溶剂中的涂料; 将底物浸入下溶剂中; 并通过上部溶剂将基材取出到涂料组合物的外部,以便用涂料涂覆基材。 根据本发明,可以省略使用干燥装置的干燥处理,从而节省了涂布工序的成本和时间。

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