公开(公告)号：KR101532897B1

公开(公告)日：2015-07-02

申请号：KR1020150002503

申请日：2015-01-08

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 채희엽 ,  이학승 ,  장해규 ,  남재욱

IPC: H01L21/66 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L22/26 ,  H01L21/02252

Abstract: 플라즈마식각공정의식각종료점진단방법이개시된다. 플라즈마식각공정의식각종료점진단방법은플라즈마식각공정에서발생되는플라즈마방출광을사용하여식각종료점을진단하는방법에있어서, (a) 각측정시간에있어서의상기플라즈마방출광에포함된파장들각각의강도정보를포함하는측정데이터를기설정된제1 시간간격으로 N개수집한후 이들중 N번째수집된측정데이터와나머지측정데이터들사이의유클리드거리들을산출하고, 상기제1 유클리드거리들중 가장큰 값을제1 도달가능거리로표시하는단계(S110); 및 (b) 상기 N번째측정데이터수집시간으로부터상기제1 시간간격후 (N+1)번째측정데이터를수집하고, 상기 (N+1)번째측정데이터와상기 N개의측정데이터중 최초수집된측정데이터를제외한나머지 (N-1)개의측정데이터들사이의제2 유클리드거리들을산출하며, 상기제2 유클리드거리들중 가장큰 값을제2 도달가능거리로표시하는단계(S120)를포함하고, 상기 (b) 단계를상기제1 시간간격으로반복적으로수행하면서상기도달가능거리의변화량을기초로상기플라즈마식각공정의식각종료점을진단할수 있다.

Abstract translation: 公开了一种用于诊断等离子体蚀刻工艺的蚀刻终点的方法。 诊断蚀刻终点的方法是通过使用等离子体蚀刻工艺中产生的等离子体发射光来诊断蚀刻终点的方法，其包括：（a）计算第N次采集的测量数据与第N次采集的测量数据之间的欧几里德距离的步骤， 在每个测量时间内，从包括等离子体发射光中包括的每个波长的强度信息的测量数据以预设的第一时间间隔收集N个数据之后的其它测量数据，并且将第一欧几里德距离中的最大值显示为第一可访问距离（S110） ; 和（b）从第一时间间隔之后的第N个测量数据采集时间收集第（N + 1）个测量数据的步骤，计算第（N + 1）个测量数据与另一个测量数据之间的第二个欧几里德距离 测量数据除了在第N测量数据和第（N + 1）个测量数据之间最初收集的测量数据之外，并且将第二欧几里德距离中的最大值显示为第二可访问距离。 该方法可以基于在第一时间间隔中重复执行步骤（b）的可访问距离的变化量来诊断等离子体蚀刻处理的蚀刻终点。

公开(公告)号：KR101588531B1

公开(公告)日：2016-01-25

申请号：KR1020140096627

申请日：2014-07-29

Applicant: 성균관대학교산학협력단

Inventor： 채희엽 ,  장해규 ,  이학승 ,  오성국

IPC: C23F4/00 ,  H01L21/3065

CPC classification number: H01J37/32963

Abstract: 플라즈마식각공정의식각종료점검출방법이개시된다. 플라즈마식각공정의식각종료점검출방법은플라즈마식각공정에서발생되는플라즈마방출광을사용하여식각종료점을검출하는방법에있어서, (a) 상기플라즈마방출광의파장에따른강도에대한데이터들을제1 시간간격으로순차적으로제2 시간동안수집하는단계; (b) 수집된상기데이터들을이용하여 k-평균군집분석을수행하는단계; (c) 상기군집의유효성을평가하는단계; 및 (d) 상기군집의유효성평가결과에따라상기플라즈마식각공정의식각종료점의존재여부를판단하는단계를포함한다.

Abstract translation: 公开了一种用于检测等离子体蚀刻工艺的终点的方法。 在等离子体蚀刻工艺中使用等离子体发射光检测终点的方法中，检测等离子体蚀刻工艺的终点的方法包括以下步骤：（a）收集关于根据波长的强度的数据 的等离子体发射光以第一时间间隔连续第二时间; （b）使用收集的数据进行k均值聚类分析; （c）评估集群的有效性; 和（d）根据集群的有效性评估结果确定等离子体蚀刻工艺的终点的存在。